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CY-O1200-120III-IC-3Z-MoS2 晶圓級(jí)大尺寸二硫化鉬制備CVD設(shè)備

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 鄭州成越科學(xué)儀器有限公司
  • 品牌
  • 型號(hào) CY-O1200-120III-IC-3Z-MoS2
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2025/7/30 19:23:40
  • 訪問次數(shù) 33

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鄭州成越科學(xué)儀器有限公司位于鄭州市*開發(fā)區(qū),是一家專業(yè)從事材料制備設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)和銷售為一體的高科技公司。重點(diǎn)專注于CVD石墨烯制備設(shè)備、熒光粉燒結(jié)設(shè)備、氧化鋯生物陶瓷燒結(jié)、納米材料制備、電池材料制備、陶瓷材料的微波燒結(jié)、稀有金屬的區(qū)域提純等研究發(fā)展方向。

鄭州成越科學(xué)儀器有限公司的研發(fā)團(tuán)隊(duì)?wèi){借自身在熱處理技術(shù)方面的專業(yè)知識(shí)和豐富的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn),先后研發(fā)出了多款*材料制備設(shè)備。主要產(chǎn)品有:微波燒結(jié)爐、真空管式爐、箱式電阻爐、高頻感應(yīng)爐、氧化鋯燒結(jié)爐、熒光粉燒結(jié)爐、晶體退火爐、電池材料燒結(jié)爐、旋轉(zhuǎn)管式爐、立式管式爐、CVD管式爐等;

其他的產(chǎn)品還有:等離子清洗機(jī)、真空手套箱、真空干燥箱、環(huán)境模擬測(cè)試柜、行星球磨機(jī)、高純石英管、99剛玉管、真空法蘭等。

近年來,在社會(huì)各界的關(guān)心支持下,公司不斷發(fā)展壯大,與國(guó)內(nèi)外多所高校和科研單位建立起了合作關(guān)系;公司還聘請(qǐng)了多位國(guó)內(nèi)外重點(diǎn)高校的教授,博導(dǎo)為公司常年的技術(shù)顧問,他們時(shí)刻與國(guó)內(nèi)外學(xué)術(shù)界保持交流,出國(guó)訪問,并親臨一線指導(dǎo)產(chǎn)品的生產(chǎn)和研發(fā),使我公司的產(chǎn)品不斷完善,并緊跟世界研究熱點(diǎn),推出相關(guān)的新產(chǎn)品。產(chǎn)品遠(yuǎn)銷歐美、日韓等國(guó)家,并在國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)獲得業(yè)界*好評(píng)。

如果您正在被國(guó)貨的產(chǎn)品質(zhì)量所困擾,選擇我們將改變您對(duì)國(guó)貨的某些觀念;如果您正在為自己的實(shí)驗(yàn)方案的實(shí)施而茫然,選擇我們將有專業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊(duì)為您量身定做!如果您正在為故障設(shè)備的售后無人理會(huì)而發(fā)愁,選擇我們一切的問題將由我們負(fù)責(zé)到底。鄭州成越科學(xué)儀器有限公司的誠(chéng)信、實(shí)力和產(chǎn)品質(zhì)量獲得業(yè)界的認(rèn)可。歡迎各界朋友蒞臨參觀、指導(dǎo)和業(yè)務(wù)洽談。

 

管式爐,氣氛爐,馬弗爐,等離子磁控濺鍍膜儀,等離子清洗機(jī),切斷機(jī),拋光機(jī)

晶圓級(jí)大尺寸二硫化鉬制備CVD設(shè)備(1150 三溫區(qū) 3路MFC)

本設(shè)備為基于CVD原理設(shè)計(jì)的晶圓級(jí)大尺寸二硫化鉬制備裝置。包括三溫區(qū)管式爐,特殊設(shè)計(jì)的爐管及配套氣路一組。該設(shè)備通過特殊設(shè)計(jì)的管路,能夠?qū)⒎磻?yīng)氣體均勻的釋放于爐管,確保后端晶圓上的產(chǎn)物的一致性和均勻性。是二硫化鉬制備實(shí)驗(yàn)的。 

點(diǎn)

1.特殊管路設(shè)計(jì),反應(yīng)氣體均勻的釋放

2.二硫化鉬制備

技術(shù)參數(shù):

產(chǎn)品型號(hào)

CY-O1200-120III-IC-3Z-MoS2

爐管材質(zhì)

高純石英

爐管規(guī)格

外部大石英管 φ120mm x1000mm

內(nèi)部小石英管  φ25mm x820mm x7根

溫區(qū)長(zhǎng)度

三溫區(qū)200mm+200mm+200mm

控溫精度

±1℃

度曲線

三溫區(qū)獨(dú)立控溫,每個(gè)溫區(qū)均可設(shè)置30段時(shí)間溫度曲線

工作溫度

0~1150℃ 

升溫速率

≤10℃/min

進(jìn)氣系統(tǒng)

三路質(zhì)量流量計(jì)Ar氣0~500sccm

N2氣0~200sccm

H2氣0~200sccm

配有七路分氣、混氣氣路及混氣灌。

爐管法蘭

不銹鋼水冷法蘭,配有KF16真空接口,機(jī)械式真空計(jì)及不銹鋼針閥

供電要求

AC 220V 50Hz  4kW

控制方式

7英寸觸控屏

真空泵

雙極旋片真空泵

真空度

理論極限真空度10^-1Pa

 



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