實驗室氣路工程規(guī)劃設計要求科學、高效、安全、便利的原則。

采用不銹鋼材質(zhì)管路以及不銹鋼街頭卡套，全通閥芯，堅固耐用。

實驗室氣路工程規(guī)劃設計使用*的自動焊接施工工藝安裝管道、減壓器、壓力表、高壓金屬軟管、鋼瓶接頭、焊接接頭、卡套接頭、不銹鋼潔凈管等。

（1）易燃性氣體

把自燃、易燃、可燃氣體等都定義為這類氣體。如常溫下的SiH4氣體只要與空氣接觸就會燃燒，當環(huán)境溫度達到一定時，PH3與B2 H6等氣體也會產(chǎn)生自燃。可燃**氣體都有一定的著火燃燒爆炸范圍，即上限、下限值。此范圍越大的氣體起爆炸燃燒危險性就越高，如B 2H6的爆炸上限為98%，爆炸下限為0.9%。屬于**氣體有H 2,NH3,PH3,DCS,ClF3 。

（2）毒性氣體（Toxic Gas）：半導體制造行業(yè)中使用的氣體很多都是對人體有害、有毒的。其中又以AsH3, B 2H6,PH3等氣體的毒性大，它們的閾限值TLV（Threshold Limited Valve）分別只有50×10-9,100×10 -9,300×10-9。這些氣體在工作環(huán)境中的允許濃度極微，因此在貯存、輸送以及使用的過程中都要求特別的小心。一般都應該采取特定的技術(shù)措施來控制使用這些氣體。NO, C4F6,C5F8 ,NF3,CH 3F等都屬于毒性氣體。

（3）腐蝕性氣體（Corrosive Gas）：這些腐蝕性氣體通常同時也兼有較強的毒性。腐蝕性氣體在干燥狀態(tài)下一般不易侵蝕金屬，但在遇到水的環(huán)境下就顯示出很強的腐蝕性，如HCl, HF, PCl3, SiF4,ClF3，WF6等。

（4）惰性氣體(Inert Gas)： 隋性氣體本身一般不會直接對人體產(chǎn)生傷害，在氣體傳輸過程中，相對于安全上的要求不如以上其他氣體嚴格。但惰性氣體具有窒息特性，在密閉空間若發(fā)生泄漏會使人窒息而造成工傷事故。屬于這類的氣體有C2 F6,CF4,SF6,CHF 3等。

（5）氧化性氣體（Oxide Gas）：這類氣體有較強的氧化性，一般同時具有其他特性，如毒性或腐蝕性等。屬于這類的氣體有ClF3 ,Cl2,NF3等。

氣體管路壓力測試要求

1、管道試壓應全面檢查，檢查已安裝的管道、管件、閥門、緊固件和支架等，質(zhì)量應符合設計要求和技術(shù)規(guī)范的規(guī)定。

2、管道試壓應編制試壓計劃，根據(jù)工作壓力系統(tǒng)進行試壓。一般來說，在相同的大氣環(huán)境中，不需要對非壓力管道進行壓力測試，例如排氣管和排水管。

3.試壓前，應使用盲板將不能進行試壓的設備與管道和不同于壓力系統(tǒng)的管道系統(tǒng)隔離開來。不應與管道系統(tǒng)一起進行壓力測試的管道附件應拆除。短管的臨時安裝。

4.管道中的所有開口應關閉，系統(tǒng)中的閥門應打開。系統(tǒng)高點應配備排氣閥，低點應配備排水閥。5.壓力試驗期間，應使用精度等級在1.5以上的兩個壓力表。

5.壓力表的測量范圍應為被測大壓力的1.5~2倍。一個壓力表應安裝在試壓泵的出口，另一個壓力表應安裝在系統(tǒng)壓力波動相對較小的其他位置。

6.試壓時，壓力應緩慢升至試驗壓力，并觀察管道各部分的情況。如果發(fā)現(xiàn)問題，應在卸壓后進行修理，禁止帶壓修理。缺陷消除后，重新測試壓力。

7、壓力試驗時，無關人員不能進入，以防受傷。

8.對于劇毒管線和設計壓力P≥10Mpa的管線，在試壓前，設計單位應根據(jù)規(guī)范要求對所有數(shù)據(jù)進行復核，并確認無誤。

9.壓力試驗計劃已獲批準，并已進行技術(shù)交底。

10.管道系統(tǒng)試驗合格后，應及時填寫《管道系統(tǒng)壓力試驗記錄》，并由相關人員簽字確認。