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瑞士VAT高真空蝶形控制閥61338-PECK-0001

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上海茂碩機械設備有限公司2018年成立,現在整個市場有一批受眾用戶,因業(yè)務發(fā)展需要,所有的產品均從境外采購進貨,您可以避免國內合作商、辦事處和經銷商的分級合作商,層層盤剝的模式,享受到價格低、貨期短,而且100%歐洲原裝*的采購服務。

對于一些德國產品,我們通過集中批量采購以獲取廠商較大折扣,可以提供比國內市場價格更低的報價。

能夠提供不同國別、廠商的設備配件,解決您多處尋找的麻煩和對產品質量的擔心等,在價格上我們有很大的優(yōu)勢,公司備有大量的現貨,是國內庫存量Z多的公司之一,以更專業(yè)的服務,把咨詢,銷售,售后服務一整套體系做的更完善,讓客戶能夠更放心的購買我們的產品,對我們的服務有更滿意的評價!

我們客戶遍及石化、化工、化纖、鋼鐵、食品、飲料、航空.制藥、采礦、電力、供水及環(huán)保等行業(yè)。

優(yōu)勢品牌主要有:

德國寶德BURKERT,德國BOSCH-REXROTH博世力士樂,德國FESTO費斯托,

德國STEIMEL施*泵,德國HIRSCHMAN赫斯曼,德國HYDAC賀德克,

德國IFM易福門,德國TURCK圖爾克,德國MURR穆爾,德國HAWE哈威,

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德國P F倍加福,德國BALLUFF巴魯夫,德國SICK施克,德國E H,

意大利UNIVER氣動,意大利ATOS阿托斯,美國VICKERS威格士,

德國GSR閥,法國CROUZET高諾斯,德國PILZ皮爾茲繼電器,

德國SCHMERSAL施邁賽,德國SIEMENS西門子,美國ROSS閥,

美國MAC電磁閥,美國PARKER派克,美國MOOG穆格伺服閥,

美國派克電磁閥,美國威格士電磁閥,美國ASCO阿斯卡,

德國STAUFF西德福,德國NEGELE耐格,德國EMG伺服閥,

德國MAHLE馬勒,德國海隆HERION,英國諾冠NORGREN,

美國UE壓力開關,美國MTS位移傳感器,

以及法國高諾斯繼電器,日本CKD,日本豐興,日本不二越,

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公司具有豐富的氣動工控液壓產品銷售經驗,多年來與世界各國的較有名廠商相繼建立了良好的合作關系,所銷產品已廣泛應用于國內各工業(yè)領域,公司依仗品牌的優(yōu)勢,以靈活的經營方式,多渠道,*地為客戶提供先進的自動化產品。

在此歡迎來電垂詢,我們將竭誠為您服務,客戶的滿意,就是我們的成功!

德國EPRO,EPRO傳感器,EPRO探頭,EPRO模塊,PR6424,PR6426,PR9268,PR9350,MMS6000

應用領域 化工,能源,汽車及零部件,電氣,綜合

瑞士VAT高真空蝶形控制閥61338-PECK-0001

1. 產品概述

  • 型號:61338-PECK-0001

  • 類型:氣動高真空蝶形調節(jié)閥(金屬密封,快響應型)

  • 品牌:VAT Group(瑞士真空閥門技術)

  • 產品定位:面向半導體制造和科研設備的超高真空動態(tài)控制

  • 核心特點

    • 超高真空兼容性(XHV級)

    • 耐等離子體腐蝕設計

    • 毫秒級快速響應


2. 關鍵性能參數

參數技術指標
真空范圍10?1? mbar ~ 大氣壓
漏率<1×10?? mbar·l/s(金屬密封版)
閥體材質316L不銹鋼(電解拋光,Ra≤0.5μm)
蝶板材質鈦合金鍍Al?O?(可選)
密封類型全金屬密封(金包覆Inconel)
驅動方式雙作用氣動(4-6 bar)
響應時間<50 ms(全開至全關)
溫度范圍-20°C ~ +200°C(標準)
法蘭標準ISO-KF/DN40~160、CF 2.75"~8"
控制接口4-20mA/PROFIBUS DP(可選)

3. 核心技術特點

① 等離子體防護系統

  • 可選Al?O?或Y?O?鍍層,耐受Cl?/HBr/SF?等離子體腐蝕

  • 流道優(yōu)化設計,顆粒釋放率<5 particles/m3(≥0.1μm)

② 超快動態(tài)響應

  • 優(yōu)化氣路設計,實現<50ms開關速度

  • 位置反饋精度±0.5%(可選±0.1%高精度版)

③ 智能診斷功能

  • 集成溫度/振動傳感器(預測性維護)

  • 支持工業(yè)4.0通信協議(OPC UA可選)


4. 典型應用場景

行業(yè)具體應用特殊要求
半導體制造原子層沉積(ALD)脈沖響應<50ms

等離子刻蝕(Etch)耐Cl?/HBr腐蝕
光伏設備PECVD系統大流量調節(jié)(Cv=1.5)
科研裝置同步輻射光源無磁化設計
真空鍍膜濺射鍍膜系統高精度壓力控制

5. 安裝與維護規(guī)范

安裝要求

  1. 使用激光對中儀確保安裝偏差<0.1mm

  2. 氣路配置0.1μm過濾器(VAT P/N: FLT-100M)

  3. 運行前進行5次空載循環(huán)測試

維護計劃

  • 每季度:密封面檢查(使用VAT專用內窺鏡)

  • 每10?次循環(huán):更換驅動機構密封件

  • 年度保養(yǎng):氦質譜檢漏測試(建議原廠服務)


6. 同系列型號對比

特性61338-PECK-000161344-PEGN-000161340-PACX-0001
響應速度<50 ms<30 ms<50 ms
耐溫性+200°C+250°C+200°C
密封設計單金屬密封雙冗余密封單金屬密封
典型應用通用真空系統EUV/ALD

刻蝕設備


瑞士VAT高真空蝶形控制閥61338-PECK-0001

商品編號61338-PACN-0001

商品編號61336-PEGK-0001

商品編號61338-PEAF-0001

商品編號61340-PAAE-0001

商品編號61344-PEGK-0001

商品編號61336-PECQ-0001

商品編號61334-KAGQ-0001

商品編號61336-PAGN-0001

商品編號61334-KEAK-0001

商品編號61334-KEGN-0001

商品編號61334-KAGK-0001

商品編號61338-PAM1-0001

商品編號61340-PAGN-0001

商品編號61338-PACH-0001

商品編號61338-PAGF-0001



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