KLA iNano 納米壓痕儀

KLA iNano 納米壓痕儀產品介紹：

KLA iNano 納米壓痕儀可輕松測量薄膜、涂層和少量材料。該儀器準確、靈活，并且用戶友好，可以提供壓痕、硬度、劃痕和通用納米級測試等多種納米級機械測試。該儀器的力荷載和位移測量動態(tài)范圍很大，因而可以實現(xiàn)從軟聚合物到金屬材料可重復測試。模塊化選項適用于各種應用：材料性質分布、特定頻率測試、刮擦和磨損以及高溫測試。KLA iNano 納米壓痕儀提供了一整套測試擴展選項，包括樣品加熱、連續(xù)剛度測量、NanoBlitz3D/4D屬性映射和遠程視頻選項。

KLA iNano 納米壓痕儀優(yōu)勢：

• 模塊化設計,既具有寬泛的測試功能，又可提供高通量的自動化測試功能，并配有統(tǒng)計數(shù)據(jù)分析包，適用于納米力學性能測量、掃描探針顯微成像、高溫測量和IV電壓電流特性測試實時的實驗控制，簡單易用的測試流程開發(fā)和測試參數(shù)設置。

• 標準的InForce50電磁驅動器。

• 集成高速控制器電子設備完成數(shù)據(jù)采集高達100kHz，捕獲材料瞬間的響應，例如鋸齒流變和斷裂現(xiàn)象。儀器使用工業(yè)界短時間常數(shù)20μs，快速捕捉材料瞬間的真實響應。

• 集成了噪音隔離功能的剛度框架，可確保對各種材料進行準確測量。

• 數(shù)碼變焦的高分辨光學顯微鏡，詳盡定位樣本。

• 納米壓痕專家在線講授專業(yè)納米壓痕課程，以及移動應用程序能夠提供測試方法的實時更新。

KLA iNano 納米壓痕儀測量原理：

KLA iNano 納米壓痕儀采用特定幾何形狀的金剛石壓頭以載荷準靜態(tài)壓入材料表面，實時記錄加載-卸載過程中的載荷與壓入深度變化，生成?載荷-位移曲線?，通過曲線分析結合力學模型，計算材料的納米硬度和彈性模量等參數(shù)。

KLA iNano 納米壓痕儀主要應用：

硬度和模量測量(Oliver-Pharr)

機械表征在薄膜的加工和制造中至關重要，其中包括汽車工業(yè)中的涂層質量，以及半導體制造前段和后段的工藝控制。

KLA iNano 納米壓痕儀能夠測量從超軟凝膠到硬涂層的各種材料的硬度和模量。對這些特性的高速評估保證了在生產線上進行質量控制。

高速材料性質分布

對于包括復合材料在內的許多材料，其機械性能可能因部位而異。KLA iNano 納米壓痕儀的樣品平臺可以在X軸和Y軸上移動100mm，并在Z軸方向移動25mm，這使得該系統(tǒng)適用于不同的樣品高度并可以在很大的樣品區(qū)域上進行測量。可選的NanoBlitz形貌和層析成像軟件可以快速繪制任何測得的機械屬性的彩色分布圖。

ISO14577硬度測試

KLA iNano 納米壓痕儀包括預先編寫的ISO14577測試方法，可測量符合ISO14577標準的材料硬度。該測試方法對楊氏模量、儀器硬度、維氏硬度和標準化壓痕進行自動測量和報告。

聚合物TanDelta、儲存和損失模量

KLA iNano 納米壓痕儀能夠針對包括粘彈性聚合物的超軟材料測量tandelta和儲存與損耗模量。儲存與損耗模量以及tandelta是粘彈性聚合物的重要特性，其能量作為彈性能量存儲并作為熱量消耗。這兩個指標都用于測量給定材料的能量消耗。

高溫納米壓痕測試

高溫下的納米壓痕對于表征熱應力下的材料性能至關重要，特別對熱機械工藝中的失效機理進行量化。在機械測試期間改變樣品溫度不僅能夠測量熱引起的行為變化，還能夠量化在納米級別上不易測試的材料過渡塑性。

KLA iNano 納米壓痕儀行業(yè)應用：

KLA iNano 納米壓痕儀技術優(yōu)勢：

• 劃痕和磨損測試方法

• NanoBlitz3D快速力學性能分布

• NanoBlitz4D力學性能斷層掃描

• 連續(xù)剛度測量（CSM）

• ProbeDM高聚物測試

• AccuFil薄膜方法

• 300°C樣品加熱

• 國際標準化的納米壓痕測試

KLA iNano 納米壓痕儀升級選項：

遠程視頻觀看

遠程視頻選項包括已安裝的網(wǎng)絡攝像頭，便于在測試之前和期間查看樣品。兩個觀察角度分布為樣品設置視圖和原位測試視圖，可分別觀察樣品和納米壓頭。

生物軟材料測試選項

生物材料測試方法利用核心技術連續(xù)剛度測試CSM表征模量在1kPa左右的生物軟材料包含一個平底壓頭和測量軟材料儲存損耗模量的測試方法，

DataBurst測試選項

DataBurst模式在100kHz的速度下觸發(fā)數(shù)據(jù)采集，捕獲材料瞬間的響應，例如鋸齒流變和斷裂現(xiàn)象；允許在步進荷載下測量高應變率材料的力學性能；幫助客戶詳盡捕捉材料瞬間的真實響應。

InView開放式軟件編寫平臺

InView采用開放式軟件編寫平臺，以幫助客戶在測試過程中實現(xiàn)加載，測量和計算的控制。用于設計新穎或復雜的實驗。開放式軟件編寫平臺給予客戶較大的靈活性：幫助客戶輕易采集原始測試數(shù)據(jù)到和最終分析結果的使用；客戶可以瀏覽，編輯計算公式，自定義參數(shù)，實現(xiàn)個性化試驗設計；用戶可以自由設計和改變試驗參數(shù)和試驗過程，為探索新的試驗測試提供可能。

TrueTestI-V電學測試

TrueTestI-V選項允許用戶向樣品施加特定電壓并測量壓頭的電流，以表征納米力學測量過程中電學特性的局部變化。

帶有模塊化機架的主動振動隔離

在KLA iNano 納米壓痕儀的內置被動隔振的基礎上增加主動隔振，為實現(xiàn)超薄薄膜等高難度納米力學測量提供了良好的穩(wěn)定性和詳盡度。主動隔振系統(tǒng)減少了所有六個自由度的振動，無需進行調整。

壓頭探針和校準樣品

InForce50、InForce1000和Gemini驅動器的可互換壓頭包括Berkovich、立體角、維氏，以及平底和球體壓頭。

KLA iNano 納米壓痕儀測量圖：