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SOI and Direct Wafer Bond EVG 850 SOI的自動化生產(chǎn)鍵合系統(tǒng)

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 北京亞科晨旭科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 SOI and Direct Wafer Bond
  • 產(chǎn)地 奧地利
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2024/9/25 16:52:38
  • 訪問次數(shù) 811

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公司自成立以來就一直專注于半導(dǎo)體、微組裝和電子裝配等領(lǐng)域的設(shè)備集成和技術(shù)服務(wù);目前公司擁有一支在半導(dǎo)體制造、微組裝及電子裝配等領(lǐng)域經(jīng)驗豐富的專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊,專業(yè)服務(wù)于混合電路、光電模塊、MEMS、先進(jìn)封裝(TSV、Fan-out等)、化合物半導(dǎo)體、微波器件、功率器件、紅外探測、聲波器件、集成電路、分立器件、微納等領(lǐng)域。我們不僅能為客戶提供整套性能可靠的設(shè)備,還能根據(jù)客戶的實際生產(chǎn)需求制訂可行的工藝技術(shù)方案。
目前亞科電子已與眾多微電子封裝和半導(dǎo)體制造設(shè)備企業(yè)建立了良好的合作關(guān)系(如:BRUKER、EVG、TRYMAX、CAMTEK、CENTROTHERM、SENTECH、ENGIS、ADT、SONOSCAN、ASYMTEK、MARCH、PANASONIC、HYBOND、OKI、KEKO等),為向客戶提供先進(jìn)的設(shè)備和專業(yè)的技術(shù)服務(wù)打下了堅實基礎(chǔ)。

 

半導(dǎo)體設(shè)備,微組裝設(shè)備,LTCC設(shè)備,化工檢測設(shè)備

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 電子/電池

EVG 850   Automated Production Bonding System for SOI

EVG 850   SOI的自動化生產(chǎn)鍵合系統(tǒng)

 

自動化生產(chǎn)鍵合系統(tǒng),適用于多種融合/分子晶圓鍵合應(yīng)用

 

技術(shù)數(shù)據(jù)

SOI晶片是微電子行業(yè)有望生產(chǎn)出更快,性能更高的微電子設(shè)備的有希望的新基礎(chǔ)材料。晶圓鍵合技術(shù)是SOI晶圓制造工藝的一項關(guān)鍵技術(shù),可在絕緣基板上實現(xiàn)高質(zhì)量的單晶硅膜。借助EVG850 SOI生產(chǎn)粘合系統(tǒng),SOI粘合的所有基本步驟-從清潔和對準(zhǔn)到預(yù)粘合和紅外檢查-都結(jié)合了起來。因此,EVG850確保了高達(dá)300 mm尺寸的無空隙SOI晶片的高產(chǎn)量生產(chǎn)工藝。 EVG850在高通量,高產(chǎn)量環(huán)境下運行的生產(chǎn)系統(tǒng),已被確立為SOI晶圓市場的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。

 

特征

生產(chǎn)系統(tǒng)可在高通量,高產(chǎn)量環(huán)境中運行;     自動盒帶間或FOUPFOUP操作

無污染的背面處理;                         超音速和/或刷子清潔

機(jī)械平整或缺口對齊的預(yù)粘合;               先進(jìn)的遠(yuǎn)程診斷

技術(shù)數(shù)據(jù)

 

晶圓直徑(基板尺寸):100-200、150-300毫米

全自動盒帶到盒帶操作

 

 

 

預(yù)粘接室

對齊類型:平面到平面或凹口到凹口

對準(zhǔn)精度:XY:±50 µm,θ:±0.1°

結(jié)合力:zui5 N

鍵合波起始位置:從晶圓邊緣到中心靈活

真空系統(tǒng):9x10-2 mbar(標(biāo)準(zhǔn))和9x10-3 mbar(渦輪泵選件)

 

清潔站

清潔方式:沖洗(標(biāo)準(zhǔn)),超音速噴嘴,超音速面積傳感器,噴嘴,刷子(可選)

腔室:由PPPFA制成(可選)



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