探針臺(tái)

• 1.1. 8英寸-80℃ to +200℃高低溫密閉腔體

• 1.2.卡盤X/Y軸平面無間隙氣浮快速移動(dòng)，移動(dòng)速率可調(diào)，單手控制，快速移動(dòng)行程：8英寸X8英寸，任意位置自動(dòng)鎖止，同時(shí)X/Y軸平面無間隙微調(diào)移動(dòng)行程：8英寸X8英寸，精度：1um

• 1.3.卡盤Z軸無間隙升降移動(dòng)，行程：0~10mm，微調(diào)精度：1um

• 1.4.探針平臺(tái)快速升降行程 0/0.3/3.0mm并帶自動(dòng)鎖定功能

• 1.5.顯微鏡底座在 X-Y軸平面內(nèi)微調(diào)移動(dòng)，行程：2英寸X2英寸，精度1微米

• 1.6.顯微鏡Z軸氣浮快速升降，行程0~50mm，升降速率可調(diào)

• 1.7.高分辨顯微觀察系統(tǒng)，光學(xué)分辨率0.5um，配合2000萬(wàn)像素高清工業(yè)相機(jī)和液晶顯示器，帶拍照、錄像和尺寸測(cè)量軟件

• 1.8.直流、脈沖、高壓、大電流、高頻探針均可配置。

高低溫卡盤

• 2.1. 8英寸高低溫卡盤，同軸結(jié)構(gòu)，背柵電極測(cè)試，可兼容Banana、BNC、TRIAX、SMA、HV TRIAX等測(cè)試接口

• 2.2. 溫度范圍：-80℃ to  +200℃

• 2.3. 溫度分辨率 ： 0.1℃

• 2.4. 溫度穩(wěn)定性： ±0.1℃

• 2.5. 控溫方式 ： 全自動(dòng)控溫軟件，一鍵控制溫控器、傳感器和液氮流量

IV儀表

• 3.1. 提供寬動(dòng)態(tài)范圍：200mV~200V, 1μA~1A, 20W

• 3.2. 最小電流分辨率：0.1fA

• 3.3. 最小電壓分辨率：1uV

• 3.4. 四象限工作

• 3.5. 數(shù)字I/O提供快速分選與機(jī)械手連接GPIB,RS-232

CV儀表

• 4.1. 測(cè)量頻率DC，4Hz~8MHz(10 mHz~100 Hz步進(jìn))

• 4.2. 測(cè)量模式：?jiǎn)未?連續(xù)測(cè)量

• 4.3. 基本精度Z: 0.05 % rdg. θ: 0.03°

• 4.4 最小電容分辨率：0.1fF

• 4.5. DC偏壓-200V~+200V

測(cè)試軟件

• 5.1. 人機(jī)交互界面多功能軟件；
  

• 5.2. 具備數(shù)據(jù)圖形化分析功能，具備輸出通道、測(cè)試通道、輸出類型、掃描模式、電壓/電流參數(shù)、掃描步長(zhǎng)、輸出延遲、循環(huán)次數(shù)、接線方式設(shè)置功能；

• 5.3. 可實(shí)時(shí)測(cè)得IV曲線、VI曲線、IT曲線、VT曲線、RT曲線、PT曲線、RV曲線、FET特性曲線、BJT特性曲線、C-F、C-V、C-T實(shí)時(shí)曲線；

• 5.4．濾波設(shè)置，對(duì)測(cè)量值取平均；

• 5.5. 手動(dòng)設(shè)置輸出和測(cè)量的量程范圍，也可設(shè)置自動(dòng)量程；

• 5.6. 設(shè)置測(cè)量積分時(shí)間，控制測(cè)量速率和精確度，積分時(shí)間可設(shè)置為0.001s～25s；

• 5.7. 通訊接口支持GPIB、RS-232、USB、LAN；