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瑞士VAT95.3 - 高真空控制和隔離閥組合單元

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上海茂碩機械設(shè)備有限公司2018年成立,現(xiàn)在整個市場有一批受眾用戶,因業(yè)務(wù)發(fā)展需要,所有的產(chǎn)品均從境外采購進貨,您可以避免國內(nèi)合作商、辦事處和經(jīng)銷商的分級合作商,層層盤剝的模式,享受到價格低、貨期短,而且100%歐洲原裝*的采購服務(wù)。

對于一些德國產(chǎn)品,我們通過集中批量采購以獲取廠商較大折扣,可以提供比國內(nèi)市場價格更低的報價。

能夠提供不同國別、廠商的設(shè)備配件,解決您多處尋找的麻煩和對產(chǎn)品質(zhì)量的擔(dān)心等,在價格上我們有很大的優(yōu)勢,公司備有大量的現(xiàn)貨,是國內(nèi)庫存量Z多的公司之一,以更專業(yè)的服務(wù),把咨詢,銷售,售后服務(wù)一整套體系做的更完善,讓客戶能夠更放心的購買我們的產(chǎn)品,對我們的服務(wù)有更滿意的評價!

我們客戶遍及石化、化工、化纖、鋼鐵、食品、飲料、航空.制藥、采礦、電力、供水及環(huán)保等行業(yè)。

優(yōu)勢品牌主要有:

德國寶德BURKERT,德國BOSCH-REXROTH博世力士樂,德國FESTO費斯托,

德國STEIMEL施*泵,德國HIRSCHMAN赫斯曼,德國HYDAC賀德克,

德國IFM易福門,德國TURCK圖爾克,德國MURR穆爾,德國HAWE哈威,

美國紐曼帝克,美國AB,美國FAIRCHILD仙童,美國DENISON丹尼遜,

德國P F倍加福,德國BALLUFF巴魯夫,德國SICK施克,德國E H,

意大利UNIVER氣動,意大利ATOS阿托斯,美國VICKERS威格士,

德國GSR閥,法國CROUZET高諾斯,德國PILZ皮爾茲繼電器,

德國SCHMERSAL施邁賽,德國SIEMENS西門子,美國ROSS閥,

美國MAC電磁閥,美國PARKER派克,美國MOOG穆格伺服閥,

美國派克電磁閥,美國威格士電磁閥,美國ASCO阿斯卡,

德國STAUFF西德福,德國NEGELE耐格,德國EMG伺服閥,

德國MAHLE馬勒,德國海隆HERION,英國諾冠NORGREN,

美國UE壓力開關(guān),美國MTS位移傳感器,

以及法國高諾斯繼電器,日本CKD,日本豐興,日本不二越,

日本大金,日本SUNX,日本黑田精工,日本東京美.日本SMC。

公司具有豐富的氣動工控液壓產(chǎn)品銷售經(jīng)驗,多年來與世界各國的較有名廠商相繼建立了良好的合作關(guān)系,所銷產(chǎn)品已廣泛應(yīng)用于國內(nèi)各工業(yè)領(lǐng)域,公司依仗品牌的優(yōu)勢,以靈活的經(jīng)營方式,多渠道,*地為客戶提供先進的自動化產(chǎn)品。

在此歡迎來電垂詢,我們將竭誠為您服務(wù),客戶的滿意,就是我們的成功!

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應(yīng)用領(lǐng)域 化工,能源,汽車及零部件,電氣,綜合

瑞士VAT95.3 - 高真空控制和隔離閥組合單元

1. 產(chǎn)品概述

  • 型號:VAT 95.3

  • 類型:集成式高真空閥組(控制閥+隔離閥組合)

  • 品牌:VAT Group(瑞士真空技術(shù)專家)

  • 設(shè)計理念:緊湊型模塊化設(shè)計,減少管路連接點,提升系統(tǒng)可靠性

  • 典型應(yīng)用:半導(dǎo)體刻蝕/沉積設(shè)備、光伏鍍膜系統(tǒng)、科研真空裝置


2. 核心組成與配置

組件技術(shù)特性
主控制閥VAT 54.1系列金屬密封角閥(漏率<1×10?? mbar·l/s)
隔離閥VAT 10.4系列閘閥(快開型,響應(yīng)時間<100ms)
集成法蘭ISO-KF/CF標(biāo)準(zhǔn),可選DN40~200口徑
傳感器接口預(yù)留真空計/壓力傳感器安裝位(支持Pirani/電容式)
控制模塊可選本地PLC或遠程通信(PROFIBUS/DeviceNet)

3. 關(guān)鍵性能參數(shù)

參數(shù)指標(biāo)測試標(biāo)準(zhǔn)
真空范圍10?? mbar ~ 大氣壓DIN 28400
整體漏率<5×10?? mbar·l/s氦質(zhì)譜檢漏
溫度適應(yīng)性-20°C ~ +150°C(烘烤兼容)SEMI F47
材料兼容性316L不銹鋼+Al?O?鍍層(耐等離子體)ASTM G31
循環(huán)壽命>10?次(主閥)MIL-STD-810G

4. 技術(shù)優(yōu)勢

① 系統(tǒng)集成優(yōu)化

  • 減少傳統(tǒng)分立閥門間的連接法蘭,漏率降低50%

  • 內(nèi)置流道優(yōu)化設(shè)計,流阻系數(shù)降低30%

② 智能控制功能

  • 可選配閥位傳感器(精度±0.5%)

  • 支持壓力-流量閉環(huán)控制(需搭配MFC)

③ 維護便捷性

  • 模塊化設(shè)計,單個閥門更換時間<30分鐘

  • 正面維護接口,無需拆卸整個真空腔室


5. 半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用案例

設(shè)備類型功能實現(xiàn)VAT 95.3定制方案
等離子刻蝕機工藝腔室壓力分段控制增加WF?專用鍍層
ALD系統(tǒng)前驅(qū)體氣體脈沖注入集成快速響應(yīng)閥(<30ms)
離子注入機束線真空隔離無磁化材料版本

6. 安裝與調(diào)試指南

安裝規(guī)范

  1. 使用激光對中儀確保安裝平面度<0.1mm/m

  2. 所有螺栓按十字交叉順序緊固(扭矩值見下表)

法蘭規(guī)格扭矩值(Nm)緊固順序
ISO-KF DN638~10對角線漸進
CF 4.5"15~18星型模式

調(diào)試流程

  1. 初始抽真空至10?3 mbar,保壓測試24小時

  2. 進行50次空載循環(huán)測試

  3. 校準(zhǔn)壓力傳感器零點


7. 維護計劃

維護項目周期操作規(guī)范
密封面檢查每季度使用VAT專用內(nèi)窺鏡(P/N:INS-100)
潤滑脂更換每10?次循環(huán)使用VAC-LUBE 200特種潤滑脂
全面性能檢測年度需原廠認證工程師執(zhí)行

瑞士VAT95.3 - 高真空控制和隔離閥組合單元



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