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RTP-3-01 1200℃快速退火爐 實驗室晶圓快速熱處理

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 武漢嘉儀通科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 RTP-3-01
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2023/6/14 11:03:21
  • 訪問次數(shù) 311
產(chǎn)品標(biāo)簽

快速退火爐RTP快速退火爐

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武漢嘉儀通科技有限公司成立于2009年,是以薄膜物性測量儀器作為戰(zhàn)略定位,技術(shù)自主創(chuàng)新的國家新技術(shù)企業(yè)。公司集快速退火爐,霍爾效應(yīng)測試,RTP,RTA,RTO,熱電參數(shù)測試,Seebeck系數(shù)測試,電導(dǎo)率測試,熱導(dǎo)率測試,相變溫度分析,液氮低溫恒溫器等物性檢測儀器和半導(dǎo)體工藝設(shè)備的研發(fā)、市場和技術(shù)服務(wù)于一體,且相繼被評為湖北省“百人計劃”及武漢市政府“城市合伙人”企業(yè)。

  武漢嘉儀通科技有限公司始終堅持自主研發(fā)與應(yīng)用創(chuàng)新,擁有自己的技術(shù)工程師研發(fā)團隊,建有省級工程實驗室、新型研發(fā)機構(gòu)以及市級企業(yè)技術(shù)中心平臺,擁有知識產(chǎn)權(quán)100多項,主持承擔(dān)參與了10余項國家科技攻關(guān)項目。2020 年,公司研發(fā)的“薄膜材料熱特性測試技術(shù)及儀器”技術(shù)與產(chǎn)品榮獲了“湖北省技術(shù)發(fā)明一等獎”。核心序列產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于大專院校、科研院所、第三方檢測機構(gòu)和工業(yè)企業(yè)等細分領(lǐng)域,并服務(wù)于國內(nèi)近500家客戶。除此之外,核心產(chǎn)品還遠銷美國、英國、日本、澳大利亞、以色列、香港、澳門、中國臺灣等20多個國家和地區(qū),實實在在為新材料的科研和生產(chǎn)創(chuàng)造了價值。未來,公司依托省級科研共享平臺的大數(shù)據(jù)分析,為世界各國用戶的薄膜技術(shù)研究及戰(zhàn)略方向提供理論依據(jù)與數(shù)據(jù)支撐。 

  武漢嘉儀通科技有限公司秉承技術(shù)創(chuàng)新、應(yīng)用為上的行動準(zhǔn)則,遵循“專注、創(chuàng)新、成長、勤勉”的核心價值理念,認真做好每一款產(chǎn)品,為客戶提供合適的產(chǎn)品與優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。最終實現(xiàn)公司愿景:和員工一起成長為薄膜(熱)測量領(lǐng)域的先鋒者!

 

快速退火爐,半導(dǎo)體退火設(shè)備,液氮低溫恒溫器,快速退火爐RTP

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 價格區(qū)間 30萬-50萬
儀器種類 真空爐 應(yīng)用領(lǐng)域 電子/電池,航空航天,電氣

嘉儀通 1200℃快速退火爐 實驗室晶圓快速熱處理,快速退火爐對材料的快速熱處理(RTP)、快速退火(RTA)、快速熱氮化(RTN)、快速熱氧化(RTO)及金屬合金化等研究和生產(chǎn)起到重要作用。

快速退火爐RTP-3-01系列.png

溫度范圍:RT~1200℃,大升溫速率:50 ℃/s  控溫精度:±0.1℃   溫度均勻性:±1%   降溫速率:1200℃→400℃:200℃/min400℃→100℃:20℃/min

快速退火爐可應(yīng)用于集成電路的離子注入退火;集成電路、LED芯片、半導(dǎo)體激光器芯片、射頻芯片、MEMS芯片、功率器件、分立器件、第三代半導(dǎo)體等的合金化退火;石墨烯,Au納米晶的制備;集成電路,LED芯片、第三代半導(dǎo)體等的致密化退火;集成電路、分立器件、功率器件、射頻芯片等的熱氮化/熱氧化退火。

嘉儀通 1200℃快速退火爐 實驗室晶圓快速熱處理 產(chǎn)品特點

● 快速加熱和降溫: 高可控升溫速率可達50 ℃/s,特定條件下可以達到100 ℃/s。冷壁水冷設(shè)計能夠達到較大的降溫速率,特定條件下可達30 ℃/s。

● 精確控溫: 采用工業(yè)溫控器進行PID精確控溫,目標(biāo)溫度與設(shè)定溫度曲線一致性高,可實現(xiàn)室溫至1200 ℃的溫度精確控制。

● 適應(yīng)多種工藝環(huán)境: 滿足多種工藝氣氛下的熱處理(氮氣、氬氣等)。同時,通過選配真空泵,可以在真空條件下進行退火,高真空度可達10-3Pa。

● 配備觀察窗口: 通過觀察窗口,可以實時觀察熱處理過程中的樣品變化。同時,可以結(jié)合相關(guān)測試方法進行原位測試分析。

● 超高安全系數(shù): 采用爐壁超溫報警系統(tǒng)和冷卻水流量報警系統(tǒng),多方位保障儀器使用安全。

● 國產(chǎn)退火爐:擁有自主研發(fā)技術(shù)和制造能力,能快速反應(yīng)客戶售后需求。


本產(chǎn)品其它的優(yōu)勢:

可測大尺寸樣品

可遠程操作

壓力控制系統(tǒng)創(chuàng)新設(shè)計

存儲熱處理工藝

快速控溫與高真空

程序設(shè)定與氣路擴展

腔體空間設(shè)計

全自動智能控制

超高安全系數(shù)

國產(chǎn)退火爐


 




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