ART95XYZ系列 直線電機(jī)機(jī)械臺-XYZ是納米級定位精度的XYZ一體式運(yùn)動平臺，直線電機(jī)驅(qū)動，采用交叉滾柱導(dǎo)軌，具備非常優(yōu)秀的動態(tài)性能和定位精度，空載截止頻率可達(dá)100Hz以上。采用XYZ一體設(shè)計，具有精度高、尺寸小、集成度高的特點(diǎn)，XYZ行程可以根據(jù)客戶需求定制，它可以作為三維運(yùn)動平臺單獨(dú)使用，還可以與RSML系列轉(zhuǎn)臺搭配使用，組成不同的多軸配置來滿足客戶應(yīng)用。

ART95XYZ系列 直線電機(jī)機(jī)械臺-XYZ平臺雖然結(jié)構(gòu)緊湊但是有較強(qiáng)的驅(qū)動能力，速度可達(dá)200mm/s，空載加速度可達(dá)1g。配置線性放大器，帶隔振實(shí)驗室環(huán)境下，ART95XYZ系列平臺的在位穩(wěn)定性可達(dá)3nm和最小步進(jìn)量可以小于5nm，主要應(yīng)用于通訊領(lǐng)域的光纖耦合，半導(dǎo)體領(lǐng)域的晶圓缺陷檢測、生物醫(yī)療領(lǐng)域的基因測序以及光學(xué)領(lǐng)域光路對準(zhǔn)等，可以根據(jù)客戶的應(yīng)用提供靈活的定制方案。

精巧的結(jié)構(gòu)設(shè)計保證了ART95XYZ系列出色的精度和動態(tài)性能，特別是在速度穩(wěn)定性要求苛刻的應(yīng)用中，它的優(yōu)異性能得到了很好的體現(xiàn)。

ART95XYZ系列平臺最小步進(jìn)和在位穩(wěn)定性測試

5nm最小步進(jìn)（ASH反饋選項，配置線性放大器）

<3nm在位穩(wěn)定性（ASH反饋選項，配置線性放大器）

備注：

（1）適配-ASH反饋，線性放大器；

（2）空載，需配置相應(yīng)功率的放大器；

（3）默認(rèn)測試點(diǎn)位置為臺面上方25 mm，單軸指標(biāo)，多軸系統(tǒng)的性能指標(biāo)與實(shí)際載荷和工作點(diǎn)位置有關(guān)；

（4）氣缸供氣需配置空濾三聯(lián)件，必須清潔、干燥，過濾至0.25μm以下顆粒，建議使用純度為99.9%的氮      氣。氣壓根據(jù)平臺實(shí)際負(fù)載重量可調(diào)。

（5））其他行程可定制。