實驗室氣路設計施工使用*的自動焊接施工工藝安裝管道、減壓器、壓力表、高壓金屬軟管、鋼瓶接頭、焊接接頭、卡套接頭、不銹鋼潔凈管等。

（1）易燃性氣體
把自燃、易燃、可燃氣體等都定義為這類氣體。如常溫下的SiH4氣體只要與空氣接觸就會燃燒，當環(huán)境溫度達到一定時，PH3與B2 H6等氣體也會產生自燃?？扇?*氣體都有一定的著火燃燒爆炸范圍，即上限、下限值。此范圍越大的氣體起爆炸燃燒危險性就越高，如B 2H6的爆炸上限為98%，爆炸下限為0.9%。屬于**氣體有H 2,NH3,PH3,DCS,ClF3 。

（2）毒性氣體（Toxic Gas）：半導體制造行業(yè)中使用的氣體很多都是對人體有害、有毒的。其中又以AsH3, B 2H6,PH3等氣體的毒性大，它們的閾限值TLV（Threshold Limited Valve）分別只有50×10-9,100×10 -9,300×10-9。這些氣體在工作環(huán)境中的允許濃度極微，因此在貯存、輸送以及使用的過程中都要求特別的小心。一般都應該采取特定的技術措施來控制使用這些氣體。NO, C4F6,C5F8 ,NF3,CH 3F等都屬于毒性氣體。
（3）腐蝕性氣體（Corrosive Gas）：這些腐蝕性氣體通常同時也兼有較強的毒性。腐蝕性氣體在干燥狀態(tài)下一般不易侵蝕金屬，但在遇到水的環(huán)境下就顯示出很強的腐蝕性，如HCl, HF, PCl3, SiF4,ClF3，WF6等。
（4）惰性氣體(Inert Gas)： 隋性氣體本身一般不會直接對人體產生傷害，在氣體傳輸過程中，相對于安全上的要求不如以上其他氣體嚴格。但惰性氣體具有窒息特性，在密閉空間若發(fā)生泄漏會使人窒息而造成工傷事故。屬于這類的氣體有C2 F6,CF4,SF6,CHF 3等。
（5）氧化性氣體（Oxide Gas）：這類氣體有較強的氧化性，一般同時具有其他特性，如毒性或腐蝕性等。屬于這類的氣體有ClF3 ,Cl2,NF3等。
實驗室氣路設計施工不銹鋼制管件是用來傳輸各種制程氣體的主要管件，尤其是傳輸一些劇毒易燃易爆的危險性氣體。所以不銹鋼制管件的制作和施工要求在以上幾種不同材質的管件中為嚴格，一般對于P級要求（×10 -9級）制程氣體的輸送，均要求采用SUS316材質的EP (Electronic Polishing)管材，對于一般非制程氣體的輸送采用SUS316材質的BA （Bright Anneal）管材。SUS316作為一種低含碳量的不銹鋼材料，它不僅具有抗腐蝕性好的優(yōu)點，而且對凹洞的抵抗性也很好。由于BA管的制作是經過了溶解、壓延（Hot/Cold Rolling）、溶接(Welding)、熱處理(Hot treatment)、研磨(Polishing)等復雜過程，其表面粗糙度 Rmax≦4.5mm。EP管材除了表面研磨等過程外，再加以電解研磨及精密洗凈技術，其Rmax≦0.7mm。

氣體泄漏報警裝置

**氣體報警：如果氣瓶是集中存放的話，可以節(jié)少成本，用戶只需在實驗室的角落安裝一個氣體泄漏報警/**氣體探頭,如果氣瓶房氣體發(fā)生泄漏的話，感應探頭會即刻將信號傳至中心實驗室的液晶顯示瓶上，并發(fā)出預警的聲音，這樣用戶就可以發(fā)即時維修。

低壓報警：當用戶在實驗室工作時，需要知道氣體是否快要用盡，氣瓶壓力是否足夠，這對實驗室實現不間斷氣體供應是很重要的;