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瑞士VAT高真空蝶形控制閥61338-PECK-0001

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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上海茂碩機(jī)械設(shè)備有限公司2018年成立,現(xiàn)在整個(gè)市場(chǎng)有一批受眾用戶,因業(yè)務(wù)發(fā)展需要,所有的產(chǎn)品均從境外采購(gòu)進(jìn)貨,您可以避免國(guó)內(nèi)合作商、辦事處和經(jīng)銷商的分級(jí)合作商,層層盤剝的模式,享受到價(jià)格低、貨期短,而且100%歐洲原裝*的采購(gòu)服務(wù)。

對(duì)于一些德國(guó)產(chǎn)品,我們通過(guò)集中批量采購(gòu)以獲取廠商較大折扣,可以提供比國(guó)內(nèi)市場(chǎng)價(jià)格更低的報(bào)價(jià)。

能夠提供不同國(guó)別、廠商的設(shè)備配件,解決您多處尋找的麻煩和對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量的擔(dān)心等,在價(jià)格上我們有很大的優(yōu)勢(shì),公司備有大量的現(xiàn)貨,是國(guó)內(nèi)庫(kù)存量Z多的公司之一,以更專業(yè)的服務(wù),把咨詢,銷售,售后服務(wù)一整套體系做的更完善,讓客戶能夠更放心的購(gòu)買我們的產(chǎn)品,對(duì)我們的服務(wù)有更滿意的評(píng)價(jià)!

我們客戶遍及石化、化工、化纖、鋼鐵、食品、飲料、航空.制藥、采礦、電力、供水及環(huán)保等行業(yè)。

優(yōu)勢(shì)品牌主要有:

德國(guó)寶德BURKERT,德國(guó)BOSCH-REXROTH博世力士樂(lè),德國(guó)FESTO費(fèi)斯托,

德國(guó)STEIMEL施*泵,德國(guó)HIRSCHMAN赫斯曼,德國(guó)HYDAC賀德克,

德國(guó)IFM易福門,德國(guó)TURCK圖爾克,德國(guó)MURR穆爾,德國(guó)HAWE哈威,

美國(guó)紐曼帝克,美國(guó)AB,美國(guó)FAIRCHILD仙童,美國(guó)DENISON丹尼遜,

德國(guó)P F倍加福,德國(guó)BALLUFF巴魯夫,德國(guó)SICK施克,德國(guó)E H,

意大利UNIVER氣動(dòng),意大利ATOS阿托斯,美國(guó)VICKERS威格士,

德國(guó)GSR閥,法國(guó)CROUZET高諾斯,德國(guó)PILZ皮爾茲繼電器,

德國(guó)SCHMERSAL施邁賽,德國(guó)SIEMENS西門子,美國(guó)ROSS閥,

美國(guó)MAC電磁閥,美國(guó)PARKER派克,美國(guó)MOOG穆格伺服閥,

美國(guó)派克電磁閥,美國(guó)威格士電磁閥,美國(guó)ASCO阿斯卡,

德國(guó)STAUFF西德福,德國(guó)NEGELE耐格,德國(guó)EMG伺服閥,

德國(guó)MAHLE馬勒,德國(guó)海隆HERION,英國(guó)諾冠NORGREN,

美國(guó)UE壓力開關(guān),美國(guó)MTS位移傳感器,

以及法國(guó)高諾斯繼電器,日本CKD,日本豐興,日本不二越,

日本大金,日本SUNX,日本黑田精工,日本東京美.日本SMC。

公司具有豐富的氣動(dòng)工控液壓產(chǎn)品銷售經(jīng)驗(yàn),多年來(lái)與世界各國(guó)的較有名廠商相繼建立了良好的合作關(guān)系,所銷產(chǎn)品已廣泛應(yīng)用于國(guó)內(nèi)各工業(yè)領(lǐng)域,公司依仗品牌的優(yōu)勢(shì),以靈活的經(jīng)營(yíng)方式,多渠道,*地為客戶提供先進(jìn)的自動(dòng)化產(chǎn)品。

在此歡迎來(lái)電垂詢,我們將竭誠(chéng)為您服務(wù),客戶的滿意,就是我們的成功!

德國(guó)EPRO,EPRO傳感器,EPRO探頭,EPRO模塊,PR6424,PR6426,PR9268,PR9350,MMS6000

應(yīng)用領(lǐng)域 化工,能源,汽車及零部件,電氣,綜合

瑞士VAT高真空蝶形控制閥61338-PECK-0001

1. 產(chǎn)品概述

  • 型號(hào):61338-PECK-0001

  • 類型:氣動(dòng)高真空蝶形調(diào)節(jié)閥(金屬密封,快響應(yīng)型)

  • 品牌:VAT Group(瑞士真空閥門技術(shù))

  • 產(chǎn)品定位:面向半導(dǎo)體制造和科研設(shè)備的超高真空動(dòng)態(tài)控制

  • 核心特點(diǎn)

    • 超高真空兼容性(XHV級(jí))

    • 耐等離子體腐蝕設(shè)計(jì)

    • 毫秒級(jí)快速響應(yīng)


2. 關(guān)鍵性能參數(shù)

參數(shù)技術(shù)指標(biāo)
真空范圍10?1? mbar ~ 大氣壓
漏率<1×10?? mbar·l/s(金屬密封版)
閥體材質(zhì)316L不銹鋼(電解拋光,Ra≤0.5μm)
蝶板材質(zhì)鈦合金鍍Al?O?(可選)
密封類型全金屬密封(金包覆Inconel)
驅(qū)動(dòng)方式雙作用氣動(dòng)(4-6 bar)
響應(yīng)時(shí)間<50 ms(全開至全關(guān))
溫度范圍-20°C ~ +200°C(標(biāo)準(zhǔn))
法蘭標(biāo)準(zhǔn)ISO-KF/DN40~160、CF 2.75"~8"
控制接口4-20mA/PROFIBUS DP(可選)

3. 核心技術(shù)特點(diǎn)

① 等離子體防護(hù)系統(tǒng)

  • 可選Al?O?或Y?O?鍍層,耐受Cl?/HBr/SF?等離子體腐蝕

  • 流道優(yōu)化設(shè)計(jì),顆粒釋放率<5 particles/m3(≥0.1μm)

② 超快動(dòng)態(tài)響應(yīng)

  • 優(yōu)化氣路設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)<50ms開關(guān)速度

  • 位置反饋精度±0.5%(可選±0.1%高精度版)

③ 智能診斷功能

  • 集成溫度/振動(dòng)傳感器(預(yù)測(cè)性維護(hù))

  • 支持工業(yè)4.0通信協(xié)議(OPC UA可選)


4. 典型應(yīng)用場(chǎng)景

行業(yè)具體應(yīng)用特殊要求
半導(dǎo)體制造原子層沉積(ALD)脈沖響應(yīng)<50ms

等離子刻蝕(Etch)耐Cl?/HBr腐蝕
光伏設(shè)備PECVD系統(tǒng)大流量調(diào)節(jié)(Cv=1.5)
科研裝置同步輻射光源無(wú)磁化設(shè)計(jì)
真空鍍膜濺射鍍膜系統(tǒng)高精度壓力控制

5. 安裝與維護(hù)規(guī)范

安裝要求

  1. 使用激光對(duì)中儀確保安裝偏差<0.1mm

  2. 氣路配置0.1μm過(guò)濾器(VAT P/N: FLT-100M)

  3. 運(yùn)行前進(jìn)行5次空載循環(huán)測(cè)試

維護(hù)計(jì)劃

  • 每季度:密封面檢查(使用VAT專用內(nèi)窺鏡)

  • 每10?次循環(huán):更換驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)密封件

  • 年度保養(yǎng):氦質(zhì)譜檢漏測(cè)試(建議原廠服務(wù))


6. 同系列型號(hào)對(duì)比

特性61338-PECK-000161344-PEGN-000161340-PACX-0001
響應(yīng)速度<50 ms<30 ms<50 ms
耐溫性+200°C+250°C+200°C
密封設(shè)計(jì)單金屬密封雙冗余密封單金屬密封
典型應(yīng)用通用真空系統(tǒng)EUV/ALD

刻蝕設(shè)備


瑞士VAT高真空蝶形控制閥61338-PECK-0001

商品編號(hào)61338-PACN-0001

商品編號(hào)61336-PEGK-0001

商品編號(hào)61338-PEAF-0001

商品編號(hào)61340-PAAE-0001

商品編號(hào)61344-PEGK-0001

商品編號(hào)61336-PECQ-0001

商品編號(hào)61334-KAGQ-0001

商品編號(hào)61336-PAGN-0001

商品編號(hào)61334-KEAK-0001

商品編號(hào)61334-KEGN-0001

商品編號(hào)61334-KAGK-0001

商品編號(hào)61338-PAM1-0001

商品編號(hào)61340-PAGN-0001

商品編號(hào)61338-PACH-0001

商品編號(hào)61338-PAGF-0001



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