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customized 離子注入機

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 深圳市矢量科學儀器有限公司
  • 品牌 ULVAC/日本愛發(fā)科
  • 型號 customized
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 更新時間 2025/6/5 7:33:39
  • 訪問次數(shù) 1672

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設(shè)備、半導體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務(wù)。

公司目前已授實用新型權(quán)利 29 項,軟件著作權(quán) 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1. 產(chǎn)品概述

離子注入機是高壓小型加速器中的一種,應(yīng)用數(shù)量最多。它是由離子源得到所需要的離子,經(jīng)過加速得到幾百千電子伏能量的離子束流,用做半導體材料、大規(guī)模集成電路和器件的離子注入,還用于金屬材料表面改性和制膜等。

2. 設(shè)備特點

單價離子大加速能量≥200keV,并增加減速系統(tǒng)實現(xiàn)單價離子在5keV~200keV的能量范圍

可用于2、3、4、6、8英寸晶圓以及不規(guī)則碎片

可注入B、P、As、Al、S、H、Mg、Si離子

注入劑量精準度≤1.5%

離子注入劑量范圍:1×1011 at/cm2~1×1016 at/cm2

離子源部分:離子源、離子源氣體系統(tǒng)和離子源引出系統(tǒng)

離子源系統(tǒng)搭載5套從固體蒸發(fā)源產(chǎn)生離子的Vaporizer,溫度達700℃,實現(xiàn)固態(tài)源的離子注入

離子注入傾斜角度在0°和7°

室溫臺:0°和7°;高溫臺:0°

束流調(diào)整系統(tǒng)主要包括:質(zhì)量分析器、束流匯聚系統(tǒng)、加速系統(tǒng)、掃描系統(tǒng)、束流檢測和高壓絕緣變壓器

真空系統(tǒng)主要包括:Ion Source真空系統(tǒng)、Beam Line真空系統(tǒng)、End Station真空系統(tǒng)、真空系統(tǒng)中的真空管件和閥門以及真空檢測單元

真空度:

Ion Source真空度:≤7×10-4Pa

Beam Line真空度:≤7×10-5Pa

End Station真空度:≤7×10-5Pa

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