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ZDM系列真空鍍膜機(jī)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 上海喆圖科學(xué)儀器有限公司
  • 品牌 GEMTOP/喆圖
  • 型號(hào)
  • 產(chǎn)地 上海市奉賢區(qū)
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2025/3/5 11:19:45
  • 訪問(wèn)次數(shù) 1625

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       上海喆圖科學(xué)儀器有限公司是一家具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的高新技術(shù)企業(yè),公司自成立以來(lái)專業(yè)致力于科學(xué)儀器的研發(fā)生產(chǎn),并先后取得多項(xiàng)國(guó)家專*。公司一貫遵循:“靠質(zhì)量和誠(chéng)信贏得客戶,追求企業(yè)價(jià)值與客戶價(jià)值共同成長(zhǎng)”的經(jīng)營(yíng)理念和 “做好產(chǎn)品質(zhì)量是最大的積德行善”的質(zhì)量理念。

公司主要產(chǎn)品有培養(yǎng)箱、干燥箱、馬弗爐、試驗(yàn)箱等科研設(shè)備,產(chǎn)品已遍布美國(guó)、俄羅斯、印度、泰國(guó)、印度尼西亞、馬來(lái)西亞、巴基斯坦、迪拜、瑞典、墨西哥等全球多個(gè)國(guó)家或地區(qū)。目前已與眾多知*企業(yè)、高等院校及科研、事業(yè)單位精密合作,如中科院、清華大學(xué)、博世、華為、邁瑞醫(yī)療、中糧集團(tuán)、中石油、疾控中心、海爾、國(guó)藥、康希諾、雙匯、衛(wèi)龍等,并贏得了諸多用戶的信任和業(yè)界相傳的口碑。

公司產(chǎn)品已涵蓋以下行業(yè):

   (1)企業(yè)機(jī)構(gòu):制藥行業(yè)、生物制品行業(yè)、食品行業(yè)、化工行業(yè)、農(nóng)業(yè)行業(yè)、石油行業(yè)、環(huán)保行業(yè)等;不傾國(guó),不傾城,喆圖人愿傾其所有為您提供最*的產(chǎn)品和服務(wù)!

   (2) 事業(yè)單位:質(zhì)檢、商檢、藥檢、疾控中心、出入境、血站、環(huán)保、畜牧、公安、博物館等;

   (3)教育醫(yī)療:高校、科研單位、醫(yī)院醫(yī)療行業(yè)等。

     公司已率*通過(guò)IS09001國(guó)際質(zhì)量管理體系認(rèn)證,我們積極響應(yīng)中國(guó)“質(zhì)造”的口號(hào),喆圖工程師們以“鑄造民族品牌,傳承工匠精神”為目標(biāo),不斷雕琢自己的產(chǎn)品,不斷改善產(chǎn)品的工藝,享受著產(chǎn)品在雙手中升華的過(guò)程。

    公司堅(jiān)持服務(wù)至上、品質(zhì)至上的原則。公司將為所有客戶建立維護(hù)檔案,與客戶簽訂售后服務(wù)承諾書(shū),設(shè)立專門(mén)的售后服務(wù)部門(mén),推行快速響應(yīng)機(jī)制,確保在第一時(shí)間解決客戶的后顧之憂。

     面對(duì)新時(shí)代的歷史使命,喆圖人勇于擔(dān)當(dāng)企業(yè)和社會(huì)的發(fā)展責(zé)任,緊跟國(guó)家發(fā)展戰(zhàn)略,以科技?jí)糁浦袊?guó)夢(mèng),以創(chuàng)造更大的經(jīng)濟(jì)、社會(huì)、人文價(jià)值為己任,努力將喆圖品牌向民族品牌邁進(jìn)。我們是一個(gè)有激情和夢(mèng)想的團(tuán)隊(duì),不傾城,不傾國(guó),喆圖人愿傾其所有為客戶提供最*的產(chǎn)品和服務(wù)!


喆圖品牌釋義:

喆:【前漢·敘傳】圣喆之治,意為明智,有智慧。圖從字形上理解是一個(gè)非常吉利的字,左右結(jié)構(gòu)兩個(gè)“吉”組合而成,寓意大吉大利,我公司據(jù)此將“喆”引申表達(dá)為一個(gè)愿望、思想。

圖:【尚書(shū)·太甲上】慎乃儉德,惟懷永圖;視履考祥,其旋元吉。意為要重視節(jié)儉之德,懷有長(zhǎng)遠(yuǎn)的謀劃。天高地遠(yuǎn),人生其中,艱難叢生,困苦迭出,無(wú)可回避。處此艱難旅途的君子,應(yīng)該以內(nèi)心的和悅?cè)犴?,去?yīng)付外界的剛健強(qiáng)勁。剛?cè)嵯酀?jì),內(nèi)外相應(yīng),天人和諧。如此,方能逢兇化吉,順暢無(wú)憂。公司的“圖”取自大展宏圖,勵(lì)精圖治,有寄寓公司產(chǎn)品精益求精之意,表示一種抱負(fù)、前程。

“喆圖”品牌可用“愿望、前程、奮斗”三個(gè)詞語(yǔ)表達(dá),喆圖人愿充分利用聰明智慧,做事精益求精。以達(dá)成喆圖愿景的美好愿望而謀劃,創(chuàng)造更大的經(jīng)濟(jì)、社會(huì)、人文價(jià)值,為追求喆圖宗旨來(lái)做為抱負(fù)而奮斗,使得員工幸福、客戶滿意、成人成己、利國(guó)利民。















生化培養(yǎng)箱/人工氣候培養(yǎng)箱/電熱恒溫培養(yǎng)箱/恒溫恒濕箱/光照培養(yǎng)箱/二氧化碳培養(yǎng)箱等/恒溫干燥箱/真空干燥箱/高溫烘箱等/箱式電阻爐/陶瓷纖維馬弗爐/高溫馬弗爐/管式爐/氣氛爐/試驗(yàn)箱/搖床/振蕩器/水槽/水浴鍋等

產(chǎn)地類別 國(guó)產(chǎn) 價(jià)格區(qū)間 面議
應(yīng)用領(lǐng)域 綜合

用途概述

ZDM系列真空鍍膜機(jī)化學(xué)名叫六甲基二硅胺烷(別名六甲基二硅氮烷),真空鍍膜機(jī)又稱HMDS基片預(yù)處理系統(tǒng),喆圖真空鍍膜機(jī)對(duì)箱體內(nèi)預(yù)處理過(guò)程的工作溫度、工作壓力、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)的控制,可以在硅片、襯底表面完成 HMDS成底膜的工藝。降低了光刻膠的用量,所有工藝都在密閉的環(huán)境中進(jìn)行,沒(méi)有HMDS揮發(fā),提高了安全性。主要適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料,為基片在涂膠前改善表面活性,增加光刻膠與基底的粘附力的設(shè)備,也可用于晶片其它工藝的清洗,尤其在芯片研發(fā)和生產(chǎn)領(lǐng)域應(yīng)用更加普及。

產(chǎn)品特點(diǎn)

ZDM系列真空鍍膜機(jī)

v 采用PLC工控自動(dòng)化系統(tǒng),人機(jī)界面采用觸摸屏,可靠性高,操作智能方便;

v PLC控制系統(tǒng)具有自動(dòng)控溫、任意定時(shí)、超溫報(bào)警等,彩色觸摸屏顯示,控溫準(zhǔn)確可靠;

v 智能化觸摸屏控制系統(tǒng),可根據(jù)不同制程條件改變程序、溫度、真空度及每一程序時(shí)間;

v 采用鋼化玻璃觀察窗,監(jiān)測(cè)方便,一體成型的硅橡膠門(mén)封,確保箱內(nèi)密封性好;

v 外殼和加熱管均采用不銹鋼材質(zhì),內(nèi)膽不銹鋼,無(wú)易燃易爆裝置,無(wú)發(fā)塵材料;

v 以蒸汽的形式涂布到晶片表面,液態(tài)涂布均勻,可一次處理4盒以上的晶片,節(jié)省藥液。

v 去水烘烤和增粘(疏水)處理一機(jī)完成無(wú)需轉(zhuǎn)移,有效規(guī)避HMDS泄露的風(fēng)險(xiǎn);

v HMDS氣體密閉式自動(dòng)吸取添加設(shè)計(jì),使真空箱密封性好,確保HMDS氣體不外漏;

v 多余的HMDS蒸汽(尾氣)由真空泵抽出,排放到專用廢氣收集管道,確保安全以及環(huán)保。

HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的必要性

HMDS涂到晶片表面后,經(jīng)真空鍍膜機(jī)加溫后可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物,

它可將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,起著耦合作用,可更好與光刻膠結(jié)合,保證涂膠工藝不影

響光刻效果和顯影。

HMDS本身是表面改性,不會(huì)涂在圓片表面,HMDS上面涂膠不影響HMDS的處理效果。

HMDS處理后需要冷卻后涂膠,建議4小時(shí)內(nèi)完成涂膠。

HMDS真空鍍膜機(jī)預(yù)處理程序

HMDS(六甲基二硅胺)是黃光區(qū)最毒的東西,真空鍍膜機(jī)預(yù)處理程序?yàn)椋捍蜷_(kāi)真空泵抽真空,待腔內(nèi)真空度達(dá)到某一高真空度后,開(kāi)始充入氮?dú)?,充到一定低真空度后,再次進(jìn)行抽真空、充入氮?dú)獾倪^(guò)程,到達(dá)設(shè)定的充入氮?dú)獯螖?shù)后,開(kāi)始保持一段時(shí)間,使硅片充分受熱,減少硅片表面的水分。然后再次開(kāi)始抽真空,充入通過(guò)氮?dú)獾腍MDS氣體,在到達(dá)設(shè)定時(shí)間后,停止充入HMDS藥液,進(jìn)入保持階段,使硅片充分與HMDS反應(yīng)。當(dāng)達(dá)到設(shè)定的保持時(shí)間后,再次開(kāi)始抽真空。

充入氮?dú)?,完成整個(gè)作業(yè)過(guò)程。

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)

ZDM-90V

ZDM-125V

ZDM-215V

電源電壓

AC 220V 50Hz

控制系統(tǒng)

PLC智能控制

儀表控制

彩色觸摸屏

控溫范圍

RT+10-200℃

溫度分辨率

0.1℃

溫度波動(dòng)度

±0.1

真空度

≤133pa

內(nèi)膽尺寸

450*450*450

500*550*500

550*550*650

容積

90L

125L

210L

載物托架

2

3


3





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