在半導(dǎo)體、光電子及材料科學(xué)研究領(lǐng)域，精密電學(xué)與光學(xué)測(cè)量是研發(fā)和質(zhì)量控制的核心環(huán)節(jié)。

天恒科儀推出的HTM系列通用探針臺(tái)，正是為滿足高標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量需求而設(shè)計(jì)的高性能平臺(tái)。本文將為您深度解析這款產(chǎn)品的核心優(yōu)勢(shì)、技術(shù)參數(shù)及典型應(yīng)用場(chǎng)景。

天恒科儀通用探針臺(tái)

核心優(yōu)勢(shì)

1. 全面兼容，廣泛適用
HTM系列提供三種臺(tái)面尺寸（6英寸、8英寸、12英寸），兼容不同尺寸晶圓、芯片及各類材料樣品，滿足從研發(fā)到中小批量測(cè)試的多種需求。

2. 高精度光學(xué)與電學(xué)測(cè)量能力
配備180X/500X/1000X多檔光學(xué)顯微鏡，支持微米級(jí)定位與觀測(cè)。同時(shí)具備電流低至100飛安（fA） 的測(cè)量精度與高達(dá)1100GHz的高頻測(cè)量能力，兼顧超高靈敏與超寬帶特性。

3. 強(qiáng)大的擴(kuò)展性與靈活性
針座臺(tái)面支持最多10~12個(gè)深柱徑探針座，可同時(shí)接入多組探針，支持復(fù)雜多端測(cè)量場(chǎng)景，并兼容紫外、可見(jiàn)光與紅外光波測(cè)量，適合光電類器件測(cè)試。

4. 高壓高功率支持
支持10kV / 1500A的高壓高電流測(cè)試，適用于功率器件、第三代半導(dǎo)體等大功率電子元件的特性分析。

詳細(xì)參數(shù)解析

1.電流精度達(dá)100fA：適用于半導(dǎo)體漏電流、薄膜器件電特性等高靈敏度測(cè)試。

2.頻率覆蓋DC–1100GHz：可進(jìn)行高頻、微波、太赫茲頻段的S參數(shù)測(cè)試，適合5G/6G、射頻元件、毫米波芯片研發(fā)。

3.多波段光波測(cè)量：支持紫外到紅外的光譜響應(yīng)測(cè)試，是光電傳感器、太陽(yáng)能電池、LED等器件性能分析的理想選擇。

天恒科儀通用探針臺(tái)

典型應(yīng)用場(chǎng)景

• 半導(dǎo)體器件測(cè)試：包括晶體管、二極管、集成電路的電特性參數(shù)測(cè)試。

• 光電與顯示技術(shù)：Micro-LED、光電探測(cè)器、激光器、顯示面板的光電性能分析。

• 材料科學(xué)研究：納米材料、二維材料（如石墨烯）、半導(dǎo)體薄膜的電學(xué)與光學(xué)性質(zhì)測(cè)量。

• 功率電子模塊：SiC、GaN等寬禁帶半導(dǎo)體器件的高壓、大電流、熱特性測(cè)試。

• 太赫茲與微波器件：天線、濾波器、諧振器等高頻組件的性能驗(yàn)證。

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