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ART130XY系列 直線電機機械臺

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 無錫地心科技有限公司
  • 品牌 地心科技
  • 型號
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2025/7/31 16:34:50
  • 訪問次數(shù) 45
產(chǎn)品標(biāo)簽

直線電機機械臺直線臺機械臺

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無錫地心科技有限公司(CORETECH)成立于2017年,專注微米/納米級精密運動控制系統(tǒng)的研發(fā)與創(chuàng)新。

我們提供微米、納米級定位精度的核心子部件及核心子系統(tǒng),主要產(chǎn)品大類包含:直線電機機械平臺,絲杠驅(qū)動直線臺,機械直驅(qū)轉(zhuǎn)臺,多軸轉(zhuǎn)臺,升降臺,氣浮軸承直線臺和龍門系統(tǒng)等。

依托自主研發(fā)的11大系列、70余款核心產(chǎn)品,我們可以為半導(dǎo)體制造、生物醫(yī)療檢測、光學(xué)精密加工等領(lǐng)域提供關(guān)鍵子系統(tǒng)與核心部件。

以客戶應(yīng)用為導(dǎo)向,通過全生命周期技術(shù)服務(wù)體系,為客戶提供運動控制系統(tǒng)的定制化解決方案,持續(xù)賦能客戶實現(xiàn)高精度運動控制的突破性價值。

位移臺,直線臺,轉(zhuǎn)臺,升降臺,平面氣浮

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 產(chǎn)品種類 電動
價格區(qū)間 面議 應(yīng)用領(lǐng)域 化工,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,電氣,綜合

ART130XY系列是納米級定位精度的XY一體式運動平臺,直線電機驅(qū)動,采用交叉滾柱導(dǎo)軌,具備非常優(yōu)秀的動態(tài)性能和定位精度,空載截止頻率可達100Hz以上。它采用XY一體式設(shè)計,具有低側(cè)面高度、阿貝誤差小的特點,XY行程可以根據(jù)客戶需求定制,可作為二維運動平臺單獨使用,也可以與ART130LZ、ART130-5V升降臺或者RSML系列轉(zhuǎn)臺搭配使用,組成不同的多軸配置來滿足客戶應(yīng)用。

ART130XY系列平臺雖然結(jié)構(gòu)緊湊但是有較強的驅(qū)動能力,速度可達500mm/s,空載加速度可達1g。配置線性放大器,帶隔振實驗室環(huán)境下,ART130XY系列平臺的在位穩(wěn)定性3nm和最小步進量可以小于5nm,主要應(yīng)用于通訊領(lǐng)域的光纖耦合、半導(dǎo)體領(lǐng)域的晶圓缺陷檢測、生物醫(yī)療領(lǐng)域的基因測序以及激光微納加工等,可以根據(jù)客戶的應(yīng)用提供靈活的定制方案。

精巧的結(jié)構(gòu)設(shè)計保證了ART130XY系列平臺出色的精度和動態(tài)性能,特別是在速度穩(wěn)定性要求苛刻的應(yīng)用中,它的優(yōu)異性能得到了很好的體現(xiàn),例如在掃描檢測應(yīng)用中,要求直線軸勻速20mm/s,運動距離130mm,ART130XY系列平臺勻速段動態(tài)跟隨誤差<±100nm,能出色的完成項目任務(wù)。

ART130XY系列平臺最小步進和在位穩(wěn)定性測試

ART130XY系列 直線電機機械臺

5nm最小步進(ASH反饋選項,配置線性放大器)


ART130XY系列 直線電機機械臺


<3nm在位穩(wěn)定性(ASH反饋選項,配置線性放大器)


ART130XY系列 直線電機機械臺

ART130XY系列 直線電機機械臺






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