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RTP-3-04 嘉儀通 高溫快速退火爐用于半導體退火處理

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 武漢嘉儀通科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 RTP-3-04
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2023/6/14 11:39:07
  • 訪問次數(shù) 348

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武漢嘉儀通科技有限公司成立于2009年是以薄膜物性測量儀器作為戰(zhàn)略定位,技術自主創(chuàng)新的國家新技術企業(yè)。公司集快速退火爐,霍爾效應測試,RTP,RTA,RTO,熱電參數(shù)測試,Seebeck系數(shù)測試,電導率測試,熱導率測試,相變溫度分析,液氮低溫恒溫器等物性檢測儀器和半導體工藝設備的研發(fā)、市場和技術服務于一體,且相繼被評為湖北省“百人計劃”及武漢市政府“城市合伙人”企業(yè)。

  武漢嘉儀通科技有限公司始終堅持自主研發(fā)與應用創(chuàng)新,擁有自己的技術工程師研發(fā)團隊,建有省級工程實驗室、新型研發(fā)機構以及市級企業(yè)技術中心平臺,擁有知識產(chǎn)權100多項,主持承擔參與了10余項國家科技攻關項目。2020 年,公司研發(fā)的“薄膜材料熱特性測試技術及儀器”技術與產(chǎn)品榮獲了“湖北省技術發(fā)明一等獎”。核心序列產(chǎn)品廣泛應用于大專院校、科研院所、第三方檢測機構和工業(yè)企業(yè)等細分領域,并服務于國內(nèi)近500家客戶。除此之外,核心產(chǎn)品還遠銷美國、英國、日本、澳大利亞、以色列、香港、澳門、中國臺灣等20多個國家和地區(qū),實實在在為新材料的科研和生產(chǎn)創(chuàng)造了價值。未來,公司依托省級科研共享平臺的大數(shù)據(jù)分析,為世界各國用戶的薄膜技術研究及戰(zhàn)略方向提供理論依據(jù)與數(shù)據(jù)支撐。 

  武漢嘉儀通科技有限公司秉承技術創(chuàng)新、應用為上的行動準則,遵循“專注、創(chuàng)新、成長、勤勉”的核心價值理念,認真做好每一款產(chǎn)品,為客戶提供合適的產(chǎn)品與優(yōu)質的服務。最終實現(xiàn)公司愿景:和員工一起成長為薄膜(熱)測量領域的先鋒者!

 

快速退火爐,半導體退火設備,液氮低溫恒溫器,快速退火爐RTP

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 價格區(qū)間 30萬-50萬
儀器種類 真空爐 應用領域 能源,電子/電池,航空航天,汽車及零部件,電氣

嘉儀通 高溫快速退火爐用于半導體退火處理設備可實現(xiàn)大尺寸樣品(4英寸樣品)快速升溫和降溫,同時搭配超高精度溫度控制系統(tǒng),可達到好的溫場均勻性,對材料的快速熱處理(RTP)、快速退火(RTA)、快速熱氧化(RTO)、快速熱氮化(RTN)及金屬合金化等研究和生產(chǎn)工作起到重要作用。

嘉儀通 高溫快速退火爐用于半導體退火處理 該設備優(yōu)點有以下幾種:

  • 可測大尺寸樣品:可測單晶片樣品的尺寸為4英寸。

  • 可遠程操作:提供遠程監(jiān)控模塊。

  • 壓力控制系統(tǒng)創(chuàng)新設計:高精度控制壓力,以滿足不同的工藝要求。

  • 存儲熱處理工藝:方便工藝參數(shù)調(diào)取,提高實驗效率,數(shù)據(jù)可查詢。

  • 快速控溫與高真空:升溫速率可達150℃/s,真空度可達到10-3Pa。

  • 程序設定與氣路擴展:可實現(xiàn)不同溫度段的精確控制,進行降溫段的自動轉接,并能夠對工藝菜單進行保存,方便調(diào)用。采用MFC精確控制氣體流量,實現(xiàn)不同氣氛環(huán)境(真空、氮氣等)下的熱處理。

  • 腔體空間設計:保證大尺寸樣品的溫場均勻性 ≤1.5%。

  • 全自動智能控制:采用全自動智能控制,包括溫度、時間、氣體流量、真空、冷卻水等均可實現(xiàn)自動控制。

  • 超高安全系數(shù):采用爐門安全溫度開啟保護、溫控器開啟權限保護以及設備急停安全保護三重安全措施,多方位保障設備使用安全。

  • 國產(chǎn)退火爐:擁有自主研發(fā)技術和制造能力,能快速反應客戶售后需求。







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