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LR3601-TR ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨干式真空泵

參考價 12000
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協(xié)議為準

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高斯摩是一家專注歐美日工業(yè)品的集團,為客戶提供定制化、一站式的工業(yè)用品采購與服務(wù),助力企業(yè)增值增效。

高斯摩成立于成都,經(jīng)營產(chǎn)品:機械加工設(shè)備、工控自動化零件、測量檢測儀器、機電產(chǎn)品、光學設(shè)備、環(huán)境檢測設(shè)備、醫(yī)療儀器與器械、物流與工程用品、

生產(chǎn)作業(yè)工具、耗材與輔料等。廣泛應用于消費電子、汽車制造、軌道交通、半導體、航空航天、能源、化工、醫(yī)療、通信、食品等多個行業(yè)。以歐美日品牌為基礎(chǔ)下,與全球7000多家先進品牌長期合作,100多萬種工業(yè)品類,建立了完善的產(chǎn)品渠道與銷售網(wǎng)絡(luò),在國內(nèi)設(shè)立5家、海外6家公司,為客戶提供多方位、快速響應的技術(shù)支持與解決方案。

高斯摩秉承“行業(yè)多元化、產(chǎn)品國際化、服務(wù)專業(yè)化”的經(jīng)營理念,以客戶為導向,高效誠信、合作共贏的企業(yè)文化,以“增值增效、一站式管家服務(wù)”為使命,

致力于成為“歐美日工業(yè)品集成商”,讓生活變得更美而奮進。

 

主要經(jīng)營光學設(shè)備、電子計測、科學儀器、機械加工設(shè)備、環(huán)境試驗設(shè)備、PC周邊用品、作業(yè)工具用品、電源、化學用品、FA自動化上萬種產(chǎn)品的銷售。

泵軸位置 其他 輸送介質(zhì) 其他
葉輪數(shù)目 其他 應用領(lǐng)域 綜合

ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨干式真空泵 LR3601-TR


ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨干式真空泵 LR3601-TR

多級羅茨干式真空泵是一種在真空室內(nèi)不使用油或液體的機械真空泵。

在 FPD、電子和半導體行業(yè)等領(lǐng)域,需要更清潔的真空,并且需要真空泵來提高產(chǎn)量和可維護性。 最常見的泵之一是羅茨干式真空泵。

通過在低溫范圍內(nèi)平衡泵體的熱量,它是 PVD 工藝抽真空的理想泵,尤其是在制備和取出室中,縮短泵送時間以提高吞吐量非常重要。

長處

除了低溫整平(型號:LR)

PVD 工藝外,它還特別適用于制備室和取出室的排氣,在這些地方,縮短抽氣時間對于提高產(chǎn)量很重要。

由于其密封結(jié)構(gòu),由于其密封

結(jié)構(gòu),它非常安全。

瞬時停止:在 1000 毫秒內(nèi)實施瞬時停止

措施。

優(yōu)異的耐腐蝕性主要部件采用表面硬度高、耐腐蝕性優(yōu)異的特殊

表面處理。 減少排空腐蝕性氣體時泵內(nèi)部的腐蝕。

通信功能:

可以讀取泵運行狀態(tài)和警告/警報歷史記錄數(shù)據(jù)。 通過使用專用軟件和計算機通信,可以進行集中監(jiān)控。

成膜設(shè)備(濺射設(shè)備、氣相沉積設(shè)備等)

減少準備室和取出室的排氣時間

作為輔助排氣泵(渦輪分子泵的輔助排氣、機械增壓泵)

規(guī)范

LR300 系列LR600 系列LR1200型LR1800 系列LR3601 系列LR3601-T(TT) 銅皮LR3601-RLR3601-TR(TTR) 銅
使用的泵DRPLR60 系列LR90 系列LR90 系列LR180型LR421 系列LR421-TLR421 系列LR421-T
MPBPRC-003A 系列PRC-006A 系列PRC-012A 系列PRC-018A 系列PRC-036C 系列PRC-036C(-T) 系列PRC-036D 系列PRC-036D(D-T) 系列
最大抽速50 赫茲m3/h
(升/分鐘)
359
(5,980)
653
(10,900)
1,012
(16,900)
1,701
(28,350)
3,200 (53,333)
60 赫茲m3/h
(升/分鐘)
365
(6,080)
701
(11,700)
1,051 米
(17,500)
1,784
(29,700)
3,200 (53,333)
極限壓力0.67 帕
最大入口壓力(入口壓力)氣壓
最大排氣口壓力(排氣壓力)1Pa ~ 大氣壓
進氣口 (CE 規(guī)格)VG80 (KF80)VG100
型 (KF100)
VG150
型 (KF100)
VG150型
排氣口肯氟烴40KF50 系列
MBP 表面處理〇 *2〇 *2〇 *2〇 *2×T:×
TT:×
×TR:×
TTR:〇
質(zhì)量公斤275370420545660720660720
電力 *3三個階段VAC (赫茲)200 (50/60), 220 (60)180~240 / 380~440 (50/60)
當前值穩(wěn)態(tài)一個7.0
(200V 時)
12.3
(200V 時)
13.7
(200V 時)
21.4
(200V 時)
31.0 (200V 時) 400V
時 20.5
35.4 (200V 時) 400V
時 20.5
最大值一個9.6
(200V 時)
19.0
(200V 時)
24.2
(200V 時)
39.8
(200V 時)
200V 時為 58.4,400V
時為 40.5
82.0 (200V 時)400V
時 40.5
冷卻水臨時壓力兆帕0.1~0.30.2~0.5
冷卻水入口/出口壓差兆帕>0.10.1~0.30.2~0.5
冷卻水流量升/分鐘>5.0>4.0
吹掃氣體一次壓力兆帕0.1~0.5
二次壓力兆帕0.05~0.1
N2 吹掃SLM 系列5
加斯伯勒SLM 系列0~45無 *40~45無 *40~45


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