BTF-1200C-II-PECVD CVD系統(tǒng)
- 公司名稱 安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司
- 品牌 貝意克
- 型號 BTF-1200C-II-PECVD
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/8/19 12:57:17
- 訪問次數(shù) 2137
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高溫管式爐，箱式爐，CVD系統(tǒng)，PECVD系統(tǒng)， 升華儀，流化床，半導(dǎo)體前驅(qū)體制備設(shè)備，陶瓷材料燒結(jié)設(shè)備
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 儀器種類 | 管式爐 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,建材/家具,電氣,綜合 |
CVD系統(tǒng)配有前端預(yù)加熱爐，輔助固態(tài)源蒸發(fā)，后端為單溫區(qū)加熱爐 ，溫度控制精確，操作簡便，對于氣相沉積，二維材料，等離子處理生長工藝非常合適，也同樣適用于要求快速升降溫的CVD實驗。
1.與傳統(tǒng)CVD系統(tǒng)比較，生長溫度更低。
2.使用滑軌爐實現(xiàn)快速升溫和降溫。
3.設(shè)備*的技術(shù)使得整管輝光均勻等效，均勻生長
1.加熱系統(tǒng)
| 最高溫度 | 1200℃ |
| 使用溫度 | ≤1100℃ |
| 爐膛有效尺寸 | Φ50mm（爐管直徑可根據(jù)實際需要定制） |
| 爐膛材料 | 氧化鋁、高溫纖維制品 |
| 熱電偶類型 | K型熱電偶 |
| 控溫精度 | ±1℃ |
| 控溫方式 | 30段可編程控溫，PID參數(shù)自整定 |
| 加熱長度 | 200+200mm |
| 恒溫長度 | 100+100mm |
| 加熱原件 | 電阻絲 |
| 供電電源 | 單相，220V，50Hz |
2、預(yù)熱系統(tǒng)系統(tǒng)
| 最高溫度 | 400℃ |
| 爐膛有效尺寸 | Φ50mm（爐管直徑可根據(jù)實際需要定制） |
| 爐膛材料 | 氧化鋁、高溫纖維制品 |
| 熱電偶類型 | K型熱電偶 |
| 控溫精度 | ±1℃ |
| 控溫方式 | 30段可編程控溫，PID參數(shù)自整定 |
| 加熱長度 | 100mm |
| 加熱原件 | 電阻絲 |
| 額定功率 | 800W |
3、PE系統(tǒng)
| 功率輸出范圍 | 0W~500W |
| 最大反射功率 | 100W |
| 射頻輸出接口 | 50 Ω, N-type, female |
| 功率穩(wěn)定度 | ≤5W |
| 諧波分量 | ≤-50dbc |
| 供電電壓 | 單相交流（187V-253V） 頻率50/60HZ |
| 整機效率 | >=70% |
| 功率因素 | >=90% |
| 冷卻方式 | 強制風冷 |
4、三路質(zhì)子流量控制系統(tǒng)
| 連接頭類型 | 雙卡套不銹鋼接頭 |
| 標準量程（N2) | 50sccm，100sccm、500sccm（可根據(jù)用戶要求定制） |
| 準確度 | ±1.5%F.S |
| 線性 | ±1%F.S |
| 重復(fù)精度 | ±0.2%F.S |
| 響應(yīng)時間 | 氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec |
| 工作壓差范圍 | 0.1～0.5 MPa |
| 最大壓力 | 3MPa |
| 接口 | Φ6,1/4'' |
| 顯示 | 4位數(shù)字顯示 |
| 工作環(huán)境溫度 | 5~45高純氣體 |
| 壓力真空表 | －0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
| 截止閥 | Φ6 |
| 內(nèi)外雙拋不銹鋼管 | Φ6 |
5、低真空機組
| 空氣相對濕度 | ≤85% |
| 工作環(huán)境 | 5℃～40℃ |
| 工作電電壓 | 280V |
| 抽氣速率 | 32m³/h |
| 極限真空 | 5X10-1Pa（空載冷態(tài)） |
| 工作壓力范圍 | 1.01325X105～1.33X10-2Pa |
| 耐壓值 | 0.03MPa |
| 進氣口口徑 | KF40 |
| 排氣口口徑 | KF40 |
| 連接方式 | 采用波紋管，手動擋板閥與波紋管相連 |
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