ASP是高精度氣浮直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)，采用旋轉(zhuǎn)電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)，具備非常優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能和定位精度。除了市場(chǎng)前沿的軸向、徑向和傾斜誤差運(yùn)動(dòng)性能外，ASP氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)還提供可靠的旋轉(zhuǎn)定位精度、重復(fù)性和負(fù)載能力，很容易集成到多軸運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)中。

ASP轉(zhuǎn)臺(tái)采用杰出的工業(yè)化設(shè)計(jì)，轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)面尺寸100和150mm，也可以用戶(hù)需求定制其他尺寸的臺(tái)面。選用高精度圓光柵位置反饋，定位精度小于±1.5角秒，軸向和徑向跳動(dòng)小于250nm，機(jī)械性能非常突出。

ASP轉(zhuǎn)臺(tái)采用地心科技自主研發(fā)的圓形直驅(qū)電機(jī)，有較強(qiáng)的驅(qū)動(dòng)能力和較大的扭矩，空載轉(zhuǎn)速超過(guò)5000rpm。配置線(xiàn)性放大器，帶隔振實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下，ASP轉(zhuǎn)臺(tái)的在位穩(wěn)定性和最小步進(jìn)量小于0.5角秒。主要應(yīng)用在測(cè)量檢測(cè)、晶圓螺旋線(xiàn)檢測(cè)、生物樣片加工及觀測(cè)、同步加速研究、精密制造、光學(xué)對(duì)準(zhǔn)和系統(tǒng)校準(zhǔn)等需要角秒級(jí)定位精度的工業(yè)領(lǐng)域與科研項(xiàng)目。

備注：

(1) 適配-AS反饋，配置線(xiàn)性放大器；

(2) 空載，需配置相應(yīng)功率的放大器；

(3) 默認(rèn)測(cè)試點(diǎn)位置為臺(tái)面上方25 mm，單軸指標(biāo)，多軸系統(tǒng)的性能指標(biāo)與實(shí)際載荷和工作點(diǎn)位置有關(guān)；

(4) 氣缸供氣需配置空濾三聯(lián)件，必須清潔、干燥，過(guò)濾至0.25μm以下顆粒，建議使用純度為99.9%的氮?dú)狻鈮焊鶕?jù)平臺(tái)實(shí)際負(fù)載重量可調(diào)。

(5) 為了防止空氣軸承氣壓不足，建議安裝氣壓開(kāi)關(guān)，信號(hào)輸入到運(yùn)動(dòng)控制器連接急停（STO）端口。