MPCVD單晶鉆石沉積設(shè)備
- 公司名稱 鄭州成越科學(xué)儀器有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/7/30 19:30:57
- 訪問(wèn)次數(shù) 30
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適合的應(yīng)用:
化學(xué)氣相沉積法制備高品質(zhì)單晶鉆石
化學(xué)氣相沉積法制備高品質(zhì)多晶鉆石自支撐厚膜
化學(xué)氣相沉積法制備高品質(zhì)多晶鉆石薄膜
化學(xué)氣相沉積法制備石墨烯、碳納米管、富勒烯和鉆石膜等各種碳納米薄膜
產(chǎn)品特點(diǎn):
本產(chǎn)品為不銹鋼腔體式6kw微波等離子體設(shè)備,功率密度高;
水冷式基片臺(tái)和水冷式金屬反映腔,保證系統(tǒng)能長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定工作;
基片溫度以微波等離子體自加熱方式達(dá)到;
真空測(cè)量?jī)x表采用全量程真空計(jì),可**測(cè)量本底真空和工作氣體壓強(qiáng);
真空泵及閥門(mén)采用渦輪分子泵(極限真空為1×10-5Pa)和旋片式機(jī)械真空泵(極限真空為1Pa),系統(tǒng)可自動(dòng)控制沉積氣壓;
配備冷卻水循環(huán)系統(tǒng),確保裝置高功率下可長(zhǎng)時(shí)間**穩(wěn)定運(yùn)行;
系統(tǒng)帶15寸觸摸屏,PLC自動(dòng)控制,可設(shè)置溫度或氣壓恒定,可保存復(fù)用多達(dá)20套工藝文件;
全自動(dòng)工藝控制模塊,可以穩(wěn)定可靠地制備高品質(zhì)鉆石薄膜和晶體
技術(shù)指標(biāo)與特性:
項(xiàng)目名稱 | 規(guī)格 | 配置 |
主控單元 |
| PLC 自動(dòng)程控 |
微波源 | 6kw 2.45Ghz | 微波電源 |
微波發(fā)生器 | ||
波導(dǎo) | 6kw | 三銷釘 |
模式轉(zhuǎn)換器 | 6kw |
|
諧振腔體 | 6kw | 柱形水冷腔體 |
基臺(tái) | φ70mm | 電動(dòng)升降 |
鉆石生長(zhǎng)基本參數(shù) |
| 7x7mm 37片 8x8mm 29片 9x9mm 21片 10x10mm 13片 |
MFC(質(zhì)子流量計(jì)) | 5路 | Ch4 0-500sccm H2 0-500sccm N2 0-500sccm Ar 0-500sccm O2 0-500sccm |
測(cè)溫元件 |
| 高精度紅外測(cè)溫儀 |
真空測(cè)量 |
| 高精度真空計(jì) |
分子泵 |
| 默認(rèn)無(wú)/可選 |
氫氣純化 |
| 9N級(jí) |
水循環(huán) |
| 3P水冷機(jī) |