ART130SZ系列 直線電機機械臺-Z向單軸
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- 公司名稱 無錫地心科技有限公司
- 品牌 地心科技
- 型號
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2025/7/31 16:35:20
- 訪問次數 94
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| 產地類別 | 國產 | 產品種類 | 電動 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 面議 | 應用領域 | 能源,電子/電池,鋼鐵/金屬,電氣 |
ART130SZ系列 直線電機機械臺-Z向單軸是納米級定位精度的垂直運動平臺，直線電機驅動，采用交叉滾柱導軌，具備非常優(yōu)秀的動態(tài)性能和定位精度，空載截止頻率可達100Hz以上。
ART130SZ系列平臺采用超薄設計，能有效節(jié)省安裝空間，是ART130系列水平運動納米運動臺的有效補充，雙氣缸平衡設計，通過氣缸平衡負載重量，能有效避免電機長時間工作發(fā)熱現(xiàn)象，具備高剛性和高可靠性。
ART130SZ系列平臺雖然結構緊湊但是有較強的驅動能力，速度可達500mm/s，空載加速度可達1g。配置線性放大器，帶隔振實驗室環(huán)境下，ART130SZ系列平臺的在位穩(wěn)定性3nm和最小步進量可以小于5nm，主要應用于通訊領域的光纖耦合、半導體領域的晶圓缺陷檢測、生物醫(yī)療領域的基因測序以及激光微納加工等，可以根據客戶的應用提供靈活的定制方案。
ART130SZ系列平臺最小步進和在位穩(wěn)定性測試
5nm最小步進（ASH反饋選項，配置線性放大器）
<3nm在位穩(wěn)定性（ASH反饋選項，配置線性放大器）
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