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MPCVD單晶鉆石沉積設(shè)備

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鄭州成越科學(xué)儀器有限公司位于鄭州市*開(kāi)發(fā)區(qū),是一家專業(yè)從事材料制備設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)和銷售為一體的高科技公司。重點(diǎn)專注于CVD石墨烯制備設(shè)備、熒光粉燒結(jié)設(shè)備、氧化鋯生物陶瓷燒結(jié)、納米材料制備、電池材料制備、陶瓷材料的微波燒結(jié)、稀有金屬的區(qū)域提純等研究發(fā)展方向。

鄭州成越科學(xué)儀器有限公司的研發(fā)團(tuán)隊(duì)?wèi){借自身在熱處理技術(shù)方面的專業(yè)知識(shí)和豐富的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn),先后研發(fā)出了多款*材料制備設(shè)備。主要產(chǎn)品有:微波燒結(jié)爐、真空管式爐、箱式電阻爐、高頻感應(yīng)爐、氧化鋯燒結(jié)爐、熒光粉燒結(jié)爐、晶體退火爐、電池材料燒結(jié)爐、旋轉(zhuǎn)管式爐、立式管式爐、CVD管式爐等;

其他的產(chǎn)品還有:等離子清洗機(jī)、真空手套箱、真空干燥箱、環(huán)境模擬測(cè)試柜、行星球磨機(jī)、高純石英管、99剛玉管、真空法蘭等。

近年來(lái),在社會(huì)各界的關(guān)心支持下,公司不斷發(fā)展壯大,與國(guó)內(nèi)外多所高校和科研單位建立起了合作關(guān)系;公司還聘請(qǐng)了多位國(guó)內(nèi)外重點(diǎn)高校的教授,博導(dǎo)為公司常年的技術(shù)顧問(wèn),他們時(shí)刻與國(guó)內(nèi)外學(xué)術(shù)界保持交流,出國(guó)訪問(wèn),并親臨一線指導(dǎo)產(chǎn)品的生產(chǎn)和研發(fā),使我公司的產(chǎn)品不斷完善,并緊跟世界研究熱點(diǎn),推出相關(guān)的新產(chǎn)品。產(chǎn)品遠(yuǎn)銷歐美、日韓等國(guó)家,并在國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)獲得業(yè)界*好評(píng)。

如果您正在被國(guó)貨的產(chǎn)品質(zhì)量所困擾,選擇我們將改變您對(duì)國(guó)貨的某些觀念;如果您正在為自己的實(shí)驗(yàn)方案的實(shí)施而茫然,選擇我們將有專業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊(duì)為您量身定做!如果您正在為故障設(shè)備的售后無(wú)人理會(huì)而發(fā)愁,選擇我們一切的問(wèn)題將由我們負(fù)責(zé)到底。鄭州成越科學(xué)儀器有限公司的誠(chéng)信、實(shí)力和產(chǎn)品質(zhì)量獲得業(yè)界的認(rèn)可。歡迎各界朋友蒞臨參觀、指導(dǎo)和業(yè)務(wù)洽談。

 

管式爐,氣氛爐,馬弗爐,等離子磁控濺鍍膜儀,等離子清洗機(jī),切斷機(jī),拋光機(jī)


適合的應(yīng)用:

化學(xué)氣相沉積法制備高品質(zhì)單晶鉆石


化學(xué)氣相沉積法制備高品質(zhì)多晶鉆石自支撐厚膜

化學(xué)氣相沉積法制備高品質(zhì)多晶鉆石薄膜

化學(xué)氣相沉積法制備石墨烯、碳納米管、富勒烯和鉆石膜等各種碳納米薄膜



產(chǎn)品特點(diǎn): 

本產(chǎn)品為不銹鋼腔體式6kw微波等離子體設(shè)備,功率密度高;

水冷式基片臺(tái)和水冷式金屬反映腔,保證系統(tǒng)能長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定工作;

基片溫度以微波等離子體自加熱方式達(dá)到;

真空測(cè)量?jī)x表采用全量程真空計(jì),可**測(cè)量本底真空和工作氣體壓強(qiáng);

真空泵及閥門(mén)采用渦輪分子泵(極限真空為1×10-5Pa)和旋片式機(jī)械真空泵(極限真空為1Pa),系統(tǒng)可自動(dòng)控制沉積氣壓;

配備冷卻水循環(huán)系統(tǒng),確保裝置高功率下可長(zhǎng)時(shí)間**穩(wěn)定運(yùn)行;

系統(tǒng)帶15寸觸摸屏,PLC自動(dòng)控制,可設(shè)置溫度或氣壓恒定,可保存復(fù)用多達(dá)20套工藝文件;

全自動(dòng)工藝控制模塊,可以穩(wěn)定可靠地制備高品質(zhì)鉆石薄膜和晶體

技術(shù)指標(biāo)與特性:

項(xiàng)目名稱

規(guī)格

配置

主控單元

 

PLC 自動(dòng)程控

微波源

6kw  2.45Ghz

微波電源

微波發(fā)生器

波導(dǎo)

6kw

三銷釘

模式轉(zhuǎn)換器

6kw

 

諧振腔體

6kw

柱形水冷腔體

基臺(tái)

φ70mm

電動(dòng)升降

鉆石生長(zhǎng)基本參數(shù)

 

7x7mm   37

8x8mm   29

9x9mm   21

10x10mm  13

MFC(質(zhì)子流量計(jì))

5

Ch4  0-500sccm

H2   0-500sccm

N2  0-500sccm

Ar   0-500sccm

O2   0-500sccm

測(cè)溫元件

 

高精度紅外測(cè)溫儀

真空測(cè)量

 

高精度真空計(jì)

分子泵

 

默認(rèn)無(wú)/可選

氫氣純化

 

9N級(jí)

水循環(huán)

 

3P水冷機(jī)





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