CY-MS 磁控濺射鍍膜儀
參考價(jià) | ¥ 390000 |
訂貨量 | ≥1臺(tái) |
- 公司名稱 鄭州成越科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 CYKY
- 型號(hào) CY-MS
- 產(chǎn)地 鄭州
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/8/18 14:52:05
- 訪問(wèn)次數(shù) 53
聯(lián)系方式:汪經(jīng)理13837189935 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
磁控濺射鍍膜儀,熱蒸發(fā)鍍膜儀,勻膠機(jī)旋涂?jī)x,熔煉爐,涂布機(jī),放電等離子燒結(jié)爐,靜電紡絲機(jī),金剛石線切割機(jī),RTP退火爐,晶體生長(zhǎng)爐,管式爐,CVD氣相沉積,氣氛爐,馬弗爐,熱解噴涂,等離子清洗機(jī),
產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 10萬(wàn)-30萬(wàn) |
---|---|---|---|
應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件 |
設(shè)備用途:
CY-MS磁控濺射鍍膜儀用于在晶體硅表面沉積金屬薄膜(Al、Ag、Ni、Cu、Ti、Pd等),并能夠?qū)崿F(xiàn)反應(yīng)濺射,可完成高、低真空下磁控濺射鍍膜工藝,具備較大尺寸和多種尺寸規(guī)格的晶體硅光伏電池薄膜的連續(xù)制備能力。
磁控鍍膜儀典型應(yīng)用:
• 科研領(lǐng)域:納米材料、薄膜器件、光學(xué)涂層等研究。
• 電子行業(yè):半導(dǎo)體、傳感器、導(dǎo)電薄膜制備。
• 教學(xué)演示:材料科學(xué)、真空技術(shù)實(shí)驗(yàn)教學(xué)。
• 以下是磁控鍍膜儀的典型實(shí)用案例,涵蓋科研、工業(yè)及教學(xué)領(lǐng)域,體現(xiàn)其多功能性和廣泛應(yīng)用價(jià)值。
技術(shù)參數(shù):
型號(hào) | CY-in-line | |
主濺真空室 | 方形真空室,尺寸Ø 1000×700×350mm | |
進(jìn)樣室 | 圓筒型,臥室,尺寸Ø 250×420mm | |
真空系統(tǒng)配置 | 分子泵與機(jī)械泵,閘板閥 | |
極限壓力 | 主濺射室 | ≦8*10-5Pa(經(jīng)烘烤除氣后) |
進(jìn)樣室 | ≦6.6*10-4Pa(經(jīng)烘烤除氣后) | |
恢復(fù)真空時(shí)間 | 主濺射室 | 40分鐘可達(dá)到6.6*10-4Pa(系統(tǒng)短時(shí)間暴露大氣并充干燥氮?dú)忾_始抽氣) |
進(jìn)樣室 | 40分鐘可達(dá)到6.6*10-3Pa(系統(tǒng)短時(shí)間暴露大氣并充干燥氮?dú)忾_始抽氣) | |
磁控靶組件 | 矩形靶尺寸約450*45mm;靶與樣品距離80mm可調(diào)
| |
基片加熱臺(tái) | 基片結(jié)構(gòu) | 尺寸125*125mm或156*156mm,可一次安裝4片樣品 |
加熱溫度 | 室溫~400C±2 C,可控可調(diào) | |
氣路系統(tǒng) | 質(zhì)量流量控制器3路 | |
設(shè)備占地面積 | 主機(jī) | 2655 * 930mm2 |
電控柜 | 700 *700mm2(兩個(gè)) |
免責(zé)聲明:本站產(chǎn)品介紹內(nèi)容(包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術(shù)參數(shù)等),僅供參考??赡苡捎诟虏患皶r(shí),會(huì)造成所述內(nèi)容與實(shí)際情況存在一定的差異,請(qǐng)與本公司銷售人員聯(lián)系確認(rèn)。本站提供的信息不構(gòu)成任何要約或承諾,本公司會(huì)不定期完善和修改網(wǎng)站任何信息,恕不另行通知,請(qǐng)您見諒。
相關(guān)分類
該廠商的其他產(chǎn)品
- CY-MSZ180-I-DC-SS? 光纖繞絲單靶磁控濺射鍍膜儀
- CY-MSZ180-I-DC-SS? 單靶磁控光纖繞絲濺射鍍膜儀
- CY-MSH300-III-DCDCRF-SS 非導(dǎo)電薄膜等離子磁控濺射鍍膜儀
- CY-MSH300-III-DCDCRF-SS? 三靶磁控濺射鍍膜儀(直流+射頻)
- CY-MSH300-III-DCDCDC-SS 三靶磁控濺射鍍膜儀(直流)
- CY-MSH300-III-RFRFRF-SS 三靶磁控濺射鍍膜儀(射頻)
- CY-MSV325- II-DCRF-SS 雙靶磁控濺射鍍膜儀(雙膜厚儀)
- CY-MSV325- II-DCDC-SS 雙靶磁控濺射鍍膜儀(直流+射頻)