国产精品视频一区二区三区四,亚洲av美洲av综合av,99国内精品久久久久久久,欧美电影一区二区三区电影

官方微信|手機(jī)版

產(chǎn)品展廳

產(chǎn)品求購企業(yè)資訊會展

發(fā)布詢價(jià)單

化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>離子注入設(shè)備>離子注入機(jī)>IH-860DSIC SiC用高溫離子注入設(shè)備

IH-860DSIC SiC用高溫離子注入設(shè)備

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

聯(lián)系方式:謝澤雨查看聯(lián)系方式

聯(lián)系我們時(shí)請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!




深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺,快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1 產(chǎn)品概述:

   SiC用高溫離子注入設(shè)備,如愛發(fā)科(Ulvac)公司推出的IH-860DSIC,是專為SiC功率器件工藝制程中離子注入和激活退火技術(shù)難題設(shè)計(jì)的專用設(shè)備。該設(shè)備搭載了高溫ESC(靜電吸附卡盤),能夠在高溫環(huán)境下實(shí)現(xiàn)高能粒子的連續(xù)注入,有效解決了SiC晶圓在離子注入過程中易產(chǎn)生結(jié)晶缺陷的問題。

2 設(shè)備用途:

   SiC用高溫離子注入設(shè)備主要用于SiC功率器件(如SiC-SBDSiC-MOSFET)的生產(chǎn)工藝中,特別是在離子注入和激活退火環(huán)節(jié)。通過該設(shè)備,可以實(shí)現(xiàn)高溫下的高能離子注入,控制注入離子的濃度和深度,從而改善SiC器件的物理特性、表面特性及電學(xué)特性。這對于提升SiC功率器件的性能和可靠性至關(guān)重要。

3 設(shè)備特點(diǎn)

  高溫處理能力:設(shè)備能夠在500℃的高溫下進(jìn)行離子注入,有效控制SiC晶圓在注入過程中產(chǎn)生的結(jié)晶缺陷。

  高能粒子注入:支持高能量的離子注入,如1價(jià)離子可注入至350keVOption: 430keV),2價(jià)離子可注入至700keVOption: 860keV),滿足SiC晶圓對注入能量的高要求。

  高吞吐量:通過采用可調(diào)溫的靜電吸盤和雙工位系統(tǒng)結(jié)構(gòu),實(shí)現(xiàn)了晶圓在真空腔內(nèi)的連續(xù)更換和高溫處理,將吞吐量提升至30/小時(shí)(支持直徑為75mm-150mm的晶圓),滿足量產(chǎn)需求。

  自動化與智能化:設(shè)備具備自動連續(xù)高溫處理注入的功能,減輕了操作員的負(fù)擔(dān),同時(shí)提高了生產(chǎn)效率和一致性。
4
技術(shù)參數(shù)和特點(diǎn):

可實(shí)現(xiàn)自動連續(xù)高溫處理注入

•1價(jià)離子可注入至350keV、2價(jià)離子可注入至700keV

Option1價(jià)離子可注入至430keV、2價(jià)離子可注入至860keV

通過Dual-End-Station(雙工位)實(shí)現(xiàn)高產(chǎn)能;

A4"高溫ESC/B3"高溫ESC、A6"高溫ESC/B6"常溫ESC等等,可配合客戶的希望就行規(guī)格配置)

可減輕操作員的負(fù)擔(dān),緊湊式設(shè)計(jì)

可大范圍對應(yīng)從試作到量產(chǎn)的各類需求


相關(guān)分類



化工儀器網(wǎng)

采購商登錄
記住賬號    找回密碼
沒有賬號?免費(fèi)注冊

提示

×

*您想獲取產(chǎn)品的資料:

以上可多選,勾選其他,可自行輸入要求

個(gè)人信息:

溫馨提示

該企業(yè)已關(guān)閉在線交流功能

崇阳县| 瑞昌市| 嘉义县| 垫江县| 垦利县| 郓城县| 夹江县| 拜泉县| 叙永县| 太和县| 通山县| 台南县| 德惠市| 资兴市| 博白县| 永靖县| 潞西市| 阜城县| 佛冈县| 乐东| 寿阳县| 启东市| 焦作市| 汤原县| 厦门市| 满洲里市| 栾川县| 齐齐哈尔市| 富民县| 福建省| 赣榆县| 苍山县| 阿合奇县| 临西县| 井研县| 佳木斯市| 棋牌| 阳东县| 巴塘县| 杨浦区| 宾川县|