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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>物理特性分析儀器>測厚儀>在線測厚儀> 日本Otsuka大塚GS-300oad Port膜厚測量系統(tǒng)

日本Otsuka大塚GS-300oad Port膜厚測量系統(tǒng)

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 成都藤田科技有限公司
  • 品牌 OTSUKA/日本大塚
  • 型號
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時間 2025/2/22 10:45:54
  • 訪問次數(shù) 241

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公司簡介

COMPANY INTRODUCTION

成都藤田科技有限公司經(jīng)營進出口業(yè)務(wù)7年有余,位于西南地區(qū)四川成都;通過不斷努力、進步與各類日本、部分歐美品牌建立長期穩(wěn)定的合作關(guān)系,覆蓋電子產(chǎn)品、工具、電子元器件、儀器儀表、防靜電設(shè)備、輔料、自動化設(shè)備、非危險性化工產(chǎn)品、機械設(shè)備及配件、通信設(shè)備。

成都藤田科技供貨渠道

因為長期良好的經(jīng)營環(huán)境,獲得國內(nèi)外客戶與商社的喜愛,隨著互聯(lián)網(wǎng)的發(fā)展建立了專有的網(wǎng)絡(luò)模式MRO;

堅持以服務(wù)客戶為主的經(jīng)營理念、追求客戶滿意服務(wù)為宗旨、禮貌誠信為原則提供客戶服務(wù),并以成為客戶值得信賴的工業(yè)品綜合服務(wù)商為目標(biāo)。

MRO兩種形式

  1. 超市建立工業(yè)品專柜,大型超市也會經(jīng)營部分工業(yè)品,但種類和數(shù)量有限。

  2. 網(wǎng)上工業(yè)品超市,這種形式配送可為客戶大規(guī)模找尋產(chǎn)品,使供應(yīng)商和采購商都實現(xiàn)“進入一個點,得到一大片”連鎖效應(yīng),有效降低采購商采購成本。

代理品牌:


代理品牌:

半自動 全自動定制設(shè)備。

Epson愛普生(機器人/機械臂)

ATTEN安泰信(焊接產(chǎn)品)

日本日本三鍵ThreeBond(膠水)

日本ESTIC艾斯迪克(擰緊工具)

日本MUSASHI武藏(點膠機)

日本HOYA豪雅(UV固化燈,玻璃鏡片)

日本SIGMAKOKI西格瑪(光學(xué)元件、物鏡等)

日本YUMEX優(yōu)美科思(各種疝氣燈)

日本TOKISANGYO東機產(chǎn)業(yè)(粘度計)

日本KANOMAX加野(風(fēng)速儀)

日本YAMADA雅瑪達(dá)(隔膜泵)

日本EPSON愛普生(機械臂)

日本TSUBOSAN壺三(銼刀工具)

韓國DIT東日技研(除靜電產(chǎn)品)

韓國HANIL韓一(攪拌機)

優(yōu)勢品牌:

日本Otsuka大塚電子(晶圓、覆膜測厚儀)

日本分光JASCO(光譜儀、光度計、色譜儀)

日本FLUORO福樂(用于晶圓的搬運)

日本MITUTOYO三豐(測量器具)

日本AND艾安得(微量電子分析天平)

英國Meech密其(非接觸式除塵系統(tǒng))

日本SSD西西蒂(防靜電設(shè)備)

日本NEW-COSMOS 新宇宙(氣體檢測儀)

YIZOMO一子沫(拉拔機)

日本FURUPLA富如拉(噴壺)

日本PISCO匹士克(氣動元件)

美國MEISEI(熱剝線鉗)

日本TECHNO特古羅(錫爐)

日本AMANO安滿能(除塵設(shè)備)

日本MALCOM馬康(粘度計)

日本HOZAN寶山(鑷子、鉗子等工具)

美國SIMCO思美高(防靜電、除塵產(chǎn)品);



成都藤田科技為廣大客戶提供一體化、全面、優(yōu)質(zhì)高效服務(wù)。





Epson愛普生機器人,安泰信焊錫設(shè)備(半自動/全自動),視覺成像,武藏點膠機

產(chǎn)地類別 進口 價格區(qū)間 面議
應(yīng)用領(lǐng)域 綜合

日本Otsuka大塚GS-300oad Port膜厚測量系統(tǒng)-成都藤田科技提供

日本Otsuka大塚GS-300oad Port膜厚測量系統(tǒng)

產(chǎn)品信息

  特點

● Φ支持到300mmEFM單元備用端口的集成

● 實現(xiàn)嵌入在晶片中的布線圖案的圖案對齊

● 支持半導(dǎo)體工藝的高吞吐量要求

● 支持槽口對齊功能

● 小尺寸規(guī)格

● 高精度自動校準(zhǔn)單元


  測量示例

TSV嵌入式圖形晶圓研磨后的硅厚度

晶圓厚度Φ300mm尺寸


特點

規(guī)格

自動Mapping系統(tǒng)式樣表
名稱自動Mapping系統(tǒng)Load Port對應(yīng)膜厚儀
型式--GS-300 series
樣品臺方式X-Y樣品臺R-θ樣品臺
光學(xué)系測量探頭 CCD相機同軸顯微測量頭 IR相機
大晶圓尺寸150mm以下300mm以下僅Ф300mm
晶圓角度補正
Pattern對準(zhǔn)
晶圓厚度范圍視分光干涉式晶圓厚度傳感器的式樣而定
設(shè)備尺寸(W×D×H)mm本體:570x600x780
控制器:500x273x177
(PC、顯示器尺寸除外)
本體:773x760x600
控制器:350x310x120
LED電源:90x160x80
(PC、顯示器尺寸除外)
500x500x1680
內(nèi)置PC
(顯示器、鍵盤尺寸除外)


測量示例

  測量示例

日本Otsuka大塚GS-300oad Port膜厚測量系統(tǒng)

核心特點


  1. 非破壞性高速測量:采用顯微分光技術(shù),1秒內(nèi)完成單點對焦與測量,支持從紫外(230nm)到近紅外(1600nm)廣波長范圍,覆蓋1nm至92μm膜厚需求,滿足半導(dǎo)體、光學(xué)材料等高精度場景。


  2. 透明基板技術(shù):反射對物鏡設(shè)計,物理消除基板內(nèi)部反射干擾,實現(xiàn)玻璃、SiC等透明或異向性基板上的高精度膜厚測量,支持50層以上多層膜解析。


  3. 智能建模與易用性:內(nèi)置初學(xué)者模式,簡化光學(xué)常數(shù)(n/k)建模流程,支持宏功能自定義測量序列,可無縫集成自動化產(chǎn)線。


日本Otsuka大塚GS-300oad Port膜厚測量系統(tǒng)-成都藤田科技提供





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