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CRX-4 CRX-VF無液氦超導磁體探針臺

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上海麥科威半導體技術有限公司(Shanghai Makeway Semiconductor LTD)是一家專業(yè)的微納材料、半導體和微電子材料及器件研發(fā)儀器及設備的供應商,所銷售的儀器設備廣泛用于高校、研究所、以及半導體和微電子領域的高科技企業(yè)。目前總部在上海,香港、南通、深圳、北京分別設立分公司和辦事處,快速響應客戶需求。同時上海麥科威在快速擴展海外市場,并設立新加坡分公司,輻射東南亞市場。

      上海麥科威半導體技術有限公司主要銷售產品包括:  - 霍爾效應測試儀;  - 快速退火爐;  - 回流焊爐,共晶爐,釬焊爐,真空燒結爐;  - 電子束蒸發(fā)鍍膜機,熱蒸發(fā)鍍膜機;  - 探針臺,低溫探針臺,微探針臺;  - 金剛石劃片機; - 球焊機,鍥焊機;  - 磁控濺射鍍膜機;  - 原子層沉積系統(tǒng),等離子增強原子層沉積設備;  - 電化學C-V剖面濃度分析儀(ECV Profiler); - 掃描開爾文探針系統(tǒng); - 光學膜厚儀; -貼片機-PECVD\CVD;-脈沖激光沉積系統(tǒng)-PLD-納米壓?。?等離子清洗機、去膠機;-反應離子刻蝕RIE; - 光刻機、無掩膜光刻機; - 勻膠機; - 熱板,烤膠板; -少子壽命、太陽能模擬器;-NMR-瞬態(tài)能譜儀-外延沉積-等離子清洗機-離子注入-劃片機、裂片機光刻機(針尖/電子束光刻機EBL,紫外光刻機,激光直寫光刻機),鍍膜機(磁控濺射機,電子束蒸發(fā)機,化學沉積機,微波等離子沉積機,原子層沉積機  等等…

企業(yè)客戶:華為技術有限公司, 深圳市鵬芯微集成電路制造, 深圳清力技術, 安徽格恩半導體, 蘇州稀晶半導體科技, 矽品半導體, 廈門海辰新能源科科, 中核同創(chuàng)(成都)科技, 洛瑪瑞芯片技術(常州),偉創(chuàng)力科技, 奧普科星河北科技,廣東五星太陽能,廣東萬和集團,西安西測股份, 普源精電科技, 普源精電科技股份, 上海蔚來汽車, 北京華脈泰科, 廣醫(yī)東金灣高景太陽能科技, 深圳匯佳成電子, 深圳市化訊半導體材料, 珠海珍迎機電, 合肥鼎材科技, 山東金晶節(jié)能玻璃, 江蘇云意電氣股份, 廣東風華技股份, 浙江中能合控股集團,固安維信諾,淮安天合光能,浙江老鷹半導體, 四川信通電子科技等。


科研院所/高等院校: 北京航空航天大學, 汕頭大學, 南方醫(yī)科大學, 清華大學, 北京大學, 復旦大學, 西北工業(yè)大學, 南京醫(yī)科大學, 香港中文大學, 香港城市大學, 蘇州大學, 深圳職業(yè)技術學院, 南京大學合肥國家試驗室, 上海交通大學醫(yī)學院, 華南理工大學,華東師范大學,江南大學,重慶26所, 深圳大學, 南方科技大學, 深圳技術大學, 理化技術研究所, 中國工程物理研究院激光聚變研究中心, 廣東粵港澳大灣區(qū)黃埔材料研究院, 桂林電子科技大學, 上海硅酸鹽研究所, 中國航天五院,中科合肥智慧農業(yè)協(xié)同創(chuàng)新研究院等。

 

 

 

 

 

 

 

 

半導體設備,快速退火爐,原子層沉積,鍵合機,光刻機

Lake Shore的CRX-VF是一款無液氦閉循環(huán)制冷的探針臺,它增加了±2.5T的超導磁體,可以進行C-V、I-V、微波和電光探測,以及平面外垂直場超導磁測量。研究人員可以使用CRX-VF進行霍爾效應測量和測試磁輸運參數(shù)。CRX-VF可在直徑達51毫米(2英寸)的晶圓上實現(xiàn)真正的90°晶圓探測。樣品可在冷卻過程中保持較高溫度,降低了樣品冷凝的可能性,這是測量有機材料的關鍵要求。

 

CRX-VF可在10 K至500 K的溫度范圍內工作,它使用獨立的閉循環(huán)制冷機,開機后可在無人協(xié)助的情況下冷卻至低溫。該系統(tǒng)為尋求兼顧無液氦操作的便利性和Lake Shore產品可靠的測量性能的用戶提供了完整的解決方案。


主要特征:

 

√  溫度范圍10 K~500 K

√  垂直磁場±2.5 T,可定制3T以上磁場

√  最大2英寸(51 mm)樣品

√  90°探針樣品測量

√  霍爾效應測試選件

√  超高真空選件

√  可定制真空腔聯(lián)用轉移樣品,避免樣品暴露在大氣環(huán)境


設備參數(shù):


磁場
磁體類型超導螺線管
磁場方向垂直方向(垂直于樣品面)
磁場控制電流控制
磁場大小最大±25 KOe(±2.5 T)
磁場均勻性0.5% 10 mm直徑;1% 25 mm直徑
探針針尖移動<5 μm 整個磁場范圍內
溫度范圍
±2.5 T溫度10 K
±2 T溫度范圍11 K ~ 400 K
±1 T溫度范圍401 K ~ 500 K
以上溫度范圍在最大安裝6個探針臂情況下有效
溫度穩(wěn)定性
基礎溫度 (無加熱控制)未說明
<10 K±50 mK
10 K ~ 500 K±10 mK
真空以TPS-FRG分子泵為標準PS-HV-CPX高真空選件
抽真空時間90 min (<1 × 10-3 Torr)30 min (<1 × 10-3 Torr)
室溫下<5 × 10-4 Torr<5 × 10-6 Torr
基礎溫度下<1 × 10-5 Torr<5 × 10-7 Torr
最高溫度下<5 × 10-5 Torr<5 × 10-7 Torr
循環(huán)時間
總循環(huán)8.5 h
抽真空1.5 h
探針臺冷卻5 h
探針臺升溫2 h
樣品
最大尺寸51 mm(2英寸)
樣品背光接口不可選
樣品旋轉不可選
樣品振動<1 μm
探針配置
最大探針數(shù)6
探針臂溫度計用于監(jiān)視探針臂的溫度
冷卻探針支架<50 K(樣品在基礎溫度下)
探針支架連接防輻射屏熱沉
探針臂支架連接防輻射屏熱沉
DC/RF探針電絕緣>100GΩ用于低漏電流測量
微波探針頻率范圍從DC到67GHz
光纖探針可用于電光測量
落針范圍所有探針均可在直徑為 25.4 毫米(1 英寸)的圓內落針






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