ART130LZ系列 直線電機(jī)機(jī)械臺(tái)-Z向單軸是納米級(jí)定位精度的垂直運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，采用交叉滾柱導(dǎo)軌，具備非常優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能和定位精度，空載截止頻率可達(dá)100Hz以上。是ART130系列水平運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的有效補(bǔ)充，可以與ART130或者ART130XY系列組成不同的多軸配置來(lái)滿足客戶應(yīng)用。

ART130LZ系列 直線電機(jī)機(jī)械臺(tái)-Z向單軸平臺(tái)雖然結(jié)構(gòu)緊湊但是有較強(qiáng)的驅(qū)動(dòng)能力，速度可達(dá)500mm/s，空載加速度可達(dá)1g。配置線性放大器，帶隔振實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下，ART130LZ系列平臺(tái)的在位穩(wěn)定性和最小步進(jìn)量可以小于10nm，平面度/直線度可達(dá)±1.5μm，主要應(yīng)用于通訊領(lǐng)域的光纖耦合、半導(dǎo)體領(lǐng)域的晶圓缺陷檢測(cè)、生物醫(yī)療領(lǐng)域的基因測(cè)序以及激光微納加工等，可以根據(jù)客戶的應(yīng)用提供靈活的定制方案。

ART130LZ系列平臺(tái)最小步進(jìn)和在位穩(wěn)定性測(cè)試

5nm最小步進(jìn)（ASH反饋選項(xiàng)，配置線性放大器）

<3nm在位穩(wěn)定性（ASH反饋選項(xiàng)，配置線性放大器）

備注：

(1)適配-ASH反饋，線性放大器；

(2)空載，需配置相應(yīng)功率的放大器；

(3)默認(rèn)測(cè)試點(diǎn)位置為臺(tái)面上方25 mm，單軸指標(biāo)，多軸系統(tǒng)的性能指標(biāo)與實(shí)際載荷和工作點(diǎn)位置有關(guān)；

(4)氣缸供氣需配置空濾三聯(lián)件，必須清潔、干燥，過(guò)濾至0.25μm以下顆粒，建議使用純度為99.9%的氮?dú)?。氣壓根?jù)平臺(tái)實(shí)際負(fù)載重量可調(diào)。

(5)其他行程可定制。