布魯克斯高精度質量流量計  來自 Brooks Instrument 的 5850EMH 系列高溫金屬密封質量流量控制器結合出色的金屬密封泄漏完整性，為高溫氣體測量和控制提供了的性能，具有多種選擇，允許較大的應用靈活性。5850EMH 系列的核心是高穩(wěn)定的傳感器，其提供與流速線性相關的電氣輸出信號。該信號用于指示、記錄和/或控制目的而無需自動歸零電路。

 布魯克斯高精度質量流量計特點

• 高泄漏完整性（小于 10-11 Pa.m3/s (10-10 atm.cc/s) He）
• 寬流速范圍（0.003 - 100 slpm）
• 高純度 VAR 316L 不銹鋼
• 無磨粒
• 氦泄漏檢查端口
• 常閉閥（可選常開閥）
• 電致動閥復位
• 低命令流量斷流
• TTL 兼容"關閥"功能

優(yōu)勢

• 穩(wěn)定、可靠的產品平臺
• 高流量，高達 100 lpm（N2 當量）
• 全金屬流路提高氣體純度及減少泄漏
• 僅使用模擬輸入/輸出容易安裝和維修

應用

• 光纖制造——MCVD，OVD，AVD
• 水汽流量控制
•  

  準確和可重復的過程控制：這是半導體和電子制造業(yè)的根本驅動因素。由于每代工具、工藝和節(jié)點都具有連續(xù)性，已經開發(fā)出來并得以部署，所以半導體流量和壓力計的*和超高性能要求以及對不斷創(chuàng)新和改進的需求，在現在乃將來都不會停止。

  Brooks Instrument 按這些要求提供本行業(yè)的流量、壓力、真空和蒸汽輸送解決方案。我們的半導體產品組合包涵了我們創(chuàng)造眾多突破性測量和控制設備的數十年經驗，這些設備現已成為本行業(yè)各層次工藝設備的標準部件。

  您選擇 Brooks Instrument 半導體產品，即選擇了我們的獨到見解和資源，只有我們才能利用這些處理 FEOL 和 BEOL 的基本流程并迎接產量方面的挑戰(zhàn)：

• 專業(yè)：*的半導體工具制造商期待 Brooks 員工用他們*的專業(yè)技術和獨到見解，對流量和壓力的測量和控制技術精益求精，應對*的工藝氣體、設備腔體接合以及生產力方面的挑戰(zhàn)。
• 準確：Brooks 的儀器為客戶提供適用、特別應用的準確度、耐用度，重要的是重復性，幫助客戶管理飛漲的工具成本。我們一直不斷投資改善我們的產品組合，所以我們的每臺設備都有助于提高過程控制，終轉化為生產力和產量。
• 可靠：Brooks 的半導體產品采用的是較高質的鋼與合金、高性能數字電子技術和獲得的傳感器設計，能提供數十年的可重復性準確測量和控制，尤其是在與外來工藝氣體相互作用時。
• 焦點：Brooks 專注流量和壓力的測量和控制，服務能力不斷提升，業(yè)務遍及各國，能對儀器問題作出較快響應，并對其提供的半導體產品提供更好的生命周期支持。
• 支持：我們支持并提供應用專業(yè)技術、定制計量配置、服務和產品選擇幫助。