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半導(dǎo)體等離子濺射鍍膜儀的維護(hù)知識(shí)
半導(dǎo)體等離子濺射鍍膜儀采用二級(jí)濺射方式，廣泛用于SEM樣品制備或金屬鍍膜試驗(yàn)。采用低溫等離子體濺射工藝，鍍膜過(guò)程中無(wú)高溫，不易產(chǎn)生熱損傷。該小型等離子濺射儀使用PLC控制系統(tǒng)，全部觸摸屏操作，便于學(xué)習(xí)使用。本型號(hào)儀器還配有旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)，能夠有效的提升鍍膜的均勻性。（本設(shè)備配有旋轉(zhuǎn)加熱樣品臺(tái)，可以提升鍍膜的均勻性和薄膜的附著力）該小型等離子濺射儀使用PLC控制系統(tǒng)，全部觸摸屏操作，便于學(xué)習(xí)使用。
工作原理：
等離子體激發(fā)：
通入氬氣（Ar）等惰性氣體，在電場(chǎng)作用下電離形成高密度等離子體。
離子轟擊濺射：
高能離子束（能量>1keV）轟擊金屬或化合物靶材，使靶材原子逸出形成定向分子束流。
薄膜沉積：
濺射原子在基片表面沉積成膜，厚度通過(guò)石英晶振實(shí)時(shí)監(jiān)控。
周期性清潔：
真空室清潔：沉積后使用5%氫氮混合氣清除殘留等離子體，內(nèi)壁鋁箔每10次循環(huán)更換。
靶材維護(hù)：金屬靶每50小時(shí)拋光表面，氧化物靶定期檢測(cè)裂紋。
核心系統(tǒng)保養(yǎng)：
真空系統(tǒng)：
分子泵油每500小時(shí)更換，機(jī)械泵每季度清洗濾網(wǎng)。
密封圈每月檢查形變，O型圈每半年強(qiáng)制更換。
電氣系統(tǒng)：
高壓電纜絕緣層每周測(cè)試耐壓（>10kV）。
等離子電源散熱器每?jī)芍艹龎m，防止電弧放電。
故障應(yīng)急處理：
濺射電弧不穩(wěn)定：立即斷電，貼絕緣膠帶隔離暴露金屬件。
真空度下降過(guò)快：檢查法蘭密封圈，氦檢漏定位泄漏點(diǎn)。
薄膜均勻性超差：校準(zhǔn)基片架公轉(zhuǎn)/自轉(zhuǎn)速度。
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