SLM代表的含義是，標(biāo)準(zhǔn)升每分鐘，標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)是0℃ 一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓

SCCM是標(biāo)準(zhǔn)毫升每分鐘，
現(xiàn)在這種單位，用作，微小氣體流量計(jì)，以及控制器的流量單位，廣泛應(yīng)用于真空半導(dǎo)體行業(yè)

氣體質(zhì)bai量流量計(jì)為氣體質(zhì)量流量的檢測(cè)提供了可靠du的解決方案，低流量敏感、快速zhi響應(yīng)及dao量程比寬使得這款儀表成為許多重要?dú)怏w應(yīng)用領(lǐng)域的選產(chǎn)品、Steel-Trak傳感器自動(dòng)溫度補(bǔ)償溫度和壓力，使質(zhì)量流量輸出更加穩(wěn)定可靠。它在氣體測(cè)量方面的優(yōu)勢(shì)特別明顯，尤其在壓力小、氣體成分復(fù)雜的情況下。它同其他流量計(jì)相比有著壓力和溫度損失小、量程比寬、小量程段靈敏等優(yōu)點(diǎn)。

目前上氣體流量測(cè)量比較可靠和測(cè)量準(zhǔn)確度較高的流量計(jì)是采用質(zhì)量流量計(jì)，其中較為成熟的是 BROOKS布魯克斯質(zhì)量流量計(jì)和熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)。科式質(zhì)量流量計(jì)有應(yīng)用的障礙和難點(diǎn)。

 工況流bai量和標(biāo)況流量通常是在計(jì)量氣體的時(shí)候會(huì)出du現(xiàn)，通俗的來(lái)講，標(biāo)況流量是zhi在流量計(jì)有溫度壓dao力補(bǔ)償?shù)那闆r下同時(shí)又有具體壓力數(shù)的情況下計(jì)算出來(lái)。一般標(biāo)況流量單位為Nm³/h，工況流量計(jì)計(jì)量單位為m³/h

 美國(guó) BROOKS布魯克斯質(zhì)量流量計(jì)是為了滿足有關(guān)工藝過程中對(duì)測(cè)量精度、重復(fù)性和控制方面的要求而設(shè)計(jì)的產(chǎn)品。