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CY-MPCVD 實(shí)驗(yàn)型，研究型MPCVD
- 公司名稱 鄭州成越科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 CYKY
- 型號(hào) CY-MPCVD
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/7/31 10:36:54
- 訪問(wèn)次數(shù) 29
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磁控濺射鍍膜儀，熱蒸發(fā)鍍膜儀，勻膠機(jī)旋涂?jī)x，熔煉爐，涂布機(jī)，放電等離子燒結(jié)爐，靜電紡絲機(jī)，金剛石線切割機(jī)，RTP退火爐，晶體生長(zhǎng)爐，管式爐，CVD氣相沉積，氣氛爐，馬弗爐，熱解噴涂，等離子清洗機(jī)，
MPCVD適合的應(yīng)用:
化學(xué)氣相沉積法制備高品質(zhì)單晶金剛石
化學(xué)氣相沉積法制備高品質(zhì)多晶金剛石自支撐厚膜
化學(xué)氣相沉積法制備高品質(zhì)多晶金剛石薄膜
化學(xué)氣相沉積法制備石墨烯、碳納米管、富勒烯和金剛石膜等各種碳納米薄膜
MPCVD產(chǎn)品特點(diǎn)：
本產(chǎn)品為不銹鋼腔體式6kw微波等離子體設(shè)備，功率密度高；
水冷式基片臺(tái)和水冷式金屬反映腔，保證系統(tǒng)能長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定工作；
基片溫度以微波等離子體自加熱方式達(dá)到；
真空測(cè)量?jī)x表采用全量程真空計(jì)，可**測(cè)量本底真空和工作氣體壓強(qiáng)；
真空泵及閥門(mén)采用渦輪分子泵(極限真空為1×10-5Pa)和旋片式機(jī)械真空泵(極限真空為1Pa)，系統(tǒng)可自動(dòng)控制沉積氣壓；
配備冷卻水循環(huán)系統(tǒng)，確保裝置高功率下可長(zhǎng)時(shí)間**穩(wěn)定運(yùn)行；
系統(tǒng)帶15寸觸摸屏，PLC自動(dòng)控制，可設(shè)置溫度或氣壓恒定，可保存復(fù)用多達(dá)20套工藝文件；
全自動(dòng)工藝控制模塊，可以穩(wěn)定可靠地制備高品質(zhì)金剛石薄膜和晶體
MPCVD技術(shù)指標(biāo)與特性:
| 微波系統(tǒng)（法國(guó)Sairem 微波源） | 微波頻率 | 2450±25MHz |
| 輸出功率 | 0.6kw~6kw 連續(xù)可調(diào) | |
| 微波調(diào)諧 | 三銷(xiāo)釘調(diào)配器，模式轉(zhuǎn)換天線 | |
| 微波反射保護(hù) | 環(huán)形器，水負(fù)載 | |
| 微波工作模式 | TM013 | |
| 微波泄漏 | ≤ 2 mw/cm2 | |
| 真空系統(tǒng) | 工作氣壓范圍 | 10~250Torr |
| 自動(dòng)穩(wěn)壓范圍 | 40~250Torr | |
| 真空泵 | 4.4L/s 旋片式真空泵 | |
| 系統(tǒng)漏率 | <1.0x10-9 Pa?m3 /秒 (通過(guò)氦質(zhì)譜檢漏儀檢測(cè)) | |
| 腔體保壓能力 | 每24 小時(shí)壓升小于0.2 乇 | |
| 本底極限真空 | 0.1Pa（7.5 x10-4 Torr) | |
| 真空測(cè)量 | 品牌薄膜規(guī) | |
| 真空反應(yīng)腔 | 反應(yīng)腔材料及結(jié)構(gòu) | 雙層水冷不銹鋼反應(yīng)腔 |
| 真空密封 | 金屬密封+氟膠圈密封(取樣門(mén)) | |
| 反應(yīng)腔內(nèi)徑 | 直徑140mm | |
| 樣品臺(tái)窗口 | 105x50mm 長(zhǎng)方形端口，帶O 形氟橡膠圈密封的前門(mén) | |
| 觀察窗口 | 兩個(gè)端口，CF35 大口徑，180°分布 | |
| 測(cè)溫窗口 | 兩個(gè)窗口水平角度25~30°，180°分布；窗口方便從反應(yīng)腔上部的 斜角向下檢測(cè)樣品臺(tái)的溫度 | |
| 樣品臺(tái) | 電動(dòng)升降式水冷基片臺(tái) 直徑100mm，高度可調(diào)范圍0～70mm | |
| 鉬基片臺(tái)直徑≥50mm，在5000w, 180Torr 工作狀態(tài)，等離子體火球可覆蓋 整個(gè)基片臺(tái) | ||
| 基片臺(tái)溫度 250～1400℃（取決于工藝參數(shù)） | ||
| 氣路 | 選用日本進(jìn)口流量計(jì)及流量控制閥 | |
| 系統(tǒng)自帶四路MFC | ||
| 四路MFC *大流速：H2: 1000sccm，CH4：100sccm，O2：20sccm，N2：2sccm | ||
| 測(cè)溫系統(tǒng) | 德國(guó)Raytek 紅外測(cè)溫系統(tǒng)，測(cè)溫范圍：300~1300 攝氏度 | |
| 系統(tǒng)軟件 | 配置PLC 控制的15“觸摸顯示屏，用戶操作界面友好，所有操作均可在觸摸 屏上完成 | |
| 系統(tǒng)支持工程師和操作員兩個(gè)用戶級(jí)別，提供用戶權(quán)限管理功能 | ||
| 系統(tǒng)自帶缺水，缺氣，電源缺相，火球跳變，過(guò)溫過(guò)載，打火等自動(dòng)保護(hù) | ||
| 可設(shè)置多達(dá)10 套工藝配方，每套配方有40 行數(shù)據(jù)，生產(chǎn)流程通過(guò)工藝配方自 動(dòng)控制，工藝數(shù)據(jù)可通過(guò)U 盤(pán)備份導(dǎo)出 | ||
| 系統(tǒng)自帶全自動(dòng)抽氣，點(diǎn)火，升溫，降溫等預(yù)設(shè)流程，用戶操作簡(jiǎn)便 | ||
| 全自動(dòng)溫度控制，氣壓控制，極大減輕系統(tǒng)操作員的工作量 | ||
系統(tǒng)安裝要求
由客戶提供以下安裝條件：
1. 氣體連接
2. 電源
a) 供電電壓：AC 380V(±10％)，頻率50Hz，三相四線，室內(nèi)具有獨(dú)立的地線，
接地電阻效益4Ω，*大功率20kw
b) 建議每臺(tái)設(shè)備在1 米之外的墻上預(yù)留單獨(dú)的空氣開(kāi)關(guān)，空氣開(kāi)關(guān)規(guī)格：4P32A
帶漏電保護(hù)。
c) 在進(jìn)行任何連接之前，應(yīng)關(guān)閉系統(tǒng)內(nèi)配電子系統(tǒng)。
3. 冷卻水
客戶需自備工業(yè)冷水機(jī)：
a) 制冷能力：10kw
b) 流量：>30L/min
c) 建議進(jìn)水溫度：20℃，*高進(jìn)水溫度<25℃
d) 入口水壓：≥5.0 kg/cm2 （或揚(yáng)程>45 米）
e) 系統(tǒng)進(jìn)水出水連接：φ19mm（寶塔接頭）
f) 為了避免因腐蝕而出現(xiàn)問(wèn)題，建議使用純凈水
4. 系統(tǒng)控制用壓縮空氣需求
a) 工作氣路：用戶需自備CH4, H2, N2, O2 四路氣體，氣體壓力0.2MPa，氣體純
度由用戶根據(jù)工藝需求自行確定
b) 氣體接口：1/4”VCR 接口
UP-206 全自動(dòng)微波等離子體系統(tǒng)產(chǎn)品規(guī)格書(shū)
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a) 壓縮干空氣（CDA）：系統(tǒng)需提供CDA 氣路，氣體壓力≥0.4MPa。
b) 接口：φ8 快插接口（氣動(dòng)快插）
5. 設(shè)備排氣
a) 客戶需自備排氣通道，設(shè)備的排氣口通過(guò)KF25 接口連接到排氣通道。
驗(yàn)收
1. 真空泄漏：真空腔漏率＜0.1Torr/12 小時(shí)
2. 微波泄漏：測(cè)量低于2mW/cm2 （微波輸出5kw 時(shí)）
3. 水管漏水：確認(rèn)水管沒(méi)有漏水
4. 系統(tǒng)測(cè)試：系統(tǒng)可正常啟動(dòng)和運(yùn)行，等離子體火球均勻穩(wěn)定
保修
3. 客戶需自行保證氣體、電力和水等公用設(shè)施的工程施工進(jìn)度不影響設(shè)備的安裝調(diào)試，
由此引起的延期不予延長(zhǎng)保修期。
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