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NLD-570 日本ULVAC愛(ài)發(fā)科半導(dǎo)體干法刻蝕設(shè)備研發(fā)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱(chēng) 玉崎科學(xué)儀器(深圳)有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號(hào) NLD-570
  • 產(chǎn)地 日本
  • 廠(chǎng)商性質(zhì) 代理商
  • 更新時(shí)間 2024/11/25 14:27:02
  • 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù) 632

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玉崎科學(xué)儀器(深圳)有限公司是京都玉崎株式會(huì)社全資設(shè)立的中國(guó)子公司,專(zhuān)業(yè)從事國(guó)內(nèi)貿(mào)易/國(guó)際貿(mào)易業(yè)務(wù),主要經(jīng)營(yíng)光學(xué)設(shè)備、電子計(jì)測(cè)儀器、科學(xué)儀器、機(jī)械設(shè)備、環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備、PC周邊用品、作業(yè)工具用品、電源、化學(xué)用品、FA自動(dòng)化多類(lèi)上萬(wàn)種產(chǎn)品的銷(xiāo)售。公司憑借優(yōu)秀的渠道管理能力,可控的交期和匹配的物流體系,科學(xué)嚴(yán)謹(jǐn)?shù)漠a(chǎn)品質(zhì)量,專(zhuān)業(yè)的線(xiàn)下服務(wù)能力,為客戶(hù)提供極有競(jìng)爭(zhēng)力的價(jià)格以及各方位的技術(shù)支持














真空泵;離心機(jī),;監(jiān)測(cè)儀,真空系統(tǒng),除塵裝置,數(shù)字粉塵儀;粒子計(jì)數(shù)器,環(huán)境監(jiān)測(cè)設(shè)備,環(huán)境測(cè)量設(shè)備 環(huán)境檢測(cè)設(shè)備

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日本ULVAC愛(ài)發(fā)科半導(dǎo)體干法刻蝕設(shè)備研發(fā)

日本ULVAC愛(ài)發(fā)科半導(dǎo)體干法刻蝕設(shè)備研發(fā)


NLD干法刻蝕設(shè)備研發(fā)NLD-570

研發(fā)用NLD干法蝕刻 NLD-570是ULVAC原創(chuàng)開(kāi)發(fā)的使用磁中性線(xiàn)等離子體(NLD)的低壓、低電子溫度、高密度等離子體的干法蝕刻裝置。


特征

  • 與ICP法相比,NLD具有更低的壓力、更高的密度和更低的電子溫度等離子,因此適合加工石英、玻璃、晶體、LN、LT基板等。

  • 耐熱玻璃和硼硅酸鹽玻璃等雜質(zhì)較多的玻璃可以蝕刻出優(yōu)異的形狀和表面光滑度。

  • 厚膜抗蝕劑還可用作石英和玻璃深蝕刻(100μm以上)的掩模。

  • 可進(jìn)行高速蝕刻(石英>1μm/min、Pyrex>0.8μm/min)

  • 可以添加盒室。

目的

  • 光學(xué)器件(衍射光柵、調(diào)制器、光波導(dǎo)、光開(kāi)關(guān)等)、凹凸微透鏡、光子晶體、流體路徑(μ-TAS)創(chuàng)建等。


特別提示:商品詳情頁(yè)中(含主圖)以文字或者圖片形式標(biāo)注的搶購(gòu)價(jià)等價(jià)格可能是在特定活動(dòng)時(shí)段下的價(jià)格,商品的具體價(jià)格以訂單結(jié)算頁(yè)價(jià)格為準(zhǔn)或者是您與商家聯(lián)系后協(xié)商達(dá)成的實(shí)際成交價(jià)格為準(zhǔn);如您發(fā)現(xiàn)活動(dòng)商品價(jià)格或活動(dòng)信息有異常,建議購(gòu)買(mǎi)前先咨詢(xún)商家。


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