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NLD-5700 日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體光電干法刻蝕設(shè)備

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玉崎科學(xué)儀器(深圳)有限公司是京都玉崎株式會社全資設(shè)立的中國子公司,專業(yè)從事國內(nèi)貿(mào)易/國際貿(mào)易業(yè)務(wù),主要經(jīng)營光學(xué)設(shè)備、電子計測儀器、科學(xué)儀器、機械設(shè)備、環(huán)境試驗設(shè)備、PC周邊用品、作業(yè)工具用品、電源、化學(xué)用品、FA自動化多類上萬種產(chǎn)品的銷售。公司憑借優(yōu)秀的渠道管理能力,可控的交期和匹配的物流體系,科學(xué)嚴謹?shù)漠a(chǎn)品質(zhì)量,專業(yè)的線下服務(wù)能力,為客戶提供極有競爭力的價格以及各方位的技術(shù)支持














真空泵;離心機,;監(jiān)測儀,真空系統(tǒng),除塵裝置,數(shù)字粉塵儀;粒子計數(shù)器,環(huán)境監(jiān)測設(shè)備,環(huán)境測量設(shè)備 環(huán)境檢測設(shè)備

價格區(qū)間 面議 應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,綜合

日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體光電干法刻蝕設(shè)備

日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體光電干法刻蝕設(shè)備



用于光電器件和MEMS的
干法刻蝕設(shè)備NLD-5700

用于光器件和MEMS的NLD-5700干法刻蝕系統(tǒng)是配備磁中性線等離子體(NLD)源的用于大規(guī)模生產(chǎn)的干法刻蝕系統(tǒng)。 (采用磁中性線等離子體(NLD)的低壓、低電子溫度、高密度等離子體的干式蝕刻設(shè)備,由ULVAC原創(chuàng)開發(fā)。)


特征

  • 通過在潔凈室內(nèi)工作,潔凈室可以擴展到兩個房間(NLD、磁場ICP、CCP和灰化室)。

  • NLD是一種可以在空間和時間上控制的等離子體,因此干洗很容易。

  • 實現(xiàn)輕松的腔室維護。

  • 我們提供從掩模蝕刻到石英和玻璃蝕刻的工藝解決方案。

  • 半導(dǎo)體技術(shù)研究院提供完善的工藝支持系統(tǒng)。

用途

  • 光學(xué)器件(衍射光柵、調(diào)制器、光波導(dǎo)、光開關(guān)等)、不均勻微透鏡。

  • 流體路徑創(chuàng)建 (μ-TAS) 和光子晶體。


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