VT4.40 貝克真空泵對晶圓蝕刻離子注入解決方案

參考價(jià)	￥ 8750
訂貨量	≥1件

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱 東莞市飛粵真空科技有限公司
品牌 Becker/德國貝克
型號 VT4.40
產(chǎn)地 中國東莞
廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
更新時(shí)間 2025/4/19 11:02:14
訪問次數(shù) 91

產(chǎn)品標(biāo)簽

電子封裝無油真空系統(tǒng)液晶灌注真空泵真空度穩(wěn)定性解決方案高潔凈度真空系統(tǒng)SEMI S2認(rèn)證真空設(shè)備

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公司介紹 主營產(chǎn)品

東莞市飛粵真空科技有限公司位于廣東制造名城-東莞市寮步鎮(zhèn)，公司成立于2012年，是一家專業(yè)生產(chǎn)、銷售真空設(shè)備及進(jìn)口真空泵維修、提供真空系統(tǒng)解決方案的企業(yè)，為廣大用戶提供可靠的、安全易用的真空設(shè)備及優(yōu)質(zhì)專業(yè)的服務(wù)。

公司擁有一支集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售、售后為一體的強(qiáng)大隊(duì)伍，優(yōu)質(zhì)的真空泵產(chǎn)品、專業(yè)的真空知識(shí)、在真空系統(tǒng)建造方面的豐富經(jīng)驗(yàn)以及快速的服務(wù)，為客戶提供理想、完善的真空解決方案并贏得了高度贊譽(yù)。
　公司主要經(jīng)營進(jìn)口真空泵、進(jìn)口真空泵配件、真空泵維修保養(yǎng)，真空泵機(jī)組及真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)安裝；主營:德國BUSCH普旭，Rietschle里其樂/偉力，Leybold萊寶，Becker貝克，英國BOC Edwards愛德華，日本ULVAC愛發(fā)科，Orion好利旺，TAIKO大晃，法國ALCATEL阿爾卡特，德國Pfeiffer普發(fā),韓國KODIVAC大亞、DOVAC斗一等國際；

飛粵真空定制的真空系統(tǒng)廣泛用于電子半導(dǎo)體、太陽能光伏、生物制藥、食品業(yè)、印刷業(yè)、汽車、自動(dòng)化工程等行業(yè)。專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì)可為不同需求客戶定制真空系統(tǒng)（廠務(wù)真空系統(tǒng)），設(shè)計(jì)、安裝、調(diào)試服務(wù)。

展開

BUSCH普旭，Rietschle里其樂/偉力，Leybold萊寶，Becker貝克，英國BOC Edwards愛德華，日本ULVAC愛發(fā)科，Orion好利旺，TAIKO大晃，法國ALCATEL阿爾卡特，Pfeiffer普發(fā)等。

詳細(xì)信息 在線詢價(jià)

泵軸位置	臥式	輸送介質(zhì)	清水泵
葉輪數(shù)目	多級	應(yīng)用領(lǐng)域	生物產(chǎn)業(yè),石油,能源,電子/電池,電氣

貝克真空泵對晶圓蝕刻離子注入解決方案

隨著半導(dǎo)體工藝向3nm/2nm制程逼近，真空環(huán)境的潔凈度與穩(wěn)定性直接決定了芯片良率與生產(chǎn)成本。貝克干式真空泵（Busch Dry Vacuum Pumps）憑借無油污染、高精度控制、超長運(yùn)行壽命三大核心優(yōu)勢，為晶圓蝕刻、化學(xué)氣相沉積（CVD）、離子注入等關(guān)鍵工藝提供全流程真空解決方案，助力半導(dǎo)體制造企業(yè)突破技術(shù)瓶頸。

三大核心工藝場景的關(guān)鍵詞應(yīng)用解析
1. 晶圓蝕刻工藝：納米級精度控制
- 關(guān)鍵詞應(yīng)用：干式螺桿真空泵 / 無油污染 / 真空度穩(wěn)定性
- 技術(shù)痛點(diǎn)：傳統(tǒng)油潤滑泵碳?xì)湮廴緦?dǎo)致刻蝕線寬偏差＞5%
- 貝克方案：
- 采用**COBRA NC系列干式螺桿泵，真空腔體零油分子殘留
- DLC（類金剛石）涂層技術(shù)，摩擦系數(shù)降低60%，壽命達(dá)80,000小時(shí)
- 動(dòng)態(tài)壓力控制系統(tǒng)，將真空度波動(dòng)控制在±0.05%以內(nèi)
- 客戶價(jià)值：
- 滿足5nm制程刻蝕線寬誤差＜1.2nm
- 年維護(hù)成本降低37%（對比濕式真空系統(tǒng)）

2. 化學(xué)氣相沉積（CVD）：薄膜均勻性保障
-關(guān)鍵詞應(yīng)用**：多級羅茨泵組 / 節(jié)能真空系統(tǒng) / SEMI S2認(rèn)證
- 技術(shù)痛點(diǎn)：沉積速率波動(dòng)引發(fā)薄膜厚度不均（＞3%偏差）
- 貝克方案：
- R5羅茨泵+螺桿泵組合系統(tǒng)，抽速范圍覆蓋10-1000 m3/h
- IE4超高能效設(shè)計(jì)，對比傳統(tǒng)方案節(jié)能28%
- 通過SEMI S2/S8安全認(rèn)證，適配主流CVD設(shè)備
- 客戶價(jià)值：
- 薄膜沉積均勻性提升至99.6%（厚度偏差＜0.5%）
- 每臺(tái)泵年減碳量達(dá)12.5噸（獲碳足跡認(rèn)證）

3. 離子注入工藝：超低顆粒污染控制
- 關(guān)鍵詞應(yīng)用：變頻節(jié)能真空泵 / ISO 5級潔凈度 / 智能預(yù)測維護(hù)
-技術(shù)痛點(diǎn)：真空腔內(nèi)微粒污染導(dǎo)致芯片短路率上升
- 貝克方案：
- 磁懸浮軸承技術(shù)，運(yùn)行微粒釋放量＜5顆粒/m3（ISO 5級標(biāo)準(zhǔn)）
- 智能變頻驅(qū)動(dòng)，根據(jù)工藝需求自動(dòng)調(diào)節(jié)功率，能耗降低35%
- 內(nèi)置IoT傳感器，實(shí)時(shí)監(jiān)測振動(dòng)/溫度數(shù)據(jù)，故障預(yù)警準(zhǔn)確率＞92%
- 客戶價(jià)值：
- 芯片缺陷率從0.15%降至0.03%
- 非計(jì)劃停機(jī)時(shí)間減少65%

貝克干式真空泵性能優(yōu)勢對比

性能維度	傳統(tǒng)油潤滑泵	貝克干式真空泵	提升幅度
潔凈度	油霧污染風(fēng)險(xiǎn)高	無油運(yùn)行	污染風(fēng)險(xiǎn)降為0
能耗	固定轉(zhuǎn)速，能效比＜85%	變頻調(diào)節(jié)，能效比達(dá)96%	用電成本↓28%
維護(hù)周期	每500小時(shí)更換潤滑油	20,000小時(shí)免維護(hù)	維護(hù)頻率↓97%
真空穩(wěn)定性	波動(dòng)范圍±0.5%	動(dòng)態(tài)補(bǔ)償至±0.05%	控制精度↑10倍
兼容性	僅適配單一工藝	模塊化設(shè)計(jì)支持快速重構(gòu)	改造成本↓40%

半導(dǎo)體客戶案例實(shí)證
案例1：某國際半導(dǎo)體大廠5nm產(chǎn)線升級
- 需求：解決3D NAND蝕刻工藝中的側(cè)壁粗糙度問題
- 方案：部署12套COBRA NC 2800干式泵系統(tǒng)，集成真空度閉環(huán)控制模塊
-成果：
- 關(guān)鍵尺寸均勻性（CDU）從4.2nm優(yōu)化至1.8nm
- 單臺(tái)泵年耗電量從18.7萬度降至13.5萬度
- 獲得客戶“供應(yīng)商技術(shù)創(chuàng)新獎(jiǎng)”

案例2：第三代半導(dǎo)體GaN器件量產(chǎn)項(xiàng)目
挑戰(zhàn)：CVD工藝中氨氣腐蝕導(dǎo)致泵體壽命＜3000小時(shí)
-方案：定制化耐腐蝕涂層R5羅茨泵組+陶瓷密封組件
- 成效：
- 設(shè)備MTBF（平均時(shí)間）突破25,000小時(shí)
- 晶圓產(chǎn)能提升至每月15,000片
- 材料損耗率從1.2%降至0.4%

為制程量身定制的技術(shù)延伸
針對半導(dǎo)體行業(yè)未來趨勢，貝克同步推出：
- AI驅(qū)動(dòng)的真空系統(tǒng)：通過機(jī)器學(xué)習(xí)優(yōu)化泵組運(yùn)行參數(shù)，能耗再降15%
- 納米級檢漏方案：氦質(zhì)譜儀聯(lián)動(dòng)檢測，泄漏率靈敏度達(dá)1×10?12 Pa·m3/s
- Hybrid混合動(dòng)力泵：結(jié)合螺桿泵與渦旋泵優(yōu)勢，抽速范圍擴(kuò)展至0.1-2000 m3/h