UniPrinter研發(fā)型Desktop納米壓印光刻設備
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 青島天仁微納科技有限責任公司
- 品牌 天仁微納
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/5/13 14:33:11
- 訪問次數(shù) 1065
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UniPrinter研發(fā)型Desktop納米壓印光刻設備是一種專門為大學、科研院所和企業(yè)產(chǎn)品研發(fā)所設計，操作簡單、功能強大的臺面型納米壓印光刻設備?？蓪崿F(xiàn)4英寸以下基底面積上高精度（優(yōu)于10nm * ）、高深寬比（優(yōu)于10比1 * ）納米結構壓印，適合用作紫外納米壓印光刻工藝開發(fā)，器件原型快速驗證，納米壓印材料測試等研發(fā)。它沿用天仁微納量產(chǎn)型納米壓印設備的工藝與材料體系，在UniPrinter上開發(fā)的工藝可以無障礙轉移到天仁微納其它量產(chǎn)設備上進行生產(chǎn)。
UniPrinter納米壓印設備適用于DOE、AR/VR衍射光波導（包括斜齒光柵）、線光柵偏振、超透鏡、生物芯片、LED等應用領域的研發(fā)。
UniPrinter研發(fā)型Desktop納米壓印光刻設備主要功能
● 沿用天仁微納量產(chǎn)型納米壓印設備的工藝與材料體系，開發(fā)的工藝可以無障礙轉移到量產(chǎn)設備上進行生產(chǎn)
● 直徑100mm以下面積高精度、高深寬比納米壓印
● 設備內自動復制柔性復合工作模具
● 自動壓印、自動曝光固化、自動脫模，工藝過程無需人工干預
● 標配高功率紫外LED面光源（365nm，光強>300mW/cm2 ），支持各種納米壓印材料
● 隨機提供全套納米壓印工藝與材料，包括DOE、AR斜齒光柵、高密度、高深寬比結構等工藝流程，幫助客戶零門檻達到高質量的納米壓印水平
設備照片
相關參數(shù)
| 兼容基底尺寸 | 直徑≤100mm |
| 支持基底材料 | 硅片、玻璃、石英、塑料、金屬等 |
| 納米壓印技術 | 適合高精度、高深寬比納米結構壓印 |
| 壓印精度 | 優(yōu)于10納米* |
| 結構深寬比 | 優(yōu)于10比1* |
| 殘余層控制 | 可小于10nm* |
| 紫外固化光源 | 紫外LED（365nm）面光源，光強>300mW/cm2 |
| 自動壓印 | 支持 |
| 自動脫模 | 支持 |
| 自動工作模具復制 | 支持 |
| 上下片方式 | 手動上下片 |
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