ART95LZ系列 直線電機機械臺-Z向單軸是納米級定位精度的垂直運動平臺，無齒槽直線電機驅(qū)動，采用交叉滾柱導(dǎo)軌，具備非常優(yōu)秀的動態(tài)性能和定位精度，空載截止頻率可達100Hz以上。是ART95系列水平運動平臺的有效補充，可以與ART95或者ART95XY系列組成不同的多軸配置來滿足客戶應(yīng)用。

ART95LZ系列 直線電機機械臺-Z向單軸雖然結(jié)構(gòu)緊湊但是有較強的驅(qū)動能力，速度可達200mm/s，空載加速度可達1g。配置線性放大器，帶隔振實驗室環(huán)境下，ART95LZ系列平臺的在位穩(wěn)定性3nm和最小步進量可以小于5nm，平面度/直線度可達±2μm，主要應(yīng)用于通訊領(lǐng)域的光纖耦合、半導(dǎo)體領(lǐng)域的晶圓缺陷檢測、生物醫(yī)療領(lǐng)域的基因測序以及光學領(lǐng)域光路對準等，可以根據(jù)客戶的應(yīng)用提供靈活的定制方案。

ART95LZ系列平臺最小步進和在位穩(wěn)定性測試

5nm最小步進（ASH反饋選項，配置線性放大器）

<3nm在位穩(wěn)定性（ASH反饋選項，配置線性放大器）

備注：

（1）適配-ASH反饋，線性放大器；

（2）空載，需配置相應(yīng)功率的放大器；

（3）默認測試點位置為臺面上方25 mm，單軸指標，多軸系統(tǒng)的性能指標與實際載荷和工作點位置有關(guān)；

（4）氣缸供氣需配置空濾三聯(lián)件，必須清潔、干燥，過濾至0.25μm以下顆粒，建議使用純度為99.9%的氮氣。氣壓根據(jù)平臺實際負載重量可調(diào)。

（5）其他行程可定制。