光刻投影模組
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 江蘇集萃中科先進(jìn)光電技術(shù)研究所有限公司
- 品牌 集萃中科光電
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/5/28 9:58:10
- 訪問次數(shù) 62
產(chǎn)品標(biāo)簽
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| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
|---|---|---|---|
| 組件類別 | 光學(xué)元件 |
光刻投影模組功能：
超低畸變?cè)O(shè)計(jì)
采用光學(xué)設(shè)計(jì)和高質(zhì)量非球面透鏡，確保成像邊緣和中心區(qū)域的一致性， 畸變率低于 0.1%，滿足高精度光刻需求。
精準(zhǔn)控制倍率
支持高精度的倍率調(diào)節(jié)功能，倍率誤差控制在±0.01%以內(nèi)，確保圖案轉(zhuǎn)移的精確性。
均勻照明系統(tǒng)
集成均勻化照明技術(shù)，確保曝光區(qū)域光強(qiáng)分布一致，提升光刻質(zhì)量。
多波長兼容
支持紫外（UV）多種波長光源，適應(yīng)不同光刻工藝需求。
光刻投影模組技術(shù)參數(shù)：
焦深 DOF | ±300um ±300um |
OPD | ＜1/2λ@370-440nm |
場(chǎng)曲 | ＜50μm |
像散 | ＜50μm |
全視場(chǎng)畸變 | ＜0.01% ＜0.02% |
倍率色差 | ＜3μm |
軸向色差 | ＜300μm |
點(diǎn)陣 RMS | 半徑＜3.5μm |
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