G300 質量流量計特點

? 高精度、高分辨率控制

? 低功率，功率＜0.5W

? 集成 20 種基礎氣體種類 

? 可自定義 10 種混合氣體 

? 數字化控制，RS-485 Modbus RTU 通信模式 

? 寬流量量程范圍 

? 無需預熱 

? 無安裝方向限制 

? 具有高重復性和高可靠性

? 自帶溫度補償，補償范圍 0-50℃

? 具有高穩(wěn)定性

? 小封裝尺寸 量程及精度簡介

? 可用量程： 

? 最大 0-50slpm 

? 最小 0-1sccm 

? 常備量程請參考選型表 

? 量程比：1000:1 

? 滿量程精度：±0.2% 

? 讀取精度：±0.8% 

? 可重復性：±0.2%FS 

數字式設計簡介

G300 系列質量流量計標配高精度傳感器和 數字電路，數字電路可完成測量及控制所需的所 有基本功能。G300 系列采用標準的 RS-485  Modbus RTU 通信模式。RS-485 總線最高可擴展 至 255 臺設備同時使用。 

應用領域 

? 氣相和液相色譜儀 

? 半導體工藝 

? 環(huán)境監(jiān)測設備 

? 微反應裝置及材料制備實驗裝置（CVD） 

? 氣體發(fā)生器 

? 配氣混氣系統(tǒng)