MS120A 日本ULVAC愛發(fā)科螺桿型干式真空泵
參考價 | ¥ 22500 |
訂貨量 | ≥1件 |
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 湖南中崎科技有限公司
- 品牌 ULVAC/日本愛發(fā)科
- 型號 MS120A
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2025/6/5 13:50:00
- 訪問次數(shù) 170
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泵軸位置 | 其他 | 輸送介質(zhì) | 其他 |
---|---|---|---|
葉輪數(shù)目 | 其他 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,電子/電池,綜合 |
日本ULVAC愛發(fā)科螺桿型干式真空泵
日本ULVAC愛發(fā)科螺桿型干式真空泵
特征
通過對轉(zhuǎn)子軸和氣缸等主要部件進行特殊涂層處理,實現(xiàn)耐腐蝕性
采用 ULVAC du 特設(shè)計的轉(zhuǎn)子軸,實現(xiàn)高性能的粉末排出
實現(xiàn)接近大氣壓的連續(xù)抽氣
應(yīng)用
用于半導(dǎo)體和電子設(shè)備制造設(shè)備的
真空系統(tǒng)蝕刻、灰化、等離子清洗等。用于爐
燒結(jié)、滲碳等的真空系統(tǒng)鋰離子電池制造設(shè)備的
真空系統(tǒng) 電極干燥、脫氣、真空注射等醫(yī)療和食品
真空系統(tǒng) 冷凍干燥、真空干燥等
*MS1200A 可單獨提供,另設(shè)控制板和傳感器。請聯(lián)系我們了解詳情。
規(guī)格
型 | MS120A 系列 | MS600A 系列 | MS1200A | |
最大抽速 *1 | m3/小時 | 115 | 560 | 980 |
極限壓力 | 帕 | ≦0.6 | ≦0.1 | |
電源 | 200V 等級:3相, 50/60Hz, AC200-240V±10% 或 400V 等級:3相, 50/60Hz, AC380-480V±10% | |||
功耗 *2 | 千瓦 | 2.4 | 3.1 | 3.1 |
冷卻水流量 | 升/分鐘 | >4.0 | ||
吹掃氣體流量 *1 | SLM 系列 | 0~50 | ||
最大水蒸氣容忍度 *1*3 | 公斤/小時 | 1.5 | ||
噪聲 *2 | 分貝(A) | 61 | 62 | 64 |
入口 | KF50(臥式) / VG50(立式) | ISO-F-80 認證 | ISO-F-100 認證 | |
出口 | 肯氟烴40 | |||
重量 *4 | 公斤 | 139 | 241 | 264 |
適用標準 | CE、cTUVus | |||
標準附件 | 快速手冊, 電源連接器, 防水電纜夾, 遙控連接器, 電源連接器防護罩, 消音器 | |||
泵頭選項 | 電源:200V 級或 400V 級 密封材料:FKM 或 FFKM | |||
外部選項 | Packege 排氣口、抗震支架、LR 兼容單元(入口、遠程)、吹掃氣體閥 |