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customized 半導(dǎo)體研磨拋光機(jī)

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務(wù)。

公司目前已授實用新型權(quán)利 29 項,軟件著作權(quán) 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










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1. 產(chǎn)品概述:

MCF 的半導(dǎo)體研磨拋光機(jī)是用于半導(dǎo)體材料表面處理的關(guān)鍵設(shè)備。它通過機(jī)械研磨和化學(xué)拋光的協(xié)同作用,能夠?qū)Π雽?dǎo)體晶圓等材料進(jìn)行高精度的平坦化處理,有效去除表面的瑕疵、劃痕和不均勻?qū)?,以達(dá)到半導(dǎo)體制造過程中對材料表面質(zhì)量的嚴(yán)苛要求。例如,可對硅晶圓、砷化鎵晶圓等進(jìn)行研磨拋光,為后續(xù)的光刻、蝕刻、薄膜沉積等工藝步驟創(chuàng)造理想的表面條件。

2. 設(shè)備應(yīng)用

· 半導(dǎo)體制造:在半導(dǎo)體芯片的生產(chǎn)過程中,對晶圓進(jìn)行研磨拋光是必須的環(huán)節(jié)。該設(shè)備可用于晶圓的初始表面處理,使其達(dá)到高度的平整度和光潔度,以便后續(xù)的電路圖案制作;也可用于芯片制造過程中的中間階段,對晶圓進(jìn)行局部或全面的拋光,以改善電學(xué)性能和提高芯片的成品率。例如在邏輯芯片和存儲芯片的制造中,都需要高精度的研磨拋光來確保芯片的質(zhì)量和性能。

· 光電領(lǐng)域:用于制造光學(xué)元件,如激光器中的半導(dǎo)體激光芯片、光學(xué)傳感器中的敏感元件等。通過對這些半導(dǎo)體材料進(jìn)行精細(xì)的研磨拋光,可以提高光學(xué)元件的透光率、折射率均勻性等性能指標(biāo),從而提升整個光電系統(tǒng)的性能。

· 科研領(lǐng)域:為高校和科研機(jī)構(gòu)的半導(dǎo)體材料研究提供有力的實驗工具??蒲腥藛T可以利用該設(shè)備探索不同的研磨拋光工藝參數(shù)對半導(dǎo)體材料性能的影響,開發(fā)新的半導(dǎo)體材料和工藝技術(shù)。

3. 設(shè)備特點

· 高精度加工:能夠?qū)崿F(xiàn)納米級甚至原子級的表面粗糙度控制,確保半導(dǎo)體材料表面的平整度和光潔度達(dá)到較高的標(biāo)準(zhǔn),滿足半導(dǎo)體制造對表面質(zhì)量的苛刻要求。

· 工藝靈活性:可適應(yīng)多種半導(dǎo)體材料,如硅、砷化鎵、碳化硅等,并且針對不同材料和應(yīng)用場景,能夠靈活調(diào)整研磨拋光的工藝參數(shù),如研磨壓力、轉(zhuǎn)速、拋光液配方等,以實現(xiàn)最佳的加工效果。

· 可靠的性能:具備穩(wěn)定的機(jī)械結(jié)構(gòu)和先進(jìn)的控制系統(tǒng),確保設(shè)備在長時間運(yùn)行過程中保持高精度的加工性能,減少設(shè)備故障和停機(jī)時間,提高生產(chǎn)效率。

· 先進(jìn)的監(jiān)控系統(tǒng):配備實時監(jiān)控功能,能夠?qū)ρ心伖膺^程中的關(guān)鍵參數(shù),如溫度、壓力、轉(zhuǎn)速等進(jìn)行實時監(jiān)測和反饋,以便操作人員及時調(diào)整工藝參數(shù),保證加工質(zhì)量的穩(wěn)定性。

· 易于操作和維護(hù):具有人性化的操作界面,使操作人員能夠方便快捷地進(jìn)行設(shè)備操作和參數(shù)設(shè)置。同時,設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)也相對簡便,降低了設(shè)備的使用成本和維護(hù)難度。

4. 產(chǎn)品參數(shù)

1. 拋光盤規(guī)格:380mm                                      

2. 陶瓷盤規(guī)格:139mm                                                    

3. 拋光頭數(shù)量:2                      

4. 拋光盤轉(zhuǎn)速范圍:0~ 70RPM

5.擺動幅度:±5mm

實際參數(shù)可能會因設(shè)備的具體配置和定制需求而有所不同。

 













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