| 泵軸位置 | 其他 | 抽氣速率 | N2:1280 Ar:1100 He:880 H2:560l/s |
|---|---|---|---|
| 電壓 | 220±10％,50Hz 110±10％，60HzV | 極限壓力 | 1E-7（橡膠密封） 1E-8（金屬密封）pa |
| 輸送介質(zhì) | 其他 | 葉輪數(shù)目 | 其他 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 生物產(chǎn)業(yè),石油,能源,電子/電池,制藥/生物制藥 | 重量 | 51kg |
CXF-200/1401
產(chǎn)品特點：
節(jié)能：無摩擦，避免摩擦熱損耗、較其它類型產(chǎn)品能耗降低30％
高效：更長的連續(xù)工作時間、高氣流量和高抽速
靈活：緊湊型結(jié)構(gòu)，滿足更小的物理空間需求、任意角度安裝，適合各種設(shè)計需求、豐富擴展功能，滿足客戶定制化需求
應(yīng)用領(lǐng)域：
科研、加速器、碳化硅、晶體晶振、光伏、Low-E玻璃鍍膜、ITO鍍膜、光學(xué)鍍膜、裝飾鍍膜、平板顯示、真空爐
電真空、新能源、新材料、真空干燥、低溫制冷、薄膜沉積、刻蝕、離子注入、光刻、電子器件
技術(shù)參數(shù)：
進氣口法蘭：DN200 ISO F（標配） DN200 CF(可選) DN200 LF(可定制)
排氣口法蘭：KF40
抽速速率(L/S)：N2:1280 Ar:1100 He:880 H2:560
壓縮比：N2:＞1E8 Ar:＞1E8 He:＞1E4 H2:＞1E3
極限壓強（Pa）：1E-7（橡膠密封） 1E-8（金屬密封）
最大瞬時入口流量（sccm）：1100
保護氣入口法蘭（選配）：KF10
推薦保護氣體流量:20
最大允許磁場強度: 徑向：3 軸向：15
額定轉(zhuǎn)速（rpm）:30000
啟動時間（min）:≤6
停機時間（min）：≤8
冷卻方式：水冷
冷卻水流量（L/min）：2
推薦冷卻水溫度（℃）：20±5
電源電壓（V AC）： 220±10％，50Hz 110±10％，60Hz
適配電源型號：CXFD-1001
建議前級泵： ≥16
重量（kg）：51
產(chǎn)品尺寸圖：
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