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 ■采用循環(huán)方式： 極少有積水、廢棄水， 濃度產(chǎn)生速度快（1分鐘內(nèi)生成臭氧水）)， 穩(wěn)定的臭氧水濃度和流量供應(yīng)到洗凈工藝

 ■不會(huì)有金屬產(chǎn)生的臭氧水：適用于精密清洗的臭 氧水生成

1 獨(dú)自的臭氧發(fā)生技術(shù)：石英三重管式放電管的優(yōu)點(diǎn)

?石英玻璃內(nèi)放電?潔凈臭氧生成.長(zhǎng)壽命

           ?半導(dǎo)體洗凈適合醫(yī)療用臭氧也可安全使用

?放電電極兩面水冷?臭氧發(fā)生效率大

            ?緊湊型臭氧氣發(fā)生，緊湊型臭氧水生成

 臭氧發(fā)生器型式LOG-LC40G ：40g/hr臭氧產(chǎn)生此裝置可以作為單體使用，也可以嵌入現(xiàn)有設(shè)備中使用13

2 獨(dú)自的臭氧溶解技術(shù)：

?接液部全部為氟素樹(shù)脂?潔凈的臭氧水生成 耐臭氧性

               ?適用于半導(dǎo)體制造

?高效的臭氧氣體溶解?省空間、大容量

3 臭氧濃度測(cè)定技術(shù)：使用UV-LED替代以往的水銀燈?不含水銀 ?不需要暖氣 ?不受外部氣溫的影響?測(cè)定精度高、緊湊化15