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日立SU9000超高分辨率場發(fā)射掃描電子顯微鏡

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掃描電子顯微鏡

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價(jià)格區(qū)間 面議 儀器種類 場發(fā)射
應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè)

日立SU9000超高分辨率場發(fā)射掃描電子顯微鏡是專門為電子束敏感樣品和需大300萬倍穩(wěn)定觀察的*半導(dǎo)體器件,高分辨成像所設(shè)計(jì)。

  • 新的電子槍和電子光學(xué)設(shè)計(jì)提高了低加速電壓性能。

    • 0.4nm / 30kV(SE)

    • 1.2nm / 1kV(SE)

    • 0.34nm / 30kV(STEM)

  • 用改良的高真空性能和的電子束穩(wěn)定性來實(shí)現(xiàn)高效率截面觀察。

  • 日立SU9000超高分辨率場發(fā)射掃描電子顯微鏡采用全新設(shè)計(jì)的Super E x B能量過濾技術(shù),高效,靈活地收集SE / BSE/ STEM信號。

  • 低加速電壓觀察時(shí)分辨率更高,可更好地觀察樣品表面的細(xì)微形狀和更有效地降低樣品的損壞

  • 全新設(shè)計(jì)的電子光學(xué)系統(tǒng)和信號處理技術(shù)實(shí)現(xiàn)了高速掃描和低噪音的觀察

  • 和以前的常規(guī)掃描電子顯微鏡相比*2,自動(dòng)功能縮短*3了大約11秒

  • 具有在低真空時(shí)可以非常好地觀察樣品表面的細(xì)微形狀的“UVD(超高靈敏度可變壓力探測器)”*4

  • 具有實(shí)現(xiàn)了實(shí)時(shí)立體成像的“實(shí)時(shí)立體觀察功能”*4

(*2):和日立SEM S-3400N相比
(*3):根據(jù)觀察條件的不同,時(shí)間會(huì)有變動(dòng)

 



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