無錫1 噸 / 小時電子廠超純水設備
- 公司名稱 上海濱潤環(huán)?？萍加邢薰?/a>
- 品牌 濱潤
- 型號
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2025/7/25 12:01:59
- 訪問次數(shù) 13
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| 應用領域 | 環(huán)保,食品/農產品,化工,電子/電池,制藥/生物制藥 |
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多介質過濾單元：φ500mm 304 不銹鋼濾罐（內壁電解拋光 Ra≤1.6μm），內裝 600mm 厚級配濾料（下層 3-5mm 石英砂 + 上層 0.8-1.2mm 無煙煤），運行流速 12m/h，通過梯度過濾去除懸浮物至濁度≤0.1NTU，SDI（污染指數(shù)）控制在≤3，為后續(xù) RO 系統(tǒng)提供更嚴格的前置保護。自動反沖洗采用 “水反沖 + 氣擦洗 + 水正沖” 三段式程序（反洗強度 12L/(m2?s)），確保濾料再生效率≥98%，減少反洗殘留污染。
活性炭吸附單元：φ400mm 304 不銹鋼濾罐，填充碘值≥1000mg/g 的椰殼活性炭（粒徑 1.0-2.0mm），運行流速 10m/h，特異性吸附余氯（≤0.01mg/L）、TOC（去除率≥80%）及重金屬（如 Cu2?、Ni2?≤0.01ppm），避免氯對 RO 膜的氧化及重金屬對電子元件的電化學腐蝕。采用單罐 + 備用濾芯組合設計，活性炭更換周期 4-6 個月，通過在線 TOC 監(jiān)測儀（檢測限 1ppb）聯(lián)動提示更換，確保有機物去除效果穩(wěn)定。
軟化處理單元：φ400mm 304 不銹鋼離子交換柱，裝填核級 001×7MB 陽離子交換樹脂（交換量≥1.3eq/L），將原水硬度（以 CaCO?計）降至≤0.1ppm，防止 RO 膜結垢與后續(xù)管道產生鈣鎂沉積。采用流量 - 硬度 - 時間三參數(shù)控制再生（產水達 30 噸或出水硬度＞0.05ppm 時啟動），再生液為 10% 電子級 NaCl 溶液，避免工業(yè)級鹽中的雜質污染樹脂。
保安過濾：30 英寸精密過濾器（304 不銹鋼外殼），內置 0.45μm 聚醚砜（PES）折疊濾芯（3 支并聯(lián)），對≥0.45μm 顆粒截留率≥99.99%，作為 RO 膜的最后一道防護，濾芯每兩周更換一次，通過在線微粒計數(shù)器（檢測范圍 0.1-5μm）實時監(jiān)控過濾效果，確保進入 RO 系統(tǒng)的微粒數(shù)≤100 個 /ml。
一級 RO 單元：采用 3 支抗污染型 RO 膜元件（3 支串聯(lián)，型號 SW30HR-4040），單支膜面積 400ft2，設計脫鹽率≥99.5%。運行壓力 1.6±0.1MPa，水溫控制在 25±1℃（配備恒溫換熱器），產水量 1.8m3/h，回收率 60%。濃水（約 1.2m3/h）經壓力回收裝置（效率≥90%）回收能量后排放，系統(tǒng)能耗降低 15%。
二級 RO 單元：配置 2 支電子級低壓高脫鹽膜（2 支串聯(lián)），脫鹽率≥99.8%，總脫鹽率達 99.995%，產水量 1.2 噸 / 小時，回收率 80%。二級 RO 產水電導率≤0.5μS/cm，通過在線電導率儀（精度 ±0.05μS/cm）與溫度補償系統(tǒng)聯(lián)動，確保數(shù)據(jù)準確性，超標時自動啟動循環(huán)凈化程序（循環(huán)路徑避開產水水箱，避免污染）。
智能清洗系統(tǒng)：集成 300L PP 清洗箱（內壁光滑）與衛(wèi)生級清洗泵（316L 葉輪），支持酸洗（0.5% 檸檬酸 + 0.1% 還原劑，pH3-4）與堿洗（0.1% NaOH+0.05% 表面活性劑，pH10-11），清洗程序針對電子廠水源中常見的有機物污染優(yōu)化，清洗周期延長至 4-6 個月，清洗后需檢測 TOC≤5ppb 方可恢復運行。
拋光混床：φ200mm 316L 不銹鋼柱，裝填 1:1 比例的電子級核子級樹脂（陽樹脂 IRN160，陰樹脂 IRN178），進一步去除殘余離子，使產水電阻率≥18.2MΩ?cm@25℃，硅含量≤0.01ppm，滿足芯片級清洗需求?；齑膊捎皿w內再生方式，再生周期根據(jù)電阻率變化自動觸發(fā)（≤15MΩ?cm 時），再生后需沖洗至電阻率穩(wěn)定≥18.2MΩ?cm 方可投入使用。
終端過濾系統(tǒng)：
0.1μm 折疊式聚四氟乙烯（PTFE）過濾器（316L 外殼），對≥0.1μm 顆粒截留率≥99.999%，確保產水微粒（≥0.1μm）≤1 個 /ml。
超濾膜組件（可選配，截留分子量 1000Da），去除水中的膠體與大分子有機物，TOC 進一步降至≤10ppb，適合光刻膠配制等高精度場景。
紫外線氧化：配備雙波長紫外燈（185nm+254nm，功率 60W），劑量 30mJ/cm2，既殺滅微生物（殺菌率≥99.99%），又氧化分解殘余有機物（TOC 去除率≥30%），避免生物膜形成與有機物沉積污染電子元件。
材質低污染性：與水接觸部件 100% 采用 316L 不銹鋼（電解拋光 Ra≤0.8μm）或 PTFE、PP 等低溶出材料，所有材料通過 SGS 溶出物測試（金屬離子≤0.001ppm）。
自動化微粒監(jiān)控：采用激光微粒計數(shù)器（檢測范圍 0.1-10μm），每小時自動記錄微粒數(shù)，超標時立即啟動終端過濾器更換提示，并暫停向關鍵用水點供水。
防交叉污染設計：產水管道采用 316L 不銹鋼（內壁電解拋光），焊接點經內窺鏡檢測（Ra≤0.8μm），盲管長度≤1D（D 為管徑），水流速維持 1.0-1.5m/s（湍流狀態(tài)），避免微生物滋生與微粒沉積。
潔凈室兼容設計：
設備外表面采用 304 不銹鋼（Ra≤1.6μm），圓角過渡（半徑≥10mm），無衛(wèi)生死角，可直接用異丙醇擦拭消毒，符合 ISO 8 級潔凈室要求。
運行噪音≤60dB (A)（距離設備 1 米處），配備靜音型水泵與隔音罩，避免干擾電子廠潔凈室的聲學環(huán)境。
靈活供水模式：
終端配備變頻恒壓供水系統(tǒng)（壓力 0.3-0.5MPa 可調），支持 3-5 個用水點同時供水（如清洗槽、顯影機、鍍膜機），各用水點設獨立閥門與在線電阻率監(jiān)測儀，確保局部用水波動不影響整體水質。
配備 500L 無菌儲水箱（316L 不銹鋼，內壁電解拋光），水箱內安裝紫外線殺菌燈（254nm，每小時運行 15 分鐘）與攪拌裝置，防止水質靜置劣化，滿足電子廠間歇式生產的用水需求。
易維護與快速恢復：
關鍵部件（如 RO 膜、EDI 模塊）采用快裝式連接，更換時間≤30 分鐘，減少設備停機對生產的影響。
系統(tǒng)預設 “快速啟動” 模式，停機 4 小時內重啟時，30 分鐘即可產出合格超純水，較常規(guī)啟動時間縮短 50%。
數(shù)據(jù)追溯與合規(guī)性：
采用西門子 S7-1200 PLC 控制系統(tǒng)，10 英寸觸摸屏實時顯示水質參數(shù)、設備狀態(tài)，支持數(shù)據(jù)存儲≥1 年（符合電子行業(yè)追溯要求），可通過 U 盤導出或聯(lián)網上傳至工廠 MES 系統(tǒng)。
自動生成每日水質報告（含電阻率、TOC、微粒數(shù)趨勢圖），滿足 ISO 9001 與 IATF 16949 等體系對過程控制的要求。
PCB 精細制造：用于線路板內層蝕刻、阻焊膜顯影，低離子特性避免線路短路，某 PCB 廠使用后，細線（≤50μm）合格率提升 12%。
半導體封裝測試：為芯片引線鍵合、晶圓減薄等環(huán)節(jié)提供清洗用水，低微粒特性減少芯片表面劃傷，某封裝廠使用后，測試良率提升 8%。
電子元件清洗：用于連接器、傳感器等精密元件的超聲波清洗，高純度水質確保元件接觸電阻穩(wěn)定，某電子元件廠使用后，產品可靠性測試通過率提升 15%。
光刻膠配制：為光刻膠稀釋提供用水，低 TOC（≤10ppb）特性避免有機物干擾光刻圖案形成，某光刻材料廠使用后，圖案精度偏差控制在 ±0.1μm 以內。
水質精度高：多重純化工藝確保超純水的低離子、低微粒、低有機物特性，滿足電子元件對水質的要求。
運行穩(wěn)定：針對電子廠水源波動與間歇生產特點，設備水質波動≤5%，減少因水質問題導致的產品報廢。
適配性強：緊湊設計（占地面積約 3m2）與潔凈室兼容特性，可直接安裝于電子廠車間內，縮短供水管路，降低二次污染風險。
成本可控：單噸水運行成本（含耗材、電費）約 8 元，較進口設備降低 40%，適合中小型電子廠的成本預算。
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