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EVG 320 Wafer Cleaning EVG 320 自動(dòng)化單晶圓清洗系統(tǒng)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 北京亞科晨旭科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號(hào) EVG 320 Wafer Cleaning
  • 產(chǎn)地 奧地利
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2024/9/25 16:46:06
  • 訪問(wèn)次數(shù) 806

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公司自成立以來(lái)就一直專注于半導(dǎo)體、微組裝和電子裝配等領(lǐng)域的設(shè)備集成和技術(shù)服務(wù);目前公司擁有一支在半導(dǎo)體制造、微組裝及電子裝配等領(lǐng)域經(jīng)驗(yàn)豐富的專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì),專業(yè)服務(wù)于混合電路、光電模塊、MEMS、先進(jìn)封裝(TSV、Fan-out等)、化合物半導(dǎo)體、微波器件、功率器件、紅外探測(cè)、聲波器件、集成電路、分立器件、微納等領(lǐng)域。我們不僅能為客戶提供整套性能可靠的設(shè)備,還能根據(jù)客戶的實(shí)際生產(chǎn)需求制訂可行的工藝技術(shù)方案。
目前亞科電子已與眾多微電子封裝和半導(dǎo)體制造設(shè)備企業(yè)建立了良好的合作關(guān)系(如:BRUKER、EVG、TRYMAX、CAMTEK、CENTROTHERM、SENTECH、ENGIS、ADT、SONOSCAN、ASYMTEK、MARCH、PANASONIC、HYBOND、OKI、KEKO等),為向客戶提供先進(jìn)的設(shè)備和專業(yè)的技術(shù)服務(wù)打下了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。

 

半導(dǎo)體設(shè)備,微組裝設(shè)備,LTCC設(shè)備,化工檢測(cè)設(shè)備

產(chǎn)地類(lèi)別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 電子/電池

EVG 320  Automated Single Wafer Cleaning System

EVG 320  自動(dòng)化單晶圓清洗系統(tǒng)

自動(dòng)單晶片清洗系統(tǒng),可有效去除顆粒

 

EVG320自動(dòng)化單晶圓清洗系統(tǒng)可在處理站之間自動(dòng)處理晶圓和基板。 機(jī)械手處理系統(tǒng)可確保在盒到盒或FOUPFOUP操作中自動(dòng)預(yù)對(duì)準(zhǔn)和裝載晶圓。 除了使用去離子水沖洗外,配置選項(xiàng)還包括兆頻,刷子和稀釋的化學(xué)藥品清洗。

 

特征

多達(dá)四個(gè)清潔站

全自動(dòng)盒帶間或FOUPFOUP處理

可進(jìn)行雙面清潔的邊緣處理(可選)

使用1 MHz的超音速噴嘴或區(qū)域傳感器(可選)進(jìn)行高效清潔

先進(jìn)的遠(yuǎn)程診斷

防止從背面到正面的交叉污染

*由軟件控制的清潔過(guò)程

EVG320技術(shù)數(shù)據(jù)

晶圓直徑(基板尺寸)200、100-300毫米

 

 

清潔系統(tǒng)

開(kāi)室,旋轉(zhuǎn)器和清潔臂

腔室:由PPPFA制成(可選)

清潔介質(zhì):去離子水(標(biāo)準(zhǔn)),其他清潔介質(zhì)(可選)

旋轉(zhuǎn)卡盤(pán):真空卡盤(pán)(標(biāo)準(zhǔn))和邊緣處理卡盤(pán)(選件),由不含金屬離子的清潔材料制成

 

旋轉(zhuǎn):zui3000 rpm5秒內(nèi))

超音速噴嘴:頻率:1 MHz3 MHz選件);輸出功率:30-60 W;

去離子水流量:zui1.5/分鐘;有效清潔區(qū)域:?4.0 mm;材質(zhì):聚四氟乙烯

兆聲區(qū)域傳感器:可選的;



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