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Ionfab 300 IBE 離子束刻蝕系統(tǒng)IBE

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺,快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1. 產(chǎn)品概述

離子束刻蝕的靈活性、均勻性俱佳且應(yīng)用范圍廣。我們的設(shè)備具有靈活的硬件選項(xiàng),包括直開式、單襯底傳送模式和盒式對盒式模式。系統(tǒng)配置與實(shí)際應(yīng)用緊密協(xié)調(diào),以確保獲得速率更快且重復(fù)性更好的工藝結(jié)果。百科:?離子束刻蝕系統(tǒng)(IBE)是一種物理刻蝕技術(shù),利用輝光放電原理將氬氣分解為氬離子,并通過陽極電場加速的離子束對樣品表面進(jìn)行物理轟擊,以達(dá)到刻蝕的目的。?離子束刻蝕(IBE),也稱為離子銑(Ion Beam Milling),是一種具有強(qiáng)方向性的物理刻蝕機(jī)理,能夠產(chǎn)生各向異性刻蝕,適用于小尺寸圖形的加工。

2. 設(shè)備特點(diǎn)

磁阻式隨機(jī)存取存儲器(MRAM);

介電薄膜;

III-V族光電子材料刻蝕

自旋電子學(xué);

金屬電極和軌道;

超導(dǎo)體

激光端面鍍膜;

高反射(HR)膜;

防反射(AR)膜;

環(huán)形激光陀螺反射鏡;

X射線光學(xué)系統(tǒng)

紅外(IR)傳感器;

II-VI族材料

通信濾波器。

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