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CY-EVV195-II-HH-SS 高真空雙源熱蒸發(fā)鍍膜儀
- 公司名稱 鄭州成越科學(xué)儀器有限公司
- 品牌
- 型號 CY-EVV195-II-HH-SS
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/7/31 9:32:48
- 訪問次數(shù) 24
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本儀器是一種具有兩個蒸發(fā)源的高真空蒸發(fā)鍍膜儀,鎢絲籃(或鎢舟)用作蒸發(fā)源,并且樣品臺和蒸發(fā)源之間的距離是可調(diào)的。 該儀器可以穩(wěn)定地蒸發(fā)金屬和某些有機(jī)物。 采用高真空不銹鋼腔體,密封性能好,真空性能好。 該腔室配有觀察窗,因此可以看到涂層過程。 采用分子泵系統(tǒng)的**真空10E-5Pa,可有效提高涂層質(zhì)量,并能滿足大多數(shù)蒸發(fā)涂層實(shí)驗(yàn)所需的真空環(huán)境。
高真空熱蒸發(fā)鍍膜儀用途:
高真空雙源熱蒸發(fā)鍍膜儀適用于蒸發(fā)涂覆大多數(shù)金屬和某些有機(jī)材料薄膜。
高真空熱蒸發(fā)鍍膜儀技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品名稱 | 高真空雙源熱蒸發(fā)鍍膜儀 | |
產(chǎn)品型號 | CY-EVV195-II-HH-SS | |
樣品臺 | 位 置 | 頂部設(shè)置 |
外形尺寸 | 直徑φ65mm | |
轉(zhuǎn) 速 | 0-20 rpm | |
間 距 | 樣品架和蒸發(fā)源之間的距離可調(diào) | |
可調(diào)溫度 | ≦500℃ | |
熱蒸發(fā)源 | 鎢絲籃×2個,鎢舟×2個 | |
蒸發(fā)電源 | 每個蒸發(fā)源配一組獨(dú)立電源;雙個蒸發(fā)源可同時共蒸 | |
真空腔體 | 腔體尺寸 | 直徑φ195mm×H210mm |
觀察窗口 | 直徑φ100mm | |
腔體材質(zhì) | 304不銹鋼 | |
開啟方式 | 上開蓋 | |
膜厚測量 | 晶體膜厚測量儀(也可選膜厚控制儀) | |
真空系統(tǒng) | 前級泵 | 雙極旋片泵,氣體抽速1.1L/S |
次級泵 | 渦輪分子泵,氣體抽速600L/S | |
真空測量 | 復(fù)合真空計(電離規(guī)+電阻規(guī)) | |
系統(tǒng)真空 | 5×10-4Pa | |
控制系統(tǒng) | CYKY自研專業(yè)級控制器 | |
其他參數(shù) | 供電電源 | AC380V,50Hz |
整機(jī)尺寸 | 600mm×650mm×1500mm | |
整機(jī)功率 | 7KW | |
整機(jī)重量 | 260kg |
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