YCL-4A橢圓偏振測(cè)厚儀
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- 公司名稱 伊普希龍(天津)科技有限公司
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- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì)
- 更新時(shí)間 2025/6/27 15:46:48
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手動(dòng)橢圓偏振測(cè)厚儀使用消光法測(cè)量薄膜厚度和折射率，手動(dòng)調(diào)節(jié)測(cè)試過(guò)程中的起偏和檢偏角度，橢圓偏振法廣泛地應(yīng)用于固體基片上介質(zhì)薄膜的測(cè)量；在己有測(cè)定薄膜厚度的方法中，它是能測(cè)量到和精度的一類。
實(shí)驗(yàn)原理和內(nèi)容：
主要配置及參數(shù)：
| 測(cè)量范圍 | 1nm-300nm |
| 測(cè)量最小值 | ≤1nm |
| 入射角 | 30°-90°誤差小于等于0.1° |
| 讀數(shù)范圍 | 0°-180° |
| 工作臺(tái)直徑 | 70mm |
| 中心高度 | 152mm |
| 度盤刻度 | 每格2° |
| 最小讀數(shù) | 0.05° |
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