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ASML系列 氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)
- 公司名稱 無(wú)錫地心科技有限公司
- 品牌 地心科技
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/7/31 16:33:40
- 訪問(wèn)次數(shù) 67
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| 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 產(chǎn)品種類 | 電動(dòng) |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),鋼鐵/金屬,制藥/生物制藥,綜合 |
ASML是高精度氣浮直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)，采用旋轉(zhuǎn)電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)，具備非常優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能和定位精度。除了市場(chǎng)前沿的軸向、徑向和傾斜誤差運(yùn)動(dòng)性能外，ASML氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)還提供可靠的旋轉(zhuǎn)定位精度、重復(fù)性和負(fù)載能力，很容易集成到多軸運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)中。
ASML轉(zhuǎn)臺(tái)采用杰出的工業(yè)化設(shè)計(jì)，轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)面尺寸從150mm到300mm不等，厚度輕薄的設(shè)計(jì)下仍能保證高性能，選用高精度圓光柵位置反饋，定位精度小于1角秒，軸向和徑向跳動(dòng)小于250nm。ASML轉(zhuǎn)臺(tái)采用地心科技自主研發(fā)的圓形直驅(qū)電機(jī)，尺寸靈活設(shè)計(jì)。配置線性放大器，帶隔振實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下，ASML轉(zhuǎn)臺(tái)的在位穩(wěn)定性和最小步進(jìn)量小于0.5角秒。主要應(yīng)用在測(cè)量檢測(cè)、生物樣片加工及觀測(cè)、同步加速研究、精密制造、光學(xué)對(duì)準(zhǔn)和系統(tǒng)校準(zhǔn)等需要角秒級(jí)定位精度的工業(yè)領(lǐng)域與科研項(xiàng)目。
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