CY-MSH325-III-DCDCRF-SS 3靶緊湊型磁控濺射鍍膜儀
參考價 | ¥ 198700 |
訂貨量 | ≥1臺 |
- 公司名稱 鄭州成越科學儀器有限公司
- 品牌 CYKY
- 型號 CY-MSH325-III-DCDCRF-SS
- 產地 鄭州
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2025/8/5 15:01:57
- 訪問次數 50
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磁控濺射鍍膜儀,熱蒸發(fā)鍍膜儀,勻膠機旋涂儀,熔煉爐,涂布機,放電等離子燒結爐,靜電紡絲機,金剛石線切割機,RTP退火爐,晶體生長爐,管式爐,CVD氣相沉積,氣氛爐,馬弗爐,熱解噴涂,等離子清洗機,
產地類別 | 國產 | 價格區(qū)間 | 10萬-30萬 |
---|---|---|---|
應用領域 | 電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件 |
3靶緊湊型磁控濺射鍍膜儀是一種三頭1"射頻等離子體磁控濺射系統(tǒng),設計用于非金屬薄膜涂層,主要用于多層氧化物薄膜。緊湊型磁控濺射鍍膜儀是研究新一代氧化薄膜*具成本效益的涂膜機??筛鶕饘俦∧こ练e要求選擇直流磁控濺射,可配置3個直流、1個射頻/ 2個直流和2個射頻/ 1個直流濺射頭。
緊湊型磁控濺射鍍膜儀應用領域:
這款緊湊型3靶磁控濺射鍍膜機專為在氧化物單晶基板上涂覆氧化物薄膜而設計,通常不需要高真空設置。
3靶緊湊型磁控濺射鍍膜儀技術規(guī)格:
項目 | 明細 | |
產品型號 | CY-MSH325-III-DCDCRF-SS | |
供電電壓 | AC220V,50Hz | |
整機功率 | 4KW | |
系統(tǒng)真空 | ≦5×10-4Pa | |
樣品臺 | 外形尺寸 | φ140mm |
加熱溫度 | ≦500℃ | |
控溫精度 | ±1℃ | |
可調轉速 | ≦20rpm | |
磁控靶槍 | 靶材尺寸 | 直徑Φ50.8mm,厚度≦3mm |
冷卻模式 | 循環(huán)水冷 | |
水流大小 | 不小于10L/Min | |
真空腔體 | 腔體尺寸 | 直徑φ325mm,高度500mm |
腔體材質 | SUU304不銹鋼 | |
觀察窗口 | 直徑φ100mm | |
開啟方式 | 頂開式 | |
氣體控制 | 1路質量流量計用于控制Ar流量,量程為:200SCCM | |
真空系統(tǒng) | 配分子泵系統(tǒng)1套,氣體抽速600L/S | |
膜厚測量 | 可選配石英晶體膜厚儀,分辨率0.10 ? | |
濺射電源 | 直流電源500W*2,射頻電源500W | |
控制系統(tǒng) | CYKY自研專業(yè)級控制系統(tǒng) | |
設備尺寸 | 600mm × 650mm × 1280mm | |
設備重量 | 350kg |
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