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半導(dǎo)體參數(shù)測試儀與MM探針臺(tái)/系統(tǒng)集成
- 公司名稱 北京華測試驗(yàn)儀器有限公司
- 品牌 HUACE/北京華測
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2023/8/28 13:16:54
- 訪問次數(shù) 3973
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功能材料電學(xué)綜合測試系統(tǒng)、絕緣診斷測試系統(tǒng)、高低溫介電溫譜測試儀、極化裝置與電源、高壓放大器、PVDV薄膜極化、高低溫冷熱臺(tái)、鐵電壓電熱釋電測試儀、絕緣材料電學(xué)性能綜合測試平臺(tái)、電擊穿強(qiáng)度試驗(yàn)儀、耐電弧試驗(yàn)儀、高壓漏電起痕測試儀、沖擊電壓試驗(yàn)儀、儲(chǔ)能材料電學(xué)測控系統(tǒng)、壓電傳感器測控系統(tǒng)。
半導(dǎo)體參數(shù)測試儀與MM探針臺(tái)
功能：
可提供直流電壓/電流輸出，直流電壓/電流測量和交流信號(hào)輸出以及阻抗測量
主要技術(shù)指標(biāo)：
探針臺(tái)：
1.探針臺(tái)主機(jī)：卡盤XY運(yùn)動(dòng)范圍200mm*200mm,Z軸運(yùn)動(dòng)范圍25mm
2.絲桿軸承確保移動(dòng)，分辨率3.5um
3.針座：精度0.7um
4.加熱臺(tái): 溫度范圍室溫-400℃
半導(dǎo)體參數(shù)測試儀與MM探針臺(tái)
半導(dǎo)體參數(shù)測試儀
1.直流I-V測試：
具有4路SMU，其中2路中等功率SMU，2路高分辨率SMU, 可同時(shí)測量電壓分辨率0.5μV、電流分辨率0.1fA
2.C-V測試：頻率1KHz-5MHz；偏置電壓：±25V；測量精度±0.2 %
3.可實(shí)現(xiàn)C-V和I-V測量間自動(dòng)切換，不會(huì)影響測量精度
4.脈沖IV：
提供兩路快速IV/脈沖輸出，具有任意波形產(chǎn)生功能
脈沖寬度：50ns；脈沖電平范圍：-5V~+5V，+/-10V~0V (50 Ω負(fù)載)；電壓測量精度：±0.1%讀值, ±0.1% 量程；電流測量精度：±0.1% 讀值, ± 0.2% 量程
主要用途
支持二極管、三極管、MOS管等半導(dǎo)體器件以及材料的直流電流-電壓(I-V)測量，準(zhǔn)靜態(tài)和中頻電容-電壓(C-V)測量，時(shí)域測量等。
半導(dǎo)體參數(shù)測試儀與MM探針臺(tái)/系統(tǒng)集成
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