YCL-13薄膜測厚儀
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 伊普希龍(天津)科技有限公司
- 品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì)
- 更新時間 2025/6/27 17:48:28
- 訪問次數(shù) 21
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此款薄膜測厚儀根據(jù)多次反射光譜相干原理研發(fā)而成,本儀器可提供非接觸測量薄膜厚度,折射率, 吸收系數(shù)等,采用軟件版本,具有納米級精確測量和方便使用等優(yōu)點(diǎn);測量方便度和準(zhǔn)確度好于常用的光學(xué)橢偏儀。是鍍膜研究、光學(xué)鍍膜和半導(dǎo)體生產(chǎn)的測量研究儀器。
實(shí)驗(yàn)原理和內(nèi)容:
主要配置及參數(shù):
厚度范圍 | 20nm-50nm,只測膜厚;100nm-10μm同時測量膜厚和光學(xué)常數(shù) |
準(zhǔn)確度 | 小于1nm或小于0.5% |
重復(fù)性 | 0.1nm |
波長范圍 | 380nm-1000nm |
可測層數(shù) | 1-4層 |
樣品尺寸 | 鍍膜區(qū)直徑大于1.2mm |
測量速度 | 5s-60s |
光斑直徑 | 1.2mm-10mm可調(diào) |